一种晶体硅铸锭用籽晶及其制备方法和晶体硅及其制备方法与流程

文档序号:13755571阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种晶体硅铸锭用籽晶,包括籽晶本体以及包覆在籽晶本体表面的硅系化合物膜,硅系化合物膜的熔点大于或等于硅的熔点。该硅系化合物膜可保护籽晶避免被杂质污染,在该籽晶上生长出来的晶体硅位错较少,少子寿命较高。另外,该籽晶可实现多次重复使用,大大降低了铸造晶体硅的成本。本发明还提供了该晶体硅铸锭用籽晶的制备方法,包括:提供籽晶本体,通过气相沉积法在籽晶本体表面沉积硅系化合物,形成硅系化合物膜,从而得到晶体硅铸锭用籽晶,或将籽晶本体置于反应室中,在800℃‑1400℃温度下,通入可与硅反应生成硅系化合物的气体,使气体与籽晶表面的硅反应生成硅系化合物,从而在籽晶本体表面形成硅系化合物膜,得到晶体硅铸锭用籽晶。

技术研发人员:陈红荣;徐云飞;胡动力;何亮
受保护的技术使用者:江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
文档号码:201610817314
技术研发日:2016.09.12
技术公布日:2016.12.14

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