试电容值在11 % RH到75 % RH的变化量达到总变化量80 %所用的时间；
[0083]在测试频率为10Hz时，在15%、35%、55%、75%、95%的相对湿度下，敏感元件的灵敏度分别为4、31、368、853和1952，响应和恢复时间分别为12s和13s，测试结果显示该发酵罐具有良好的湿敏性能，对罐体内湿度的检测快速、准确，保障了发酵罐正常的湿度环境。
[0084]实施例4
[0085]如图1所示的一种具备快速检测的发酵罐，所述发酵罐罐体I的内部安装有ZnO基湿敏传感器模块2;所述ZnO基湿敏传感器模块2主要由湿敏敏感元件和数据读取元件组成。如图2所示，所述湿敏敏感元件为叉指电极型，其包括硅片衬底10、S1-NPA20、氧化锌纳米线30和石墨烯层40;所述发酵罐罐体I上还设置有微处理器、LED显示灯条和无线通信模块;所述微处理器的输入端与所述ZnO湿敏传感器模块的输出端连接，所述ZnO湿敏传感器模块检测值达到预设值，所述微处理器控制LED显示灯条发出闪光，所述LED显示灯条连接有一个蜂鸣器，LED显示灯条闪烁的同时触动蜂鸣器发出警报;所述无线通信模块为CC2420无线通信模块，所述ZnO湿敏传感器模块可通过所述CC2420无线通信模块发送检测数据至数据基站，移动用户终端可通过互联网查看检测结果或将检测数据上传至云存储中心，形成检测和监测网络;所述发酵罐罐体的输出电线侧壁上设置有一个用于脱湿的聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜组件，该膜组件将聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜固定在玻璃电极上，玻璃电极与湿敏传感器连接;所述氧化锌纳米线30长度约5μπι。
[0086]优选地，所述湿敏敏感元件的制备方法如下:
[0087]步骤一，制备S1-NPA衬底:对3cm X 3cm的硅片衬底进行包括清洗去污、水热法腐蚀制备S1-NPA衬底;①取3cm X 3cm的硅片，将硅片置于硫酸和双氧水体积比4:1的混合溶液中，超声处理20min，取出用去离子水清洗，以去除硅片表面的有机杂质;将硅片放置于体积比为H2O: H2O2: NH4OH= 1: 2:1的混合溶液中，超声清洗20min，随后取出用去离子水清洗，以去除硅片表面的有机物和金属络合物；②利用水热法腐蚀制备S1-ΝΡΑ:称取1.0g的Fe(NO3).9H20倒入聚四氟乙烯中，随后向其中加入20ml去离子水和30ml 40%的HF溶液;将上步清洗的硅片放入溶液中，加盖放入水热釜中，随后将水热釜放入干燥箱中，180°C恒温保持30min，自然冷却后，取出硅片清洗即得S1-NPA衬底；
[0088]步骤二，生长氧化锌纳米线:采用磁控溅射结合热氧化法制备氧化锌纳米线;将硅纳米孔柱衬底放入磁控溅射仪中，在溅射电压220V、溅射电流0.9A条件下，磁控溅射Zn膜，厚度为50nm，随后将其放入箱式炉中，在300°C下热氧化法处理4h，得到直径约30nm的氧化锌纳米线；
[0089]步骤三，生长石墨烯层:采用化学气相沉积法制备石墨烯;首先在上步得到的衬底上磁控溅射一层金属Ni膜，厚度约为9nm;其次，将该衬底放入管式炉中，升温至900°C，按一定速率通入氢气作为保护还原气体，稳定30min，然后，按照一定比例同时通入甲烷2h，停止通入甲烷后开始自然降温;在Ni催化剂作用下，甲烷分子在高温下会裂解成碳原子和氢原子，在降温过程并且在氢气的保护下，碳原子会沉积形成一层石墨烯薄膜；
[0090]步骤四，蒸镀叉指电极:得到生长有氧化锌纳米线和石墨烯的硅纳米孔柱衬底后，在衬底表面覆盖叉指电极掩模版，利用磁控溅射法在其表面蒸镀一层500nm厚的Au薄膜作为电极；
[0091]步骤五，组装敏感元件与读取数据元件:读取数据元件的正负极导线连接到叉指电极上，两部分组成氧化锌基湿敏传感器器件；
[0092]其中，所述聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜组件的制备方法如下:
[0093]步骤一，聚砜中空纤维基膜预处理:聚砜中空纤维基膜在涂覆之前要进行预处理，用去离子水浸泡12h后，用1.0mol/1的盐酸浸泡60min，去除膜表面的甘油层和其他有机溶剂;然后用1.0moI/1的氢氧化钠溶液中和过量的盐酸，最后用去离子水反复冲洗，使膜表面呈中性，阴干备用；
