技术总结
本实用新型公开了一种用于生产型磁控溅射系统的升降机构，包括同步带机构、顶板组件和四根竖直设置的升降丝杆，所述同步带机构用于驱动四根升降丝杆同步转动，所述顶板组件安装于四根升降丝杆的丝杆螺母上。本实用新型采用一个驱动机构即可实现顶板组件的升降，结构简单紧凑，经济节约，采用同步带机构和升降丝杆配合，操作方便，升降过程稳定可靠。
技术研发人员：佘鹏程;龚俊;彭立波;陈特超;范江华
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十八研究所
文档号码：201620494944
技术研发日：2016.05.27
技术公布日：2016.12.07