信息记录介质用玻璃基板的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及信息记录介质用玻璃基板。
【背景技术】
[0002] 已知一种信息记录装置，其通过利用磁、光或光磁等，将信息记录在记录介质上。 作为这样的信息记录装置的典型例，可以举出例如硬盘驱动器(HDD)装置等。
[0003] 近年来，在硬盘驱动器装置中，记录密度高密度化，例如希望以1张作为信息记录 介质(media)的玻璃基板，实现600Gbit/inch2以上的记录密度。此外，为了使硬盘驱动器装 置大容量化，还进行了下述开发:通过使信息记录介质用玻璃基板（以下，有时也简记为"玻 璃基板"）的厚度变薄，来搭载多张玻璃基板、或是使信息记录介质用玻璃基板本身大径化。
[0004] 另一方面，在使信息记录介质用玻璃基板的厚度变薄、或是使其大径化的情况下， 对于其表面均要求高度的清洁性，特别是为了实现较高的记录密度，需要在其表面上形成 磁性层之前防止极少量的细微颗粒附着，因此进行了使用碱溶液对玻璃基板的表面进行蚀 刻的研究（日本特开2006-127624号公报(专利文献1))。
[0005] 现有技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 专利文献1:日本特开2006-127624号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
[0009] 使玻璃基板的厚度变薄、或是使其大径化时，颤振特性显示出劣化的趋势。颤振特 性是指以高速旋转信息记录介质时的振幅量(面振动），颤振特性劣化是指其振幅量增大。
[0010] 颤振特性(振幅量）以下述理论公式表示，因此为了使颤振特性良好（即减少振幅 量），需要提高玻璃基板的杨氏模量。
[0011] [数1]
[0013] 上述式中，a为信息记录介质（玻璃基板)的外半径，v为泊松比，E为杨氏模量，ξ为 衰减系数，h为信息记录介质（玻璃基板）的厚度，λ为基于固有振动模式的变量。该情况下， 若使玻璃基板的外半径和厚度一定，则泊松比几乎不会因化学组成而存在差别，因此颤振 特性与最右边更具有关联性。
[0014] 此外，在信息记录装置搭载多张玻璃基板、或是使玻璃基板大径化时，使玻璃基板 旋转的电动机(主轴电动机)的负载增大，因此为了降低该负载，需要减小玻璃基板的比重。 但是，如上所述提高杨氏模量时，通常比重示出增大的趋势，因此这二者存在权衡的关系。 因此，要求克服该关系，兼具杨氏模量的提高和比重的降低。
[0015]此外，为了提高记录密度而进行上述使用碱溶液的玻璃基板表面的蚀刻，因该蚀 刻而使玻璃基板的表面粗糙度恶化时，存在玻璃基板的信噪比（也称为讯噪比（SNR))降低 的问题。因此，为了实现较高的记录密度，需要提高玻璃基板的碱耐久性。
[0016]本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种信息记录介质用玻璃 基板，该玻璃基板具有较高的杨氏模量的同时，比重小且碱耐久性优异。
[0017]解决课题的手段
[0018]本发明的信息记录介质用玻璃基板的特征在于，该玻璃基板含有下述玻璃组成， 该玻璃组成以mol%表示满足
[0019] Si〇2:63~70%
[0020] Al2〇3:4~10%
[0021] B2〇3:0~2%
[0022] Li20:3.5~10%
[0023] Na20:3~8%
[0024] Κ20:0~2%
[0025] Mg0:10~20%
[0026] Ca0:0~2%
[0027] Sr0:0~2%
[0028] Ba0:0~2%
[0029] Zn0:0~2%
[0030] Ti02:0.1~3%的含量范围，且以mol%表示满足
[0031 ] S1O2+AI2O3+B2O3:67-82 %
[0032] Li2〇+Na20+K2〇:8~20%
[0033] ]\%0+0&0+5抑+830+2110:10~28%的条件，且满足
[0034] 0.85 < Si02/(S1O2+AI2O3+B2O3) < 0.95^
