一种用于cvd沉积车床的旋转密封装置的制造方法

文档序号:9225812阅读:386来源:国知局
一种用于cvd沉积车床的旋转密封装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于光纤预制棒加工设备领域,尤其涉及一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置。
【背景技术】
[0002]MCVD和FCVD是光纤预制棒的两种沉积加工工艺,旋转密封装置是MCVD和FCVD加工设备的核心部分。进料气管与预制棒沉积衬管之间通过旋转密封装置分别实现静态及动态旋转密封。现有的旋转密封装置主要由金属圈、旋转端头、金属轴承套、金属小轴承、以及大、小橡胶封圈组成,金属圈通过旋转端头与金属轴承套连接,大橡胶圈置于金属圈之间的斜面内,金属圈通过大橡胶圈的挤压变形,与工艺沉积管行程接触密封并一同旋转,金属轴承套通过金属小轴承里的小橡胶圈与工艺金属管接触实现静止密封及连接。这样的旋转密封结构存在以下几方面的问题:1、现有设备组成复杂,每次工艺沉积完成之后都需要拆卸及清理,操作繁琐,维护也相当麻烦;2、安装容易不到位,密封性难以保证;3、旋转密封装置内部有橡胶密封圈,需要涂抹润滑剂,当工艺金属管道穿过时容易将润滑剂带入工艺沉积管,产生车技缺陷;4、进料管道需要穿过多个部件,清理难度较大,如果清理不到位,容易使沉积的预制棒产生气泡等缺陷,同时引入的污染物容易导致光纤衰耗增加,引发产品报废风险;5.与旋转密封接头对接的进料金属气管长期裸露在空气中,容易锈蚀,从而影响预制棒及光纤质量;6.金属小轴承因氯化物潮解容易生锈,从而影响产品性能。

【发明内容】

[0003]本发明针对现有技术中的问题,提供一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置,该装置便于安装和拆卸、安装质量好,并且使用性能稳定。
[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种用于CVD (化学气相沉积)沉积车床的旋转密封装置,该装置包括旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件,进料气管通过尾端密封体、第一锁紧件固定在端封上,尾端密封体、第一锁紧件、端封对进料气管进行静态密封,预制棒沉积衬管与进料气管通过旋转体连接密封,预制棒沉积衬管通过第二锁紧件、密封端盖固定在旋转体上,端封与旋转体之间通过密封体件、支撑件实现预制棒沉积衬管的旋转密封以及进料气管的静态密封。
[0005]按上述技术方案,旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件,均采用聚四氟乙烯材料。
[0006]按上述技术方案,密封体件中开设洁净压缩空气吹扫进气孔和出气孔,洁净压缩空气使用氮气。
[0007]按上述技术方案,通过端封盖将支撑件与旋转体固定。
[0008]按上述技术方案,还包括X向调节板件、Y向调节板件、导轨、支撑体、安装底板,在端封上设置卡口,将端封固定在X向调节板上,在Y向调节板上沿竖直方向开设腰槽,X向调节板通过紧固螺钉、螺母与Y向调节板连接在一起,紧固螺钉穿过腰槽,Y向调节板固定到安装在导轨上的滑块上,与滑块一起沿导轨滑动。紧固螺钉、螺母拧紧时,X向调节板与Y向调节板固定连接在一起,彼此之间不可移动。紧固螺钉、螺母不拧紧时,紧固螺钉可在腰槽中上下滑动,从而调节X向调节板件、Y向调节板件之间的相对位置。导轨通过螺钉固定在支撑体上,滑块上设有锁紧手柄,锁紧手柄锁紧时将滑块固定在导轨上,支撑体与安装底板通过螺钉固定连接在一起,旋转密封装置通过安装底板固定在CVD沉积车床的前端机头上。
[0009]按上述技术方案,还包括O型圈一,O型圈一的内圈、外圈分别与尾端密封体的内表面、端封的外端面之间过盈配合进行密封。
[0010]按上述技术方案,还包括O型圈四,O型圈四的内圈、外圈分别与预制棒沉积衬管的外端面、密封端盖的内表面之间过盈配合进行密封。
[0011]按上述技术方案,端封与密封体件之间通过螺纹进行连接并通过O型圈二进行密封。
[0012]按上述技术方案,端封盖与密封体件通过螺纹连接;旋转体通过支撑件进行导向与端封盖固定在一起,旋转体的尾端延伸到端封内,并通过O型圈三进行密封。
[0013]本发明产生的有益效果是:1、旋转密封装置各部件及静态密封连接件均使用聚四氟乙烯材料,由于其不受氯化物腐蚀及良好的自润滑特性,不会产生碎肩及金属氧化物,可以保持整个装置的性能稳定;2、由于旋转密封装置是通过安装底板使用螺钉固定在车床的前端机头上,化学气相沉积过程开始及结束均无需拆卸,操作及维护简单且避免二次污染;
3、由于该旋转密封装置有X向及Y向调节板,可实现预制棒沉积衬管自对中功能,扩展了设备使用的容忍性;4、由于密封体件上设有高纯N2吹扫功能,可有效防止外界空气进入密封体件的内部,从而污染进料气管管口及预制棒沉积衬管。
【附图说明】
[0014]下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是本发明实施例旋转密封装置的剖面图;
图2是本发明实施例旋转密封装置的整体布局图;
图3是本发明实施例旋转密封装置的轴侧视图;
图4是本发明实施例旋转密封装置的仰视图。
【具体实施方式】
[0015]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
[0016]本发明实施例中,提供一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置,该装置包括旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件,进料气管通过尾端密封体、第一锁紧件固定在端封上,尾端密封体、第一锁紧件、端封对进料气管进行静态密封,预制棒沉积衬管与进料气管通过旋转体连接密封,预制棒沉积衬管通过第二锁紧件、密封端盖固定在旋转体上,端封与旋转体之间通过密封体件、支撑件实现预制棒沉积衬管的旋转密封以及进料气管的静态密封。
[0017]其中,旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件,均采用聚四氟乙烯材料。由于聚四氟乙烯材料不受氯化物腐蚀及良好的自润滑特性,不会产生碎肩及金属氧化物,可以保持整个装置的性能稳定
进一步地,密封体件中开设洁净压缩空气吹扫进气孔和出气孔,洁净压缩空气可以选用氮气。可确保密封体件的洁净环境。
[0018]进一步地,通过端封盖将支撑件与旋转体固定,使整个装置的稳定性更好。
[0019]本发明实施例中,该旋转密封装置还包括X向调节板件、Y向调节板件、导轨、支撑体、安装底板,如图2-图4所示,在端封上设置卡口,将端封固定在X向调节板22上,在Y向调节板23上沿竖直方向开设腰槽,X向调节板通过紧固螺钉、螺母与Y向调节板连接在一起,紧固螺钉穿过腰槽,Y向调节板固定到安装在导轨24上的滑块上,与滑块一起沿导轨滑动。紧固螺钉、螺母拧紧时,X向调节板与Y向调节板固定连接在一起,彼此之间不可移动。紧固螺钉、螺母不拧紧时,紧固螺钉可在腰槽中上下滑动,从而调节X向调节板件、Y向调节板件之间的相对位置
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