本发明涉及制绒剂,涉及单晶硅表面处理用的制绒剂,还涉及单晶硅表面处理用的制绒剂的制作方法,以及单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法。
背景技术:
制绒过程是对硅表面各项异性地刻蚀的过程。单晶硅太阳能电池的制绒工艺一般在碱性环境中进行,碱性强弱对制绒过程影响较大,当碱浓度较高时,硅的(100)和(111)方向腐蚀速率相似,当碱浓度较低时,因硅的各晶面原子排列不同,其与碱进行反应的速度差异很大,对不同晶面的刻蚀速率排序为:(100)>(110)>>(111),刻蚀液对单晶硅(111)晶面刻蚀速率最慢,远低于对其他晶面的刻蚀,因而在制绒过程中(111)晶面逐渐暴露出来,最终在单晶硅表面产生了排列规则的金字塔形状的突起。该结构能够增强硅太阳光的吸收,提高太阳能转化为电能效率。
目前,单晶硅制绒最常用的为naoh、异丙醇(ipa)体系。具体来说由碱、异丙醇、硅酸钠、水及少量添加剂组成,主要在75℃~85℃温度下反应20~30分钟,该过程中碱能够与硅反应生成氢气和硅酸盐,通过改变体系中异丙醇的量可控制改变生成金字塔的尺寸,金字塔一般在10~15微米左右,尺寸较大。但是由于该体系中ipa组分易挥发,使得制绒剂的使用寿命缩短,生产成本升高,且造成环境污染;此外,该类制绒剂的制绒效果不稳定,成品率难以控制,制绒得到的金字塔尺寸偏大;另外,普通制绒剂的制绒时间较长,一般需要20~30分钟。除naoh-异丙醇(ipa)体系,目前研究较多的为碱、三乙醇胺、醇类及少量添加剂组成的制绒体系,但其仍存在制绒时间长的缺陷,一般为17~30分 钟。为解决上述问题,需开发新型制绒剂,提高绒面均匀性及稳定性,缩短制绒时间,得到低反射率硅片。
技术实现要素:
本发明针对现有技术的缺点,公开了单晶硅表面处理用的制绒剂,还公开了单晶硅表面处理用的制绒剂的制作方法,以及单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法;本发明的制绒剂能够在5~25分钟内快速制绒,大大缩短制绒时间,可控得到1~5微米均匀分布的金字塔结构,反射率低,且该制绒液制备方法简单、实用。
为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决。
单晶硅表面处理用的制绒剂,包括氢氧化钠或氢氧化钾和制绒添加剂,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分含量为0.5%~5%,制绒添加剂包括体积百分含量为0.3%~20%的低挥发性有机化合物或其混合物、体积百分含量为80%~99.7%的去离子水。
本发明中的单晶硅表面处理用的制绒剂,提高了绒面均匀性及稳定性,缩短制绒时间,得到低反射率硅片。本发明中的单晶硅表面处理用的制绒剂制绒过程中,碱与单晶硅片反应生成氢气和硅酸盐,该制绒剂能够使得氢气较快从硅片表面脱附、逸出,不影响碱与单晶硅片的进一步反应,从而使得生成的金字塔大小均匀,且硅片表面洁净。本发明中的单晶硅表面处理用的制绒剂,可直接用于清洗后硅片,无需腐蚀抛光,从而实现均匀制绒。
作为优选,低挥发性有机化合物的混合物为含有3~7碳的低级脂肪胺、含有3~8个碳的多元醇、含有3~14个碳的羧酸、含有4~8个碳的醚类中的一种或多种混合物。
作为优选,含有3~7碳的低级脂肪胺为三乙胺、三乙醇胺、三甲基乙二胺、 四甲基乙二胺、正庚胺中的一种或两种。
作为优选,含有3~8个碳的多元醇为丙三醇、二缩三乙二醇、一缩二丙二醇、一缩二乙二醇、一缩乙二醇、二聚丙酸醇、季戊二醇、异辛醇中的一种或几种。
作为优选,含有3~14个碳的羧酸为3-甲基丙酸、β-氨基丙酸、(s)-2-羟基-3-氨基丙酸、4-氨基丁酸、l-丙氨酸、乙二酸、二乙烯三胺五醋酸中的一种或几种。
作为优选,含有4~8个碳的醚类为一缩二乙二醇二乙醚、乙二醇乙醚、二乙二醇乙醚中的一种或几种。
制作以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的方法,配制低挥发性有机化合物的混合物;配制氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液,将氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液加热至65~80℃,加入低挥发性有机化合物的混合物,混合均匀,得到制绒液。
以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法,在使用制绒剂处理单晶硅片制绒时,处理温度为70~90℃,制绒时间为5~25分钟。本发明无需碱处理过程,直接制绒,且制绒时间短,只需5~25分钟,相对传统的ipa体系时间大大缩短,可进一步降低成本和提升产能。
作为优选,制绒时间为3~15分钟。
作为优选,单晶硅片浸入到制绒液中制绒。
作为优选,制绒前,将单晶硅片放入无水乙醇中超声8-18分钟,去离子水清洗干净;第二步:将单晶硅片放入丙酮中超声8-18分钟,去离子水清洗干净;第三步:将单晶硅片放入异丙醇中超声8-18分钟,去离子水清洗干净。超声清洗的目的是去除硅片表面的油污、外界污染等。本发明中的单晶硅表面处理用 的制绒剂,可直接用于清洗后单晶硅片,无需腐蚀抛光,从而实现均匀制绒。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
