片材的制造方法和片材制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及片材的制造方法和片材制造装置、详细而言涉及用于制造在电子元件的密封中使用的片材的制造方法和在该制造方法中使用的片材制造装置。
【背景技术】
[0002]在电子元件中使用的片材、例如用于将光半导体元件密封的密封片材是通过如下方式制造成的:将作为片材的原料的液状组成物涂覆在基材上，针对每I张片材(单片片材)进行成膜，接着，通过对该片材实施加热等后处理，从而使其成为半固化状态或固化状
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[0003]并且，作为在工业上连续地进行加热处理来产生片材的方式，可列举出例如利用带式输送机输送通过成膜而形成的单片片材并使单片片材通过加热烘箱内部的带式输送机方式。
[0004]但是，在该带式输送机方式中，为了充分地加热单片片材，需要使烘箱和带式输送机这两者的距离较长，从而产生使整个装置大型化这样的不良情况。
[0005]另一方面，除了带式输送机方式之外，例如，还提出一种加热装置，其包括设于加热室的内部的加热板和以与加热室相邻的方式设置的冷却板，其中，通过从设于加热板和冷却板的喷出孔喷出气体，从而使基板在加热板与冷却板之间移动(例如，参照专利文献
1 ) O
[0006]专利文献1:日本特开2007 - 184429号公报
【发明内容】
_7] 发明要解决的问题
[0008]然而，在片材的制造方法中，存在加热处理时间长于成膜处理时间的情况。在这样的情况下，在使用专利文献I的加热装置来连续地生产单片片材时，对于通过成膜而形成的某一单片片材，不能对其实施加热处理，而不得不待机，直至刚在该某一单片片材之前进行了成膜并正在进行加热处理的单片片材的加热处理结束为止。因而，产生生产效率较差这样的不良情况。
[0009]本发明的目的在于，提供一种能够高效地制造片材的片材的制造方法和片材制造
目.ο
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本发明提供一种片材的制造方法，其特征在于，该片材的制造方法包括:成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及后处理工序，在该后处理工序中，对所述单片片材实施第I后处理，将所述第I后处理所需的第I后处理时间设定得长于所述成膜处理所需的成膜时间，在所述后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理。
[0012]采用该制造方法，能够对在成膜工序中通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地进行第I后处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材的第I后处理结束为止待机。
[0013]其结果，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。
[0014]另外，在本发明的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理。
[0015]采用该制造方法，由于能够按照批次在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，因此能够在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地实施第I后处理。因此，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够尚效地制造单片片材。
[0016]另外，由于能够针对各个不同的静止区域设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材实施第I后处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材。
[0017]另外，在本发明的片材的制造方法中，优选的是，所述第I后处理是对所述单片片材进行加热的加热处理。
[0018]采用该制造方法，能够制造出被加热处理后的单片片材。
[0019]另外，在本发明的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，实施所述第I后处理，之后，对所述单片片材进行冷却。
[0020]采用该制造方法，由于在第I后处理后对被加热处理后的单片片材进行冷却，因此能够对单片片材赋予适当的热历程。
[0021]另外，在本发明的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，在进行第I后处理之前，对所述单片片材进行消泡。
[0022]采用该制造方法，由于在第I后处理之前对单片片材进行消泡，因此能够制造抑制了因第I后处理而产生的表面粗糙的单片片材。
[0023]另外，本发明提供一种片材制造装置，其特征在于，该片材制造装置包括:成膜部，其用于按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；后处理部，其用于对所述单片片材实施第I后处理；以及控制部件，其用于控制所述成膜部和所述后处理部，所述控制部件将对所述单片片材实施所述第I后处理的第I后处理时间设定为长于对所述片材组合物进行成膜而形成所述单片片材的成膜时间，所述后处理部以能对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理的方式构成。
[0024]采用该制造装置，在后处理部中，能够对在成膜部中通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地实施第I后处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材的第I后处理结束为止待机。
[0025]其结果，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。
