一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场的制作方法

文档序号:12099881阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场,包括拉晶炉的工作腔和设于工作腔内的石墨加热器,石墨加热器采用对应于坩埚中上部的主加热器和对应于坩埚下部的副加热器,主加热器和副加热器分别由两个电源独立控制,在化料阶段,主加热器和副加热器同时开启工作,主加热器和副加热器的功率之比为2:1~3:1,在拉晶阶段,降低主加热器和副加热器的功率,且主加热器的功率大于副加热器的功率,使硅料处于结晶点,由主加热器主要控制整个拉晶时热场温度,使热对流强度减弱,减缓石英埚的反应速度,降低由于石英埚与硅进行化学反应所产生的氧及杂质,降低硅棒氧含量、氧施主硅片产出比例,提高硅棒少子寿命,使电池片环节的LID衰减降低。

技术研发人员:李守卫;楚信博;王松;李志辉;岳瑞存;侯占鹏
受保护的技术使用者:晶澳太阳能有限公司
文档号码:201611143452
技术研发日:2016.12.13
技术公布日:2017.03.22

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