(1)本发明中的单晶硅表面处理用的制绒剂可保证绒面金字塔小而均匀,尺寸在1~5微米之间,表面缺陷态少,增加了光吸收比表面积,减少光反射损失,显著提高了光电转换效率。可应用于单晶硅制绒体系中,具有积极的现实意义。
(2)本发明无需碱处理过程,直接制绒,且制绒时间短,只需5~25min,相对传统的ipa体系可缩短5~25min,可进一步降低成本和提升产能。
(3)本发明的制绒剂体系沸点高、稳定性好,制备绒面过程中挥发性小,可多次重复使用。
附图说明
图1是实施例5处理后的单晶硅片的扫描电子显微镜检测图。
具体实施方式
实施例1
单晶硅表面处理用的制绒剂,包括氢氧化钠或氢氧化钾和制绒添加剂,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分含量为0.5%,制绒添加剂包括体积百分含量为0.3%的低挥发性有机化合物或其混合物、体积百分含量为99.7%的去离子水。
低挥发性有机化合物的混合物为三乙胺、丙三醇、二缩三乙二醇、(s)-2-羟基-3-氨基丙酸、乙二醇乙醚的混合物。
制作以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的方法,配制低挥发性有机化合物的混合物;配制氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液,将氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液加热至65℃,加入低挥发性有机化合物的混合物,混合均匀,得到制绒液。
以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法,在使用制绒剂处理单晶硅片制绒时,处理温度为70℃,制绒时间为5分钟。
单晶硅片浸入到制绒液中制绒。制绒前,将单晶硅片放入无水乙醇中超声8分钟,去离子水清洗干净;第二步:将单晶硅片放入丙酮中超声8分钟,去离子水清洗干净;第三步:将单晶硅片放入异丙醇中超声8分钟,去离子水清洗干净。所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为1~2微米,且大小均匀,分散分布,反射率为18.6%,硅片单面腐蚀减薄量为3.3微米。
实施例2
单晶硅表面处理用的制绒剂,包括氢氧化钠或氢氧化钾和制绒添加剂,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分含量为5%,制绒添加剂包括体积百分含量为20%的低挥发性有机化合物或其混合物、体积百分含量为80%的去离子水。
低挥发性有机化合物的混合物为三甲基乙二胺、四甲基乙二胺、正庚胺、二聚丙酸醇、季戊二醇、异辛醇、l-丙氨酸、乙二酸、二乙烯三胺五醋酸、二乙二醇乙醚的混合物。
制作以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的方法,配制低挥发性有机化合物的混合物;配制氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液,将氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液加热至80℃,加入低挥发性有机化合物的混合物,混合均匀,得到制绒液。
以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法,在使用制绒剂处理单晶硅片制绒时,处理温度为90℃,制绒时间为25分钟。
单晶硅片浸入到制绒液中制绒。制绒前,将单晶硅片放入无水乙醇中超声18分钟,去离子水清洗干净;第二步:将单晶硅片放入丙酮中超声18分钟,去离子水清洗干净;第三步:将单晶硅片放入异丙醇中超声18分钟,去离子水清 洗干净。所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为3~5微米,且大小均匀,排列整齐,反射率为20.6%,硅片单面腐蚀减薄量为34.7微米。
实施例3
单晶硅表面处理用的制绒剂,包括氢氧化钠或氢氧化钾和制绒添加剂,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分含量为3%,制绒添加剂包括体积百分含量为10%的低挥发性有机化合物或其混合物、体积百分含量为90%的去离子水。
低挥发性有机化合物的混合物为三乙胺、二缩三乙二醇、3-甲基丙酸、β-氨基丙酸、一缩二乙二醇二乙醚的混合物。
制作以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的方法,配制低挥发性有机化合物的混合物;配制氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液,将氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液加热至70℃,加入低挥发性有机化合物的混合物,混合均匀,得到制绒液。
以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法,在使用制绒剂处理单晶硅片制绒时,处理温度为75℃,制绒时间为15分钟。