[0035] 〇.3<Li2〇/(Li2〇+Na2〇+K2〇H〇.7和
[0036] 0.8 <]\%0/(]\%0+〇Β〇+5Γ〇+ΒΒ〇+ΖηΟ)< 0.99的比值(表示"摩尔比例"）。
[0037] 此处，该比值优选为
[0038] 0.87 < Si02/(Si〇2+Al2〇3+B2〇3) < 0.95^
[0039] 〇.35<Li2〇/(Li2〇+Na20+K2〇) <0.65和
[0040] 0.85 <Mg0/(Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0H 0.99。
[0041 ]此外，该信息记录介质用玻璃基板的记录密度优选为600Gbit/inch2以上，其厚度 优选为〇.635mm以下。
[0042]此外，该信息记录介质用玻璃基板在40°C、pHll的50mlNa0H水溶液中浸渍30分钟 的情况下，Si溶出量优选为150ppb以下，此外，在40°C、pHl 1的NaOH水溶液中浸渍30分钟的 情况下，优选的是，其浸渍前后的算术平均粗糙度Ra的变化量为;〇.5美以下，且算术平均粗糙 度Ra的变化率为30%以下。
[0043]此外，对于该信息记录介质用玻璃基板，优选的是，杨氏模量为86GPa以上，且比重 为2.55以下。
[0044]发明效果
[0045]本发明的信息记录介质用玻璃基板具有下述优异的效果:该玻璃基板具有较高的 杨氏模量，并且比重小且碱耐久性优异。因此，本发明的信息记录介质用玻璃基板的颤振特 性良好，因此，在能够进行薄板化、大径化的同时，结合比重小这一效果从而特别适合在硬 盘驱动器装置等信息记录装置上搭载多张的情况。此外，本发明的信息记录介质用玻璃基 板的碱耐久性优异，因此可实现较高的记录密度。
【具体实施方式】
[0046]以下，对于本发明的实施方式，进行进一步详细地说明。
[0047]〈信息记录介质用玻璃基板〉
[0048]本实施方式的信息记录介质用玻璃基板用作硬盘驱动器装置等信息记录装置中 的信息记录介质用的基板，其特征在于，该玻璃基板含有下述玻璃组成，该玻璃组成以 mol%表示满足
[0049] Si〇2:63~70%
[0050] Al2〇3:4~10%
[0051 ] B2〇3:0~2%
[0052] Li20:3.5~10%
[0053] Na20:3~8%
[0054] K20:0~2%
[0055] Mg0:10~20%
[0056] Ca0:0~2%
[0057] Sr0:0~2%
[0058] Ba0:0~2%
[0059] Zn0:0~2%
[0060]Ti02:0.1~3%的含量范围，且以mol%表示，满足
[0061] S1O2+AI2O3+B2O3:67-82 %
[0062] Li2〇+Na20+K2〇:8~20%
[0063] ]\%0+0&0+5抑+830+2110:10~28%的条件，且满足
[0064] 0.85 < Si02/(S1O2+AI2O3+B2O3) < 0.95^
[0065]〇.3<Li2〇/(Li2〇+Na2〇+K2〇H〇.7和
[0066] 0.8 <Mg0/(Mg0+Ca0+Sr0+Ba0+Zn0H 0.99的比值。
[0067]此处，在本实施方式中，关于玻璃组成只要没有特别声明，则"％"表示是指 "m〇l "摩尔。此外，"Si〇2+Al2〇3+B2〇3"等那样的化学式的加算标记表示以那种化学 式表不的成分的总量。例如"Si〇2+Al2〇3+B2〇3"表不Si〇2、Al2〇3和B2O3的总量，上述情况表不 该总量为67~82mol%。
[0068] 此外，为方便起见，上述玻璃组成中，将Si〇2、Al2〇3、B2〇3称为"骨架成分"，将Li20、 Na20、K20称为"碱成分"，将1^0、0&0、3"、8&0、2110称作"2价金属成分"，将1^02称作"钛成 分"。本实施方式的玻璃组成只要含有这样的"骨架成分"、"碱成分"、"2价金属成分"和"钛 成分"，则可以含有其他任意成分。
[0069]本实施方式的信息记录介质用玻璃基板通过具有上述构成，显示出下述优