一种用于氮化炉的气体稳压装置的制作方法

本实用新型涉及氮化炉技术领域，具体为一种用于氮化炉的气体稳压装置。

背景技术：

氮化硅粉体在光伏产业中作为硅锭的脱模剂来使用，也用做实验阶段的荧光粉和溅射用靶材，在医学工程上可以制作人工关节，在工业上用于轴承球、陶瓷刀具、热电偶保护管、升液管等陶瓷的烧结。作为陶瓷烧结用粉体原料，产品质量的稳定性至关重要。

硅粉氮化法生产氮化硅粉体过程中，氮气流量及炉体内氮气压力对粉体质量的稳定性起到至关重要的作用，现有氮化炉一般通过流量计控制氮气流量，通过手动泄气孔稳定炉体内氮气压力。氮化炉内氮气压力随着炉内温度的升高而增大，很难通过手动泄气孔来保持炉内氮气压力的稳定。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于氮化炉的气体稳压装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于氮化炉的气体稳压装置，包括有阀门主体，所述阀门主体的左端和右端分别安装法兰，阀门主体的左端设有进气孔，阀门主体的右端设有出气孔，所述阀门主体内设有气动活塞，气动活塞的上端设置定位稍，且定位稍带有螺纹及螺纹孔，所述定位稍的螺纹孔内旋入旋转螺栓，且旋转螺栓旋入阀门主体内部，所述旋转螺栓通过压感弹簧与气动活塞连接，所述定位稍、旋转螺栓及气动活塞之间设置密封圈，所述压感弹簧连接压力传感器。

优选的，所述阀门主体的左侧和下部各自设有凸块，两个所述的凸块与气动活塞的底部相接触。

优选的，所述阀门主体的凸块上垂直设有导向杆，气动活塞的本体对称开设导向槽，导向槽与导向杆匹配契合。

优选的，所述法兰分别安装在进气孔的端口和出气孔的端口，进气孔连通气动活塞内部。

优选的，所述气动活塞的内部开设空腔，空腔与压感弹簧同轴设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型与氮化炉及尾气处理装置连接，旋转螺栓旋入定位稍中并通过压感弹簧压紧气动活塞，压感弹簧对气动活塞的压力可通过压力传感器显示，当氮化炉中气体压力升高时，气动活塞受到炉体气体对其向上的推力，当推力与压感弹簧压力平衡时，炉内气体通过气动活塞底部排出，实现炉内气压的稳定，操作简单，效率高，可实现氮化炉内压力平衡的自动化控制。

附图说明

图1为本实用新型阀门主体剖面结构示意图；

图2为本实用新型导向槽结构示意图。

图中：1-阀门主体；2-法兰；3-进气孔；4-出气孔；5-气动活塞；6-定位稍；7-旋转螺栓；8-压感弹簧；9-密封圈；10-压力传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种用于氮化炉的气体稳压装置：包括有阀门主体1，阀门主体1的左端和右端分别安装法兰2，阀门主体1的左端设有进气孔3，阀门主体1的右端设有出气孔4，阀门主体1内设有气动活塞5，法兰2分别安装在进气孔3的端口和出气孔4的端口，进气孔3连通气动活塞5内部，便于通气和阀门主体1的安装，阀门主体1的左侧和下部各自设有凸块，两个的凸块与气动活塞5的底部相接触，便于气动活塞5的限位和固定，阀门主体1的凸块上垂直设有导向杆，气动活塞5的本体对称开设导向槽11，导向槽11与导向杆匹配契合，便于气动活塞5的上下移动，防止气动活塞5的产生偏斜振动，气动活塞5的上端设置定位稍6，且定位稍6带有螺纹及螺纹孔，定位稍6的螺纹孔内旋入旋转螺栓7，且旋转螺栓7旋入阀门主体1内部，旋转螺栓7通过压感弹簧8与气动活塞5连接，气动活塞5的内部开设空腔，空腔与压感弹簧8同轴设置，便于气动活塞5活动以及压力传感器10受压，定位稍6、旋转螺栓7及气动活塞5之间设置密封圈9，压感弹簧8连接压力传感器10。

需要说明的是，本实用新型一种用于氮化炉的气体稳压装置，阀门主体1的进气孔3通过法兰2与氮化炉出气孔连接，出气孔4与尾气处理装置连接，使用前按照按照预定压力值将旋转螺栓7旋入定位稍6中，压感弹簧8所受到的压力通过压力传感器10显示，当炉内压力升高时，炉内气体从进气孔3进入阀门主体1，并对气动活塞5向上做功，当炉内压力与压力传感器10显示压力平衡时，气体推动气动活塞5向上移动，气体通过气动活塞5下方的缝隙排出，并通过出气孔4进入尾气处理装置，当炉内气体压力降低时，压感弹簧8压紧气动活塞5向下运动，通过密封圈9阻挡炉内气体继续排出，整个过程中，导向槽11与导向杆匹配契合，便于气动活塞5的上下移动，防止气动活塞5的产生偏斜。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。