一种多晶铸锭炉散热平台以及多晶铸锭炉的制作方法

文档序号:12300826阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种多晶铸锭炉散热平台,包括从上到下依次设置的底板和定向导热块,还包括设置在底板顶部和/或底板与定向导热块之间的横向导热板,横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板。除此之外,本发明还公开了一种多晶铸锭炉,包括坩埚和如上的多晶铸锭炉散热平台,坩埚设置在多晶铸锭炉散热平台的顶部。所述多晶铸锭炉以及多晶铸锭炉散热平台,通过在底板顶部和/或底板与定向导热块之间设置横向导热板,而横向导热板为导热碳纤维经纬编制而成的横向导热板,使得多晶铸锭炉的坩埚底部的横向热传导速率远大于竖直热传导速率,有利于使得坩埚底部各处的温度快速达到均衡,提升了多晶质量的均匀性以及硅锭的品质。

技术研发人员:肖贵云;王全志;陈伟;李林东;黄晶晶;金浩
受保护的技术使用者:晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
技术研发日:2017.07.12
技术公布日:2017.10.27
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