防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体以及其包装方法与流程

文档序号:11885673阅读:348来源:国知局
防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体以及其包装方法与流程

本发明涉及收纳在半导体装置、IC封装体、印刷基板、液晶面板或者有机EL显示器等制造时作为防尘器使用的防尘薄膜组件中的至少一个边长为大于500mm的大型防尘薄膜组件的防尘薄膜组件的收纳容器的包装构造体以及其包装方法。



背景技术:

LSI、超LSI等半导体或为液晶显示器等制造中,要向半导体晶片或者液晶用玻璃板照射紫外光进行图案的制作,此时使用的光掩模如灰尘附着,灰尘就会对紫外光进行遮挡、反射,就会发生转印的图案的变形、短路,从而品质受损。

因此,这些操作通常在无尘室中进行,但即使如此,也难以总是保持光掩模的清洁。因此,要将作为除灰尘器的防尘薄膜组件贴附在光掩模表面之后再进行露光。在这种场合下,异物不附着在光掩模的表面上,而是附着在防尘薄膜组件上,在光刻时只要将焦点对准光掩模的图案上,防尘薄膜组件上的异物就与转印无关系了。

通常如此形成该防尘薄膜组件,将透光良好的由硝化纤维素、酢酸纤维素或者氟树脂等形成的透明防尘薄膜组件膜接着在由铝、不锈钢、工程塑料等形成的防尘薄膜组件框架的上端面。另外,防尘薄膜组件框架的下端设置为了在光掩模上装着的聚丁烯树脂、聚酢酸乙烯基酯树脂、丙烯酸树脂、有机硅树脂等形成的粘着层,以及设置用来保护粘着层的离型层(分离片)。

另外,对边长为大于500mm的大型防尘薄膜组件进行收纳的防尘薄膜组件收纳容器通常由将防尘薄膜组件载置的容器本体和在其上周缘部嵌合密封的盖体构成,这些容器本体和盖体这样制造,将厚度2mm-8mm左右的树脂板真空成形或者压空成形。这种制法使大型的也可一体成形,除了具有内部发尘源少的优点之外,还具有生产性高、低成本的优点。

作为大型的防尘薄膜组件收纳容器的材质,从机械性质和成形性优良性出发,在几乎所有的场合下,容器本体使用ABS树脂,盖体使用ABS树脂或者PMMA树脂。由于这些树脂具有可燃性,大型的防尘薄膜组件收纳容器作为可燃物的容积以及重量也很大,所以该防尘薄膜组件收纳容器在一个场所大量保管的场合下,有安全性的担心,所以要求赋予难燃性。

对这样的防尘薄膜组件收纳容器进行保管的场合,通常是用防尘薄膜组件收纳容器包装袋中收纳保管。因此,该包装袋要求具有清洁性之外,还要使内部的防尘薄膜组件收纳容器上没有异物附着的密闭性、防带电性能等,所以,以前使用厚度100-300μm的聚乙烯(PE)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等树脂材质形成的包装袋。另外,为了确保防带电性能,通常在材质中混入带电防止剂或者导电材料,或与导电材质进行贴合,或者进行导电印刷。

例如,专利文献1记载了为了防止防尘薄膜组件的污染,最内侧的第一袋要使用在清洁度1000以下的无尘室内制造的洁净袋,第二、第三的袋使用具有带电防止功能的袋的防尘薄膜组件收纳容器的收纳方法。但是,该收纳方法在适用于一边大于500mm的大型的防尘薄膜组件收纳容器的场合使用的包装袋要用吹涨法成形,考虑到其设备的尺寸以及需要量少等问题,具有难以在无尘室等清洁的环境中制造的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:特开2012-208158

由此,在一般环境中制造的包装袋多在无尘室内清洁之后再加以使用,作为此场合的清洁方法,除了用水洗以及用纯水擦拭等湿法洗净之外,还有用粘着棍以及吹风等干法洗净等方法,但是对于大型的包装袋,特别是袋内侧的清洁极为困难,在制造工程以及品质上有大问题。

