一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构的制作方法

文档序号:11973196阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:包括同步带机构(1)、顶板组件(2)和四根竖直设置的升降丝杆(3),所述同步带机构(1)用于驱动四根升降丝杆(3)同步转动,所述顶板组件(2)安装于四根升降丝杆(3)的丝杆螺母(31)上。

2.根据权利要求1所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述同步带机构(1)包括驱动电机(11)、主动轮(12)、同步带(13)和四个从动轮(14),所述主动轮(12)安装于驱动电机(11)的输出轴上,所述四个从动轮(14)分别安装于四根升降丝杆(3)上,所述同步带(13)绕设于主动轮(12)和四个从动轮(14)上。

3.根据权利要求2所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述升降机构还包括固定设置安装板(4),所述顶板组件(2)位于安装板(4)的下方,所述驱动电机(11)位于安装板(4)上。

4.根据权利要求3所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述安装板(4)与顶板组件(2)之间设有手动固定杆(5),所述手动固定杆(5)一端与安装板(4)连接,另一端与顶板组件(2)连接。

5.根据权利要求4所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述顶板组件(2)上设有卡槽(21),所述手动固定杆(5)下端穿过所述卡槽(21),并套设一锁紧螺母(6),所述手动固定杆(5)与锁紧螺母(6)之间为螺纹配合。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述顶板组件(2)对应设有控制顶板组件(2)升降位置的位置传感器。

7.根据权利要求6所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述位置传感器包括工作工位传感器(71)和检修工位传感器(72)。

8.根据权利要求2至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的升降机构,其特征在于:所述同步带机构(1)还包括多个用于张紧同步带(13)的张紧轮(15)。

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