一种新型的单晶炉加热器结构的制作方法

本实用新型属于加热装置领域，特别适用于一种用于制备硅单晶所专用的热场加热结。

背景技术：

现阶段拉晶生产单晶直径不断增大，只有不断提高投料量才能提高成品率和产量。特别是大直径8.5英寸以上的大直径单晶，其氧碳含量及少子寿命等品质至关重要。但是增设大直径单晶往往会导致加热部结构复杂，加热系统热场不均匀，导致改造成本较大，设备事故率高，为了熔料过程中加热器给石英埚的热量更加充分、匀称，因此需要提供一种降低事故率同时避免过为复杂的加热结构，。

技术实现要素：

实用新型目的，本实用新型针对上述现有的加热结构较为复杂，无法实现均匀热场的问题，而提供了一种新型的加热结构，其具有热场均匀，结构简单高效的特点。

本实用新型所要解决的问题是由以下技术方案实现的：

提供了一种新型的单晶炉加热器结构，其包括主加热器和设置在主加热器下方的副加热器，所述的主加热器为由加热片弯折延伸形成的圆筒形，所述的主加热器具有多个短加热部和长加热部，所述的短加热部和长加热部前后依次交替分布且组成环形状；

所述的副加热器未有加热片弯折延伸形成的十字状加热板。

进一步的，所述的短加热部和长加热部的顶端相齐平。

进一步的，所述的副加热器由第一侧加热部、第二侧加热部、第一主加热部和第二主加热部组成，所述的第一主加热部和第二主加热部成对称设置，所述的第一侧加热部、第二侧加热部成对称设置，所述的第一主加热部的两个延伸端分别与第一侧加热部和第二侧加热部连接，所述的第一侧加热部和第二侧加热部各自的延伸端分别一一对应的与第二主加热部的延伸端相对接。

进一步的，在主加热器底部设置有两个折弯钩，两个折弯钩成相向对称设置。

进一步的，所述的在第一主加热上接有主电极，在第二主加热部接有负电极。

进一步的，第一侧加热部、第二侧加热部、第一主加热部和第二主加热部都由弯折的加热片组成。

本实用新型相对于现有而言具有的有益效果：

采用长短不均的加热部结构，依次搭配，长加热部可以很好的补充中部空缺处的热场，而短加热部可以保证热场呈现所需的热场分布。

副加热器设置在底部，副加热器呈现十字状结构，可以保证底部热场的中心处温度最高，由中心向两侧延伸实现了均温效果，上下两处热场组合即可形成整体

整体结构简单，具有良好的热场结构，侧边棱凸出的长加热部可以实现上下热场的连接，极大的提高了硅棒的成长速度和正确率。

附图说明

图1是本实用新型的侧视结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

其中，主加热器1、副加热器3、短加热部1a、长加热部1b、第一主加热部3a、第一侧加热部3b、第二主加热部3c、第二侧加热部3d。

具体实施方式

参照图1、图2所示，一种新型的单晶炉加热器结构，其包括主加热器1和设置在主加热器下方的副加热器3，所述的主加热器为由加热片弯折延伸形成的圆筒形，所述的短加热部和长加热部的顶端相齐平，所述的主加热器具有多个短加热部1a和长加热部1b，所述的短加热部和长加热部前后依次交替分布且组成环形状，在主加热器底部设置有两个折弯钩，两个折弯钩成相向对称设置。；所述的副加热器未有加热片弯折延伸形成的十字状加热板。

如图2所示，所述的副加热器由第一侧加热部3b、第二侧加热部3d、第一主加热部3a和第二主加热部3c组成，所述的第一主加热部和第二主加热部成对称设置，所述的第一侧加热部、第二侧加热部成对称设置，所述的第一主加热部的两个延伸端分别与第一侧加热部和 第二侧加热部连接，所述的第一侧加热部和第二侧加热部各自的延伸端分别一一对应的与第二主加热部的延伸端相对接，所述的在第一主加热上接有主电极，在第二主加热部接有负电极。第一侧加热部、第二侧加热部、第一主加热部和第二主加热部都由弯折的加热片组成。

以下根据附图对本实用新型做进一步说明：

在使用过程中，主加热器1成环形分布，其短加热部和长加热部逐渐升温会逐渐形成底部为锯齿形的热场，在副加热器成十字状热场，上下相接逐渐形成异形热场，通过调节副加热器的指向可以改变热场中心。