因此,本发明就是鉴于上述那样的问题而成的,本发明的目的为提供一种在包装使用前清洁容易、包装时内部密闭性优良的同时,具有防尘薄膜组件收纳容器的收纳、取出操作容易的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体以及其包装方法。



技术实现要素:

本发明为一种收纳至少一个边长为大于500mm的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体,其特征在于:其由用具有防带电性的平面状的包装膜将防尘薄膜组件收纳容器覆盖捆包而成的内侧包装体以及将此内侧包装体收纳的袋状的外侧包装体形成的至少二重的包装体构成。

另外,本发明的包装膜优选软质聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯),其厚度优选50-300μm。进一步,本发明的外侧包装体优选从聚乙烯、聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯中选择。

本发明的包装方法为收纳至少一个边长大于500mm的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器的包装方法,其特征在于:包括将具有防带电性的平面状的包装膜进行多次反折、对防尘薄膜组件收纳容器进行捆包而制作内侧包装体的工序和将该内侧包装体收纳于袋状的外侧包装体的工序。

发明效果

根据本发明特别是要求清洁的内侧包装体,不是如以往那样将防尘薄膜组件收纳容器收纳于袋中,而是用平面状的包装膜对防尘薄膜组件收纳容器进行覆盖捆包,所以捆包使用前的平面状的包装膜的清洁容易,从而使极为清洁变为可能。另外,在多次反折弯曲将防尘薄膜组件收纳容器捆包时,由于该包装膜与防尘薄膜组件收纳容器密着,所以可以充分确保密闭性,因此可以保持内部的防尘薄膜组件收纳容器清洁。

附图说明

图1是本发明的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体的示意性截面图。

图2是内侧包装体的示意性透视图。

图3是将内侧包装体收纳于外侧包装体的示意性透视图。

图4是将防尘薄膜组件收纳容器用平面状膜捆包工序(1)至(3)的平面图。

图5是包装的防尘薄膜组件收纳容器的透视图。

图6是实施例2的包装构造体的示意性截面图。

图7是比较例的包装构造体的示意性截面图。

具体实施方式

下面基于附图对本发明的实施方式进行详细说明,但是本发明并不限于此。

图1、图2以及图3为本发明的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体的实施方式的图。图1为表示本发明的包装构造体的整体示意性截面图,图2为仅进行了将防尘薄膜组件收纳容器50用平面状的包装膜11进行覆盖捆包的内侧包装体11’的状态的透视图,图3为在其外侧进一步进行了用袋状的外侧包装体12的包装的状态的透视图。

本发明的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体为由内侧包装体11’和外侧包装体12构成的至少二重的包装体来构成的。其中内侧包装体11’为使用平面状的包装膜11将防尘薄膜组件收纳容器50覆盖捆包而构成的,在用于捆包之前将该平面状的包装膜11进行清洁的操作比以前的包装袋容易,这确保内侧包装体11’的清洁度以及有利于制造效率。

为了防止异物附着,在该平面状的包装膜11中优选加入了带电防止剂或导电物质,使其具有防带电性。另外,包装膜的颜色优选如为透明或半透明的,易于对内部进行确认,但相反地,有时为了防止使容器变色退化的紫外线,也可使其为不透明的黑色等。

另外,如果没有特别的限定,包装膜11的材料可以从聚乙烯、聚(1,1-二氯乙烯)、聚氯乙烯、聚甲基戊烯等可以膜状成形的材料中进行自由选择。进一步,制成聚乙烯/聚丙烯那样的多层构造。从难燃性以及密着性的方面考虑,特别优选软质聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯)制的膜,如考虑成本,更优选软质聚氯乙烯制的膜。

在此,所谓软质聚氯乙烯是指含有邻苯二甲酸酯等构成的可塑剂按重量比为10%以上。

优选地,如果将如软质聚氯乙烯或聚(1,1-二氯乙烯)那样的具有密着性的材料作为包装膜11的材料而使用的话,在将包装膜11多次反折而对防尘薄膜组件收纳容器50进行捆包时,由于包装膜11相互接触密切,即使不使用袋状也容易构成密闭空间。

