具有多孔玻璃结构的粉末样品容器的制作方法

文档序号:11699730阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了具有多孔玻璃结构的粉末样品容器,其特征在于:包括管状腔体一和管状腔体二,管状腔体一的口径为r1,管状腔体一的口径为r2,其中r2>r1;管状腔体一和管状腔体二均为一端开口且另一端封闭的管状结构,封闭端均为多孔玻璃结构;管状腔体一的开口端从管状腔体二的开口端伸入到管状墙体二内,套接形成严密扣合结构;该结构的容器可以盛放不同粒径大小的固体粉末样品,放置于化学气相沉积设备的腔室内,例如PECVD、ALD设备中进行粉末的包覆、制备核壳材料。通过腔体内部抽排和进气的气体流动,致使粉末在该容器中循环运动、充分分散,从而增加外层包覆材料制备的均匀性。

技术研发人员:李愿杰;廖亚琴;张中伟
受保护的技术使用者:中国东方电气集团有限公司
文档号码:201621308236
技术研发日:2016.12.01
技术公布日:2017.07.18

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