一离子交换床2—端连接，所述第一离子交换床2另一端连接中间储槽4，中间储槽4和沉淀剂储槽5与所述反应爸6—端连接，所述反应爸6另一端连接过滤装置7，所述过滤装置7连接第二离子交换床8;所述第一离子交换床2和第二离子交换床8为离子交换树脂床，分别填充有阳离子交换树脂;所述废液槽I用于接收存储显影废液，废液中包含四甲基氢氧化铵和/或光刻胶和/或金属离子;所述反应釜6内衬为四氟材料;所述过滤装置(7)为过滤器和/或压滤机和/或不锈钢滤芯。
[0039]所述废液槽I，用于接收存储显影废液，显影废液中包含四甲基氢氧化铵、光刻胶、金属离子;所述第一离子交换树脂床2，填充阳离子交换树脂；显影废液经过第一离子交换树脂床2后，显影废液中的四甲基铵阳离子被吸附，实现与光刻胶分离;所述硫酸储槽3，提供硫酸，用于洗脱吸附其中的四甲基铵阳离子得到硫酸四甲基铵;所述中间储槽4，用于存储经过第一离子交换树脂床2产生的硫酸四甲基铵;所述沉淀剂储槽5，内置沉淀剂;所述反应釜6，内衬四氟材料，用于使硫酸四甲基铵和沉淀剂反应，生产四甲基氢氧化铵和硫酸盐沉淀;所述过滤装置7，用于将反应后的溶液经过过滤装置固液分离，得到四甲基氢氧化铵粗产物;所述第二离子交换树脂床8，填充阳离子交换树脂，用于将四甲基氢氧化铵粗产物经过阳离子交换树脂去除其他金属离子，得到纯净的四甲基氢氧化铵。
[0040]实施例二
[0041 ]本发明还提供了一种四甲基氢氧化铵的回收方法，包括如下步骤:
[0042]步骤一，接收显影废液；
[0043]步骤二，通过阳离子交换树脂吸附废液中的四甲基铵阳离子，去除光刻胶等杂质；
[0044]步骤三，通过硫酸洗脱吸附在交换材料中的四甲基铵阳离子，得到硫酸四甲基铵溶液；
[0045]步骤四，将步骤三中获得的硫酸四甲基铵溶液与四氟材料及沉淀剂反应，得到四甲基氢氧化钱溶液和硫酸盐沉淀物；
[0046]步骤五，将步骤四中获得的四甲基氢氧化铵溶液和硫酸盐沉淀物进行过滤，得到四甲基氢氧化铵粗产物；
[0047]步骤六，将步骤五获得的四甲基氢氧化铵粗产物再次通过阳离子交换树脂，得到纯净的四甲基氢氧化钱。
[0048]废液槽接收存储显影废液，废液中包含TMAH以及光刻胶，金属离子等杂质。通过阳离子交换树脂塔吸附其中四甲基铵离子，之后用硫酸洗脱得到硫酸四甲基铵离子，将所得硫酸四甲基铵离子与氢氧化钙沉淀剂反应，通过过滤得到TMAH粗产品，再通过阳离子交换树脂塔吸附TMAH中金属杂质离子，最终得到纯净的TMAH产品。
【主权项】
1.一种四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，包括:废液槽(1)、第一离子交换床(2)、硫酸储槽(3)、中间储槽(4)、沉淀剂储槽(5)、反应釜(6)、过滤装置(7)和第二离子交换床(8);所述废液槽(I)和硫酸储槽(3)与所述第一离子交换床(2)一端连接，所述第一离子交换床(2)另一端连接中间储槽(4)，中间储槽(4)和沉淀剂储槽(5)与所述反应釜(6) —端连接，所述反应釜(6)另一端连接过滤装置(7)，所述过滤装置(7)连接第二离子交换床⑶。2.根据权利要求1所述的四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，所述第一离子交换床(2)和第二离子交换床(8)为离子交换树脂床，分别填充有阳离子交换树脂。3.根据权利要求1或2所述的四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，所述废液槽(I)用于接收存储显影废液，废液中包含四甲基氢氧化铵和/或光刻胶和/或金属离子。4.根据权利要求3所述的四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，所述反应釜(6)内衬为四氟材料。5.根据权利要求4所述的四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，所述过滤装置(7)为过滤器和/或压滤机和/或不锈钢滤芯。6.根据权利要求1所述的四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于: 所述废液槽(I)，用于接收存储显影废液，显影废液中包含四甲基氢氧化铵、光刻胶、金属呙子； 所述第一离子交换树脂床(2)，填充阳离子交换树脂;显影废液经过第一离子交换树脂床(2)后，显影废液中的四甲基铵阳离子被吸附，实现与光刻胶分离； 所述硫酸储槽(3)，提供硫酸，用于洗脱吸附其中的四甲基铵阳离子得到硫酸四甲基铵； 所述中间储槽(4)，用于存储经过第一离子交换树脂床(2)产生的硫酸四甲基铵； 所述沉淀剂储槽(5)，内置沉淀剂； 所述反应釜(6)，内衬四氟材料，用于使硫酸四甲基铵和沉淀剂反应，生产四甲基氢氧化铵和硫酸盐沉淀； 所述过滤装置(7)，用于将反应后的溶液经过过滤装置固液分离，得到四甲基氢氧化铵粗产物； 所述第二离子交换树脂床(8 )，填充阳离子交换树脂，用于将四甲基氢氧化铵粗产物经过阳离子交换树脂去除其他金属离子，得到纯净的四甲基氢氧化铵。7.—种四甲基氢氧化铵的回收方法，其特征在于，包括如下步骤: 步骤一，接收显影废液； 步骤二，通过离子交换材料吸附废液中的四甲基铵阳离子，去除光刻胶等杂质； 步骤三，通过硫酸洗脱吸附在交换材料中的四甲基铵阳离子，得到硫酸四甲基铵溶液；步骤四，将步骤三中获得的硫酸四甲基铵溶液与四氟材料及沉淀剂反应，得到四甲基氢氧化铵溶液和硫酸盐沉淀物； 步骤五，将步骤四中获得的四甲基氢氧化铵溶液和硫酸盐沉淀物进行过滤，得到四甲基氢氧化铵粗产物； 步骤六，将步骤五获得的四甲基氢氧化铵粗产物通过离子交换材料，得到纯净的四甲基氢氧化钱。8.根据权利要求7所述的四甲基氢氧化铵的回收方法，其特征在于，步骤二和步骤六中所述离子交换材料为阳离子交换树脂。9.根据权利要求7或8中任一项所述的四甲基氢氧化铵的回收方法，其特征在于，所述显影废液中包含四甲基氢氧化铵和/或光刻胶和/或金属离子。
【专利摘要】本发明涉及四甲基氢氧化铵的回收利用装置及方法，尤其是薄膜晶体管液晶显示及半导体等电子制造行业所用四甲基氢氧化铵溶液的回收装置。本发明所述四甲基氢氧化铵(TMAH)的回收利用装置由废液槽，离子交换树脂床,沉淀反应釜等组成。通过本发明提供的系统和方法，能够将显影液中的光刻胶树脂等其他杂质去除，得到电子级TMAH的目的。而且结构简单，可连续生产，循环使用，节约成本，降低污染，易于推广使用。
【IPC分类】C07C209/86, C07C211/63
【公开号】CN105541641
【申请号】CN201610113326
【发明人】陈江, 杜腾飞, 熊社会, 王永开
【申请人】石家庄诚志永胜电子科技有限公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2016年3月1日