内侧包装体11’中使用的包装膜11的厚度优选为50-300μm,但是从密着性、成本、处理的容易度来看,更优选70-200μm的范围。另外,将防尘薄膜组件收纳容器50覆盖捆包的内侧包装体11’的膜端原封不动地密着也可,如果需要用热封等接着也可。最好优选用数枚的粘着带13固定住,这样在开捆时易于将膜端剥离。

另外,由于内侧包装体11’不是使用包装袋而是使用平面状的包装膜11,在需要将大重量的大型的防尘薄膜组件收纳容器50插入袋中或从袋中拉出时,捆包、开捆极为容易。进一步,在包装膜11的材料为软质聚氯乙烯或聚氯(1,1-二氯乙烯)的场合,由于具有高的难燃性,所以从安全性的点来看也优选。

防尘薄膜组件收纳容器50用包装膜11来捆包成为内侧包装体11’的捆包工序为使用最小限度大小的包装膜11来以少的捆包工序将防尘薄膜组件收纳容器50完全覆盖即可,但是优选的捆包工序例如图4(1)至(3)所示。

首先,如图4(1)所示,在包装膜11上放上防尘薄膜组件收纳容器50,沿着防尘薄膜组件收纳容器50的外缘50a、50b的由横杠和点组成的虚线将包装膜11反折,由此防尘薄膜组件收纳容器50的上面被完全覆盖。图4(2)为反折后的状态。此时,反折的包装膜11的周缘为相互重叠的状态,防尘薄膜组件收纳容器50被包装膜11完全覆盖,故而优选。

然后,沿着防尘薄膜组件收纳容器的外缘50c、50d,在图4(2)中的由横杠和点组成的虚线,将包装膜11向着防尘薄膜组件收纳容器顶面反折。图4(3)为反折后的状态。内侧包装体11’在该状态就完成了,但是优选以将反折的包装膜11的先端在顶面的包装膜11上的数处用粘着带13贴附。

另外,优选将包装膜的大小设定成使各包装膜11相互的重叠100-300mm,由于包装膜11的密着性而使重叠部分相互密着,从而得到确实的密闭。

另一方面,如图3所示,外侧包装体12将内侧包装体11’进一步包覆,内侧包装体11’从而可以防止灰尘附着,这是为了在保管以及输送中包装内不让灰尘侵入。

此外,外侧包装体12为袋状,其材料优选从由聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂构成的群中选择。作为袋状物的制造方法没有特别的要求,优选以将袋的开口部热封来进一步密封,或多次反折弯曲,用粘着带14固定。

外侧包装体12的厚度从50-300μm的范围选择即可,但从成本、强度、制袋的难易度等的方面来考虑,优选为100-150μm。该外侧包装体12与内侧包装体11’一样也混入带电防止剂以及导电物质或与导电材质进行贴合,优选使其具有防带电性。另外,颜色可以为有色,但是优选为透明或半透明的以对内部进行确认。

由于该外侧包装体12为袋状的形状,特别易于防止灰尘向内部的侵入,以保持内侧包装体11’的清洁。另外,外侧包装体12的材料优选聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)树脂,其中,任一个都为硬材质,滑动性良好,对于具有微粘着性的内侧包装体11’也很容易收纳。

内侧包装体11’具有微粘着性,所以灰尘易于附着,而且具有对其接触的各种各样的物品的贴附操作性变差的问题,但是由于在该内侧包装体11’的外侧上设置有使用上述材料的外侧包装体12(使内侧包装体11’被收纳于袋状的外侧包装体12),所以具有可以防止灰尘附着的优点。另外,在向捆包箱以及收纳棚的收纳以及取出的搬送操作中,其操作性被改善,非常适用。

在一般环境下,由于该外侧包装体12附着很多灰尘,所以通常在防尘薄膜组件使用时,在向无尘室将防尘薄膜组件搬入时,特别优选以将外侧包装体12除掉仅剩内侧包装体11’的状态搬入无尘室进行保管。

本发明中,被收纳的防尘薄膜组件收纳容器50,其构造、材质没有特别的要求,通常优选使用ABS、PMMA、PC等树脂板进行真空成形来制作。如图5所示,该防尘薄膜组件收纳容器50通常由将防尘薄膜组件53载置的收纳容器本体51在其周缘部嵌合,将防尘薄膜组件53和收纳容器本体51覆盖的盖体52来构成。然后,其周缘部用夹子等进行固定,或用粘着带密封(未图示)。

