用于化合物半导体多晶料成型的装置的制作方法

文档序号:14916792发布日期:2018-07-11 01:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于化合物半导体多晶料成型的装置,基于高压合成化合物半导体的合成炉,其特征在于:该装置包括增设在熔炉炉腔(7)内的成型模具(4)及定位在成型模具(4)上的升降杆(2),升降杆(2)穿过炉顶盖(8)连接配套升降驱动机构,成型模具(4)设置在盛装合成熔体(9)的坩埚(3)上方,并分布有下端开口对准坩埚(3)的成型腔(41),借助升降杆(2)和配套升降驱动机构,成型模具(4)下降至坩埚(3)内、合成熔体(9)从下端开口充入成型腔(41)内、降温凝固为与成型腔(41)匹配的多晶料。

2.根据权利要求1所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述成型腔(41)的拔模斜度为0.3-0.8度。

3.据权利要求2所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述成型腔(41)的拔模斜度为0.5度。

4.根据权利要求2所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述成型模具(4)上分布有4-8个成型腔(41)。

5.根据权利要求4所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述成型腔(41)的横截面形状为圆形或方形,且截面为方形的型腔各过渡面间进行圆弧过渡处理。

6.根据权利要求5所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述圆形型腔的直径或方形型腔的边长为2-6寸。

7.根据权利要求1-6任一项所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述成型模具(4)的材质为氧化铝陶瓷。

8.根据权利要求1-6任一项所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述升降杆(2)定位在成型模具(4)的顶部中心,配套升降驱动机构包括定位在炉顶盖(8)上的电机及与电机连接的丝杠丝母副,升降杆(2)的另一端定位在丝杠或丝母上。

9.根据权利要求7所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述升降杆(2)定位在成型模具(4)的顶部中心,配套升降驱动机构包括定位在炉顶盖(8)上的电机及与电机连接的丝杠丝母副,升降杆(2)的另一端定位在丝杠或丝母上。

10.根据权利要求7所述的用于化合物半导体多晶料成型的装置,其特征在于:所述升降杆(2)定位在成型模具(4)的顶部中心,配套升降驱动机构为定位在炉顶盖(8)上的气缸,升降杆(2)的另一端与气杆连接。

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