单晶硅片制绒添加剂及应用的制作方法

文档序号:11841607阅读:来源:国知局

技术特征:

1.单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,其各组分的质量百分含量为:A组分0.1%~30%,B组分0.01%~10%,余量为水;

所述A组分选自冠醚、冠醚衍生物和冠醚的碱金属络合物中的一种或几种;

所述B组分为醇醚。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述冠醚选自12-冠醚-4、15-冠醚-5和18-冠醚-6中的一种或几种。

3.根据权利要求2所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述冠醚衍生物为苯并-15-冠醚-5。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片制绒添加剂及应用,其特征在于,所述冠醚的碱金属络合物选自12-冠醚-4的钠离子络合物、12-冠醚-4的钾离子络合物、15-冠醚-5的钠离子络合物、15-冠醚-5的钾离子络合物、18-冠醚-6的钠离子络合物和18-冠醚-6的钾离子络合物中的一种或几种。

5.根据权利要求4所述的单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,所述醇醚选自乙二醇丁醚、二乙二醇丁醚、丙二醇丙醚、丙二醇甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇丙醚和三丙二醇甲醚中的一种或几种。

6.根据权利要求5所述的单晶硅片制绒添加剂及应用,其特征在于,所述水为去离子水。

7.用于单晶硅片制绒的制绒液,其特征在于,其含有碱溶液和权利要求1至6中任意一项的单晶硅片制绒添加剂,所述单晶硅片制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.2~5:100,所述碱溶液为无机碱或有机碱的水溶液。

8.根据权利要求7所述用于单晶硅片制绒的制绒液,其特征在于,所述碱溶液为0.5~5wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。

9.单晶硅片的制绒方法,其特征在于,利用权利要求7或8所述的制绒液对单晶硅片进行表面制绒。

10.根据权利要求9所述单晶硅片的制绒方法,其特征在于,其具体步骤包括:

1)配置制绒添加剂:将质量百分比为0.1%~30%的A组分、0.01%~10%的B组分加入到余量的水中,混合均匀配成制绒添加剂;

2)配置制绒液:将步骤1)制成的制绒添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成制绒液;所述制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.2~5:100;所述碱溶液为无机碱或有机碱的水溶液;

3)将单晶硅片浸入步骤2)制得的制绒液中进行表面制绒,制绒温度为70~90℃,制绒时间为150~850s。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1