特别地,在边长大于1米的大型的防尘薄膜组件收纳容器50的场合,为了提高刚性,在树脂用真空成形制作的防尘薄膜组件收纳容器的外侧可以通过贴附金属以及纤维强化树脂制的补强体,另外,也可以用铝合金、镁合金等轻量金属制作防尘薄膜组件收纳容器自身或特别是制作下侧的容器本体。

另外,可以在防尘薄膜组件收纳容器50的外侧安装作业用把手以及脚部,由于本发明使用的平面状的包装膜11具有柔软性,可以与扳手以及脚部等的突起物良好地对应。

进一步,优选的是防尘薄膜组件收纳容器50的例如平坦的表面与内侧包装体11’的密着性良好,但也可以特意在防尘薄膜组件收纳容器50的表面设置凹凸,由此考虑操作性等,对密着性进行控制。

实施例

下面对本发明的实施例以及比较例进行具体说明,实施例以及比较例的各操作在10级无尘室内进行。

实施例1

在实施例1中,制作如图1~图3所示的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体10。该包装构造体10由内侧包装体11’和外侧包装体12的二重的包装体来构成,内侧包装体11’的内部使用平面状的包装膜11对图5所示的防尘薄膜组件收纳容器50捆包。

防尘薄膜组件收纳容器50由用厚度5mm的黑颜色的难燃带电防止ABS树脂将真空成形的防尘薄膜组件收纳容器本体51和在其周缘部嵌合的用同样材料制成的真空成形的盖体52构成,其组合后的外尺寸为1350x1532x高度120mm。然后,将此防尘薄膜组件收纳容器50用界面活性剂和纯水洗净、良好干燥。

然后,对外尺寸为1146x1366mm、高度7mm的防尘薄膜组件53在暗室内用集光灯进行目视异物检查后,将防尘薄膜组件收纳容器50收纳,周围用粘着带(未图示)密闭。防尘薄膜组件53中使用的防尘薄膜组件框架为将A5052铝合金进行机械加工并施以黑颜色氧化膜,外尺寸为1146x1366mm、内尺寸为1122x1342mm、高度为5.8mm、角部为外侧R3、内侧R2。

在该防尘薄膜组件框架的一个面上,在作为防尘薄膜组件膜接着层上涂布有机硅树脂,将厚度4.5μm的氟系树脂构成的防尘薄膜组件膜接着。另外,在另外一个面上,作为光掩模粘着层将有机硅粘着剂涂布,在其表面上将在与框架外形大略同形状切断的PET树脂涂离型剂制作的分离片贴附。将该收纳防尘薄膜组件53的防尘薄膜组件收纳容器50的外面用纯水擦拭洗净,将周围弄暗,用集光灯进行目视检查,将可以看到的附着异物全部除去。

另外,作为平面状的包装膜11,准备切成1830x3300mm大小,且厚度100μm的带电防止透明软质PVC膜,将该膜用纯水擦洗净、良好干燥。该洗净操作,由于准备的包装膜11为平板状,具有极其良好的操作性,另外干燥的目视确认也容易。

然后,使用该包装膜11按图4所示的捆包工序将防尘薄膜组件收纳容器50捆包。首先,如图4(1)所示,在平面上放置的包装膜11上,放上防尘薄膜组件收纳容器50,在沿着防尘薄膜组件收纳容器50的外缘50a、50b的点横虚线将包装膜11反折,使防尘薄膜组件收纳容器50的顶面完全覆盖,成为图4(2)所示的状态。然后,沿着容器外缘50c、50d,在图4(2)中的点横虚线将包装膜11向容器顶面的方面反折,成为图4(3)所示的状态。最后,使反折的包装膜11的周缘部良好密着,将其先端用PVC制粘着带13粘贴在顶面上的包装膜11上,图2所示的内侧包装体11’完成。

然后,关于外侧捆包体12,先准备1700x1650的大小、厚度100μm的可以防止带电的PE制透明袋,将该袋盖在内侧包装体11’的外侧将其收纳,其开口进行二次反折卷起,用PVC制粘着带14固定,图3所示的包装构造体10完成。