单晶硅片浸入到制绒液中制绒。制绒前,将单晶硅片放入无水乙醇中超声15分钟,去离子水清洗干净;第二步:将单晶硅片放入丙酮中超声15分钟,去离子水清洗干净;第三步:将单晶硅片放入异丙醇中超声15分钟,去离子水清洗干净。所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为2~3微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为15.4%,硅片单面腐蚀减薄量为17.7微米。
实施例4
单晶硅表面处理用的制绒剂,包括氢氧化钠或氢氧化钾和制绒添加剂,氢氧化钠或氢氧化钾的质量百分含量为3%,制绒添加剂包括体积百分含量为10%的低挥发性有机化合物或其混合物、体积百分含量为90%的去离子水。
低挥发性有机化合物的混合物为含有3~7碳的低级脂肪胺、含有3~8个碳的多元醇、含有3~14个碳的羧酸、含有4~8个碳的醚类中的一种或多种混合物。
制作以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的方法,配制低挥发性有机化合物的混合物;配制氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液,将氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液加热至70℃,加入低挥发性有机化合物的混合物,混合均匀,得到制绒液。
以上提到的单晶硅表面处理用的制绒剂的使用方法,在使用制绒剂处理单晶硅片制绒时,处理温度为75℃,制绒时间为15分钟。
单晶硅片浸入到制绒液中制绒。制绒前,将单晶硅片放入无水乙醇中超声15分钟,去离子水清洗干净;第二步:将单晶硅片放入丙酮中超声15分钟,去离子水清洗干净;第三步:将单晶硅片放入异丙醇中超声15分钟,去离子水清洗干净。所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为2~3微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为16%,硅片单面腐蚀减薄量为18.3微米。
实施例5
(1)配制低挥发性有机化合物混合物:将三乙胺、3-甲基丙酸、一缩二乙二醇、一缩二丙醇、乙二醇乙醚混合均匀,低挥发性有机化合物混合物体积百分总含量为11.4%,配制成低挥发性有机化合物混合物。
(2)配制制绒液:将氢氧化钠溶于去离子水中,得到碱性溶液,其中氢氧化钠质量百分含量为1.01%,将配制好的低挥发性有机化合物混合物加入到19l碱性溶液中,得到制绒液。
(3)将清洗干净的单晶硅片浸入到制绒液中进行制绒,温度控制在85℃,制绒时间为5分钟,处理后的单晶硅片经扫描电子显微镜检测(如图1),金字塔覆盖率高,尺寸为1~3微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为13.0%,硅片 单面腐蚀减薄量为4.1微米。
实施例6
(1)配制低挥发性有机化合物混合物:将三乙胺、三乙醇胺、一缩二丙二醇、乙二醇乙醚混合均匀,低挥发性有机化合物混合物体积百分总含量为5.7%,配制成低挥发性有机化合物混合物。
(2)配制制绒液:将氢氧化钠溶于去离子水中,得到碱性溶液,其中氢氧化钠质量百分含量为1.45%,将配制好的低挥发性有机物混合物加入到19l碱性溶液中,得到制绒液。
(3)将清洗干净的单晶硅片浸入到制绒液中进行制绒,温度控制在90℃,制绒时间为10分钟,所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为2~5微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为13.6%,硅片单面腐蚀减薄量为8.6微米。
实施例7
(1)配制低挥发性有机化合物混合物:将三乙胺、4-氨基丁酸、一缩乙二醇、一缩二乙二醇单乙醚混合均匀,低挥发性有机化合物混合物体积百分总含量为16.7%,配制成低挥发性有机化合物混合物。
(2)配制制绒液:将氢氧化钠溶于去离子水中,得到碱性溶液,其中氢氧化钠质量百分含量为1.80%,将配制好的低挥发性有机物混合物加入到19l碱性溶液中,得到制绒液。
(3)将清洗干净的单晶硅片浸入到制绒液中进行制绒,温度控制在75℃,制绒时间为25分钟,所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为2~3微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为13.2%,硅片单面腐蚀减薄量为26.2微米。
实施例8
(1)配制低挥发性有机化合物混合物:将三乙胺、乙醇胺、β-氨基丙酸、 一缩乙二醇、一缩二乙二醇混合均匀,低挥发性有机化合物混合物体积百分总含量为9.6%,配制成低挥发性有机化合物混合物。
(2)配制制绒液:将氢氧化钠溶于去离子水中,得到碱性溶液,其中氢氧化钠质量百分含量为1.30%,将配制好的低挥发性有机化合物混合物加入到19l碱性溶液中,得到制绒液。
(3)将清洗干净的单晶硅片浸入到制绒液中进行制绒,温度控制在80℃,制绒时间为15分钟,所得硅片经金相显微镜检测,金字塔绒面大小为2~4微米,且大小均匀,排列紧密,反射率为14.2%,硅片单面腐蚀减薄量为18.9微米。
总之,以上所述仅为本发明的较佳实施例,凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰,皆应属本发明专利的涵盖范围。