[0094]步骤二，制备聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜中空纤维复合膜:将一定质量的平均聚合度为1750±50的聚乙烯醇加入去离子水中，在50°C水浴中搅拌约3h至聚乙烯醇完全溶解，得到5被％聚乙烯醇均相水溶液;将溶液冷却至室温后加入一定量的乙二胺四甲叉磷酸，并在室温下搅拌1.5h，静置脱泡即得铸膜液;将经过预处理的聚砜基膜(截留分子量30000)在铸膜液浸泡20min后取出，垂直固定在晾丝架上阴干;将经过一次涂覆的膜在铸膜液中再浸泡20min后，反向固定在晾丝架上，室温下干燥过夜，制得所需的PVA-EDTMPA/PS中空纤维复合膜。
[0095]步骤三，固定:将聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜中空纤维复合膜固定在玻璃电极上。
[0096]湿敏测试:
[0097]将氧化锌基湿敏传感器放入温度湿度控制器中。测试温度设定为20°C，然后控制相对湿度变化范围为10%?95%，读取敏感元件的电容随湿度变化情况；
[0098]湿敏元件的灵敏度定义为:I Crh-Cii I/Cu X 100%，其中Crh为测试环境湿度下得到的元件电容值，C11为相对湿度11%下元件的电容值。湿敏元件的响应或恢复时间定义为测试电容值在11 % RH到75 % RH的变化量达到总变化量80 %所用的时间；
[0099]在测试频率为10Hz时，在15%、35%、55%、75%、95%的相对湿度下，敏感元件的灵敏度分别为4、28、128、898和15632，响应和恢复时间分别为12s和13s，测试结果显示该发酵罐具有良好的湿敏性能，对罐体内湿度的检测快速、准确，保障了发酵罐正常的湿度环境。
[0100]实施例5
[0101]如图1所示的一种具备快速检测的发酵罐，所述发酵罐罐体I的内部安装有ZnO基湿敏传感器模块2;所述ZnO基湿敏传感器模块2主要由湿敏敏感元件和数据读取元件组成。如图2所示，所述湿敏敏感元件为叉指电极型，其包括硅片衬底10、S1-NPA20、氧化锌纳米线30和石墨烯层40;所述发酵罐罐体I上还设置有微处理器、LED显示灯条和无线通信模块;所述微处理器的输入端与所述ZnO湿敏传感器模块的输出端连接，所述ZnO湿敏传感器模块检测值达到预设值，所述微处理器控制LED显示灯条发出闪光，所述LED显示灯条连接有一个蜂鸣器，LED显示灯条闪烁的同时触动蜂鸣器发出警报;所述无线通信模块为CC2420无线通信模块，所述ZnO湿敏传感器模块可通过所述CC2420无线通信模块发送检测数据至数据基站，移动用户终端可通过互联网查看检测结果或将检测数据上传至云存储中心，形成检测和监测网络;所述发酵罐罐体的输出电线侧壁上设置有一个用于脱湿的聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜组件，该膜组件将聚乙烯醇-乙二胺四甲叉磷酸-聚砜基膜中空纤维复合膜固定在玻璃电极上，玻璃电极与湿敏传感器连接;所述氧化锌纳米线30长度约5μπι。
[0102]优选地，所述湿敏敏感元件的制备方法如下:
[0103]步骤一，制备S1-NPA衬底:对4cm X 3cm的硅片衬底进行包括清洗去污、水热法腐蚀制备S1-NPA衬底;①取3cm X 3cm的硅片，将硅片置于硫酸和双氧水体积比4:1的混合溶液中，超声处理20min，取出用去离子水清洗，以去除硅片表面的有机杂质;将硅片放置于体积比为H2O: H2O2: NH4OH = 5: 2:1的混合溶液中，超声清洗20min，随后取出用去离子水清洗，以去除硅片表面的有机物和金属络合物；②利用水热法腐蚀制备S1-ΝΡΑ:称取1.0g的Fe(NO3).9H20倒入聚四氟乙烯中，随后向其中加入20ml去离子水和30ml 60%的HF溶液;将上步清洗的硅片放入溶液中，加盖放入水热釜中，随后将水热釜放入干燥箱中，180°C恒温保持30min，自然冷却后，取出硅片清洗即得S1-NPA衬底；
[0104]步骤二，生长氧化锌纳米线:采用磁控溅射结合热氧化法制备氧化锌纳米线;将硅纳米孔柱衬底放入磁控溅射仪中，在溅射电压260V、溅射电流0.8A条件下，磁控溅射Zn膜，厚度为50nm，随后将其放入箱式炉中，在400°C下热氧化法处理4h，得到直径约30nm的氧化锌纳米线；
[0105]步骤三，生长石墨烯层:采用化学气相沉积法制备石墨烯;首先在上