将该包装构造体10从无尘室搬出,在温度20-30℃、湿度30-80%的一般室中保管3个月,然后为了进行内部确认,再次搬入无尘室。在进行所述搬入时,将灰尘大量附着的外侧包装体12在马上就要搬入无尘室时取下,以仅具有内侧包装体11’的状态搬入无尘室内。

最后,将内侧包装体11’按和图4所示的捆包工序相反的工序放开。然后,使周围变暗对防尘薄膜组件收纳容器50的外面用集光灯照射进行观察,确认到没有脏污以及异物的附着,保持着清洁的状态。另外,将防尘薄膜组件收纳容器50的盖体52小心地打开,对在防尘薄膜组件收纳容器本体51上的防尘薄膜组件53进行观察,可以确认到防尘薄膜组件53没有异物的附着,保持着清洁的状态。

实施例2

在实施例2中,制作如图6所示的防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体60。在该制作中,首先将防尘薄膜组件收纳容器64用平面状的包装膜61捆包,得到内侧包装体61’,将其收纳于袋状的外侧包装体62中,制得包装构造体60。

在实施例2中收纳的防尘薄膜组件收纳容器64由铝合金制本体64a以及将厚度5mm的透明PC树脂板真空成形制作的盖体64b构成,其外部安装有把手64c、64d,脚部64e。另外,其周围被PVC制粘着带(未图示)密闭,用搭扣64f固定。

另外,在该防尘薄膜组件收纳容器64内收纳的防尘薄膜组件65这样制作,在进行了黑色氧化膜的A5052铝合金制框架上接着了厚度4μm的氟系树脂构成的防尘薄膜组件膜,外尺寸为1526x1748mm、内尺寸为1493x1715mm、防尘薄膜组件框架高度为6.2mm。角部外侧R6mm、内侧R2mm,含光掩模粘着层的高度为8mm。

对该防尘薄膜组件65在暗室内进行集光灯目视检查异物,将其收纳于防尘薄膜组件收纳容器64中,在该防尘薄膜组件收纳容器64的外面,使周围变暗,用集光灯照射,目视确认,将附着的异物全部除去。

实施例2中,作为平面状的包装膜61,准备与上述实施例1同样的材料的带电防止透明软质PVC膜,将其切断为1830x4200mm的大小作为包装膜61a,接着以915x4200mm的大小切2枚作为包装膜61b,进一步以500x400mm的大小切4枚作为包装膜61c。将这7枚的包装膜的两面用纯水擦净洗干净,进行良好干燥。

然后,将包装膜61a配置于脚部64e的内侧,将防尘薄膜组件收纳容器64包覆,使端部重合密着,用粘着带贴附,由于防尘薄膜组件收纳容器64比包装膜61a的宽度还要大,所以从脚部64e的外侧的两端具有没有包装的区域。

另外,将2枚包装膜61b分别配置在包装膜61a的外侧进行包装,使在包装膜61a上有200mm重叠,端部重合密着。此时,在包装膜61b中预先设置相当于脚部64e部分的开口,通过该开口,脚部露在外部。然后,包装膜61b的端部,其剩余部被向上方反折,在包装膜61a的顶面用粘着膜63贴附。

进一步,将包装膜61c插入各脚部64e的下面,向上方反折在将脚部64e包覆的同时,将端部用粘着带63贴附密闭,内侧包装体61’完成。

在该实施例2的防尘薄膜组件收纳容器64中,在脚部64e外具有把手64c、64d,搭扣64f的突起部,由于包装膜61有柔软性,可以在突起部使包装膜61密着包装。

然后,作为外侧包装体62,准备2700x5000mm的大小的带电防止透明PE袋,在该PE袋的内部收纳将防尘薄膜组件收纳容器64捆包的内侧包装体61’,其开口部反折用粘着带63贴附,得到图6所示的包装构造体60。