[0026]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，在所述后处理部中具有多个第I后处理区域，该第I后处理区域是按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理的区域。
[0027]采用该制造装置，由于能够按照批次在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，因此能够在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地进行第I后处理。因此，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够尚效地制造单片片材O
[0028]另外，由于能够针对各个不同的静止区域设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材实施第I后处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材。
[0029]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述成膜部与所述各第I后处理区域直列配置。
[0030]采用该制造装置，能够使单片片材从成膜部沿着直列方向顺畅地移动至第I后处理区域。
[0031]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述第I后处理区域包括加热部件。
[0032]采用该制造装置，能够制造出被加热处理后的单片片材。
[0033]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述加热部件是加热板。
[0034]采用该制造装置，能够可靠且高效地加热单片片材。
[0035]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述加热部件是烘箱。
[0036]采用该制造装置，能够易于设计制造装置，从而能够以低成本来制造片材。
[0037]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述后处理部在相对于最后的第I后处理区域而言与所述成膜部相反的那一侧包括用于对所述单片片材进行冷却的冷却区域。
[0038]采用该制造装置，由于在第I后处理后对被加热处理后的单片片材进行冷却，因此能够对单片片材赋予适当的热历程。
[0039]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述后处理部在所述成膜部与最初的第I后处理区域之间包括用于对所述单片片材进行消泡的消泡区域。
[0040]采用该制造装置，由于对单片片材进行消泡，因此能够制造抑制了因第I后处理而产生的表面粗糙的单片片材。
[0041]另外，在本发明的制造装置中，优选的是，所述后处理部包括η个第I后处理区域，所述控制部件将对η个批次实施所述第I后处理的处理作为I个周期，以前一周期的最初批次的所述第I后处理的结束时刻为基准来设定当前周期的开始时刻。
[0042]在完成对前一周期的最初批次进行的第I后处理之后，能够毫无迟延地开始对当前周期的最初批次进行第I后处理。因此，能够高效地制造单片片材。
[0043]发明的效果
[0044]采用本发明的制造方法和制造装置，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。
【附图说明】
[0045]图1是本发明的片材制造装置的一实施方式的立体图。
[0046]图2是图1的片材制造装置的消泡区域的剖视图。
[0047]图3是图1的片材制造装置的加热区域的剖视图。
[0048]图4是图1的片材制造装置的冷却区域的剖视图。
[0049]图5是表示本发明的片材的制造方法的一实施方式中的各批次中的各工序所需的时间的时序图。
[0050]图6是本发明的片材制造装置的另一实施方式(沿上下方向划分加热区域的实施方式)的立体图。
[0051]图7是本发明的片材制造装置的又一实施方式(加热部件为烘箱的实施方式)的立体图。
[0052]图8是本发明的片材制造装置的再一实施方式(加热部件为烘箱且沿上下方向划分加热区域的实施方式)的立体图。
【具体实施方式】
[0053]在图1中，前后方向是第I方向，前侧是后述的单片片材的输送方向下游侧(第I方向一侧)，后侧是单片片材的输送方向上游侧(第I方向另一侧)。另外，与前后方向正交的方向是左右方向(第2方向)，与前后方向以及左右方向正交的方向是上下方向(第3方向)。图2?图4的方向以图1的箭头所示的方向为依据。
[0054]1.片材制造装置
[0055]如图1所示，片材制造装置I是用于自片材组成物制造单片片材2 (参照图2?图4)的制造装置，该单片片材2用于密封作为电子元件的光半导体元件。
[0056]该片材制造装置I包括成膜部3和配置在成膜部3的前侧的后处理部4。另外，在片材制造装置I中，在成膜部3的后侧配置有输送载体容纳部(未图示)，在后处理部4的前侧配置有回收部(未图示)。
[0057]在片材制造装置I中，沿着前后方向直列配置有成膜部3和后处理部4。在该片材制造装置I中，利用成膜部3对片材组成物进行成膜，从后方向前方输送通过成膜而形成的单片片材2，之后，利用后处理部4进行后处理。
[0058]输送载体容纳部配置在片材制造装置I的后侧。输送载体容纳部用于容纳多个输送载体6，构成为能够一个一个地将输送载体6向成膜部3输送。输送载体容纳部也可以是能够移动的台车。
[0059]输送载体6构成为能够在其上表面上载置脱模基材7 (后述)。具体而言，输送载体6形成为俯视大致矩形形状的平板。
[0060]成膜部3包括成膜台5和成膜装置8。
[0061]成膜台5呈沿前后方向延伸的俯视大致矩形形状，并形成为箱状。
[0062]成膜装置8是用于在配置于输送载体6的脱模基材7 (后述)的表面涂覆片材组成物的装置，包括轨道9、滑动构件10、载置台11、支承构件12、以及涂覆构件13。
[0063]轨道9在成膜台5的上表面沿左右方向相互隔开间隔地设有I对，各个轨道9以沿前后方向延伸的方式形成在直线上。
[0064]滑动构件10安装在轨道9上而构