技术特征:
技术总结
一种具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部的表面的模具的制造方法,包含:工序(a),准备模具基材(10);工序(b),通过将铝合金层(18)部分进行阳极氧化,形成具有多个凹部(14p)的多孔氧化铝层(14);工序(c),通过将多孔氧化铝层接触蚀刻液,扩大多个凹部;工序(d),检测形成于多孔氧化铝层或基材表面的突出部(210);工序(e),判定检测的突出部的高度是否比预先设定的高度高;以及工序(f),在工序(e)中,在判定高的情况,通过照射激光于突出部,使突出部的高度比预先设定的高度低。
技术研发人员:山田信明;林秀和;山田美穗
受保护的技术使用者:夏普株式会社
技术研发日:2015.10.30
技术公布日:2017.09.08