其后,与上述实施例1同样将包装构造体60,从无尘室搬出在温度20-30℃、湿度30-80%的一般室中保管3个月,其后,为了进行内部确认,再次搬入无尘室。在该搬入时,将灰尘大量附着的外侧包装体62在马上就要搬入无尘室的时刻取下,以仅有内侧包装体61’的状态搬入无尘室内。

最后,将内侧包装体61’打开,接着使周围变暗,对防尘薄膜组件收纳容器60的外面用集光灯照射观察,确认没有脏污以及异物的附着,保持了清洁的状态。另外,小心将防尘薄膜组件收纳容器60的盖体64b打开,对防尘薄膜组件收纳容器本体64b上收纳的防尘薄膜组件65用集光灯照射目视观察,没有发现异物的附着,保持为清洁的状态。

比较例

比较例中,以与上述实施例1同样的样式以及工序制作的防尘薄膜组件53和防尘薄膜组件收纳容器50,在10级无尘室内制作如图7所示的包装构造体70。此包装构造体70与实施例1,2相比,相同的是以内侧包装体71以及外侧包装体72的二重包装体构成以及收纳的防尘薄膜组件53和防尘薄膜组件收纳容器50相同,但不同的是,内侧包装体71不是平面状的包装膜,为与外侧包装体72同样的包装袋。

在该比较例中,首先将在上述实施例1、2中作为外侧包装体12使用的同样的带电防止透明PE袋加以准备,在将该PE袋的内侧和外侧用纯水擦拭洗净的同时,敞开开口部,良好干燥。此时,在PE袋的内侧的洗净中,操作者要将身体插入袋内操作,操作性极差。

然后,将收纳防尘薄膜组件53的防尘薄膜组件收纳容器50收纳于PE袋内,其开口部进行热封密封,内侧包装体71完成。进而,在将防尘薄膜组件收纳容器50在PE袋内收纳前,使周围变暗用集光灯目视确认防尘薄膜组件收纳容器50的表面附着的异物并除去。

其后,将该内侧包装体71整体用与外侧包装体72同样的带电防止透明PE袋,其开口部进行二重反折用粘着带73固定,比较例的包装构造体70完成。

然后,将该包装构造体70从无尘室搬出,与上述实施例1,2同样的温度20-30℃、湿度30-80%的一般室中进行3个月保管后,为了进行内部确认再次搬入无尘室。在该搬入时,在马上就要搬入的时刻去除灰尘大量附着的外侧包装体72,仅以内侧包装体71的状态快速搬入无尘室内。

最后,将内侧包装体71开封,周围变暗,对防尘薄膜组件收纳容器50的外面用集光灯照射观察,可以确认尽管处于密封的状态在防尘薄膜组件收纳容器50的角附近的周缘部1处有100μm以下的数十个的异物构成的脏污。

另外,将收纳的防尘薄膜组件收纳容器50的盖体52小心打开,对在防尘薄膜组件收纳容器本体51上载置的防尘薄膜组件53是否有异物附着进行目视确认,看到在防尘薄膜组件膜面上有2个20μm大小的异物的附着。这些异物,由于可以用离子化的气体枪容易地除去,所以可以推测为是刚刚附着之物,可以推测是盖体52打开时从盖体52飞来或者落下而附着之物。

附图标记说明

10 防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体

11 平面状的包装膜

11’ 内侧包装体

12 袋状的外侧包装体

13 粘着带

14 粘着带

50 防尘薄膜组件收纳容器

50a 防尘薄膜组件收纳容器外缘

50b 防尘薄膜组件收纳容器外缘

50c 防尘薄膜组件收纳容器外缘

50d 防尘薄膜组件收纳容器外缘

51 防尘薄膜组件收纳容器本体

52 防尘薄膜组件收纳容器盖体

53 防尘薄膜组件

60 防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体

61a 平面状的包装膜

61b 平面状的包装膜

61c 平面状的包装膜

61’ 内侧包装体

62 袋状的外侧包装体

63 粘着带

64 防尘薄膜组件收纳容器

64a 防尘薄膜组件收纳容器本体

64b 防尘薄膜组件收纳容器盖体

64c 把手

64d 把手

64e 脚部

64f 搭扣

65 防尘薄膜组件

70 防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体

71 内侧包装体

72 袋状的外侧包装体

73 粘着带

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