表面。因此，能够将加热板31的稳定的热量可靠地传导至输送载体6。其结果，能够可靠且高效地加热单片片材2。
[0276]另一方面，采用图7的实施方式，能够易于设计制造装置，因此能够以低成本来制造单片片材2。
[0277]在图7的实施方式中，沿前后方向直列地设有多个作为加热部件的烘箱52，作为将烘箱用作加热部件的另一实施方式，也可以是，例如，如图8所示，使该烘箱为能够沿上下方向载置多个输送载体6并对多个输送载体6进行加热的架式烘箱54。
[0278]采用图8的实施方式，能够更易于设计制造装置，因此能够以低成本来制造单片片材2。
[0279]在图1的实施方式的制造装置中，后处理部4包括3个加热区域25 ( S卩，η为3)，但也可以是，例如，后处理部4包括两个加热区域25或4个以上的加热区域25，但对此没有图示。
[0280]在该实施方式中，能够对两个批次的单片片材两个或4个以上的批次的单片片材2同时并行地进行加热。
[0281]此外，η(整数)为2以上，优选为3以上，而且例如为12以下，优选为10以下。
[0282]在图1和图5的实施方式的制造方法中，将各加热区域25(第I加热区域25a、第2加热区域25b、第3加热区域25c)中的加热时间AS、BS以及(:8分别设定为相同时间，但也可以是，例如，将各加热时间怂、B8以及C 8分别设定为不同的时间，但对此没有图示。
[0283]采用设定为该不同的时间的实施方式，能够按照批次以不同的条件对单片片材2实施加热处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材2。
[0284]在图1的实施方式的制造方法中，将加热时间设定得长于成膜时间，对多个(3个)批次的单片片材同时并行地进行加热处理，但也可以是，例如，将作为第I后处理的消泡处理所需的消泡时间设定得长于成膜时间，对多个(3个)批次的单片片材同时并行地进行消泡，但对此没有图示。
[0285]S卩，在图1的实施方式的片材制造装置I中，能够构成为，使控制装置46将消泡时间设定得长于成膜时间并使后处理部4对多个批次的单片片材2同时并行地实施消泡处理。具体而言，在后处理部4中包括多个(3个)消泡区域24，对此没有图示。
[0286]采用该实施方式，也能够发挥与图1的实施方式相同的作用效果。
[0287]在图1的实施方式的制造方法中，实施加热处理，之后将单片片材冷却，但也可以是，例如，在实施加热处理之后，不进行冷却处理，而将单片片材回收到回收部，对此没有图不O
[0288]S卩，在图1的实施方式中的制造装置中，将冷却区域26配置于第3加热区域25c的前侧，但也可以是，例如，不设置冷却区域26，将排出区域27以与第3加热区域25c相邻的方式配置在第3加热区域25c的前侧，对此没有图示。
[0289]采用图1的实施方式，由于能够在加热处理后对被加热处理后的单片片材2进行冷却，因此能够对单片片材2赋予适当的热历程。
[0290]在图1的实施方式的制造方法中，在后处理工序中，在加热处理之前，对单片片材2进行消泡，但也可以是，例如，不设置消泡区域24，在对成膜片材进行成膜之后，在不实施消泡处理的情况下对成膜片材实施加热处理，对此没有图示。
[0291]S卩，在图1的实施方式的制造装置中，后处理部4在成膜部3与第I加热区域25a之间包括用于对单片片材2进行消泡的消泡区域24，但也可以是，例如，将第I加热区域25a以与供给区域23相邻的方式配置在供给区域23的前侧，对此没有图示。
[0292]然而，在通过成膜而形成的单片片材2的内部含有气泡、或在单片片材2与脱模基材7之间的界面存在气泡。当对该单片片材2进行加热，气泡在单片片材2内部、界面膨胀，在该状态下使单片片材2固化，因此使单片片材2产生表面粗糙。
[0293]另一方面，采用图1的实施方式，能够在加热处理之前将单片片材2内部所含有的气泡和/或存在于单片片材2与脱模基材7之间的界面中的气泡排出。因此，能够抑制在加热处理时产生气泡，从而能够抑制单片片材2的表面粗糙。
[0294]在图1的实施方式的片材制造装置I中，后处理部4包括供给区域23，但也可以是，例如，使后处理部4为不包括消泡区域24和供给区域23的结构，对此没有图示。S卩，也可以为将输送载体6从成膜部3直接输送至消泡区域24的结构。
[0295]在图1的实施方式中，能够在消泡处理、加热处理之前使输送载体6在供给区域23中待机规定时间。因此，能够将各批次的输送载体6使用第I输送机构38的时刻错开。即，例如，如图 5 所示，能够将各输送时间 A5, B5, B7, C5, C7, D5, A9、D7、E5、A10B9, E7、F5、B11,C9、F7, Cin G5, D9, G7, D11在时间轴上错开。其结果，能够减少各批次的输送载体6在通过第I输送机构38进行输送之前的待机时间。
[0296]在图1的实施方式的片材制造装置I中，在后处理部4中设有I个第I输送机构38，但也可以是，例如，将多个第I输送机构38设于后处理部4，对此没有图示。
[0297]也可以将多个第I输送机构38容纳于I个槽39内部。另外，也可以是，将第2槽以在从供给区域23到排出区域27的范围内沿前后方向延伸的方式形成于后处理台47的右端，将第I输送机构38容纳于该第2槽内部。
[0298]采用图1的实施方式的片材制造装置I，将成膜部3和各加热区域25(第I加热区域25a、第2加热区域25b、第3加热区域25c)直列配置，但也可以是，例如，将各加热区域25并列配置，对此没有图示。S卩，也可以将第I加热区域25a、第2加热区域25b以及第3加热区域25c配置在沿左右方向延伸的直线上。
[0299]在图1的实施方式的片材制造装置I中，能够将单片片材2从成膜部3沿着直列方向顺畅地输送至加热区域25。
[0300]采用图1的实施方式的片材制造装置I，能够使左右方向上的宽度为最小限度，从而能够在左右方向上实现省空间化。
[0301]采用图1的实施方式的片材制造装置1，供给区域23、消泡区域24、第I加热区域25a、第2加热区域25b、第3加热区域25c、冷却区域26以及排出区域27构成为一体，但也可以是，例如，供给区域23、消泡区域24、第I加热区域25a、第2加热区域25b、第3加热区域25c、冷却区域26以及排出区域27以互相分离的方式构成，对此没有图示。
[0302]采用构成为能够使各区域分离的实施方式，能够易于根据单片片材2的目的、用途而相应地调整各处理工序，或者能够根据片材制造装置I的设置空间而相应地改变加热区域25的配置数量以易于改变片材制造装置I的尺寸。
[0303]另外，作为本发明的例示的实施方式提供了所述技术方案，但是所述技术方案只不过是单纯的例示，不能限定性地进行解释。对于该技术领域的技术人员来说显而易见的本发明的变形例包含于后述的权利要求书中。
[0304]产业h的可利用件
[0305]本发明的片材的制造方法和片材制造装置能够用于各种工业产品，例如，能够用于在电子元件中使用的片材的制造方法和其制造装置等。
[0306]附图标iP,说曰月
[0307]1、片材制造装置；2、单片片材；3、成膜部；4、后处理部；6、输送载体；24、消泡区域；25、加热区域；25a、第I加热区域；25b、第2加热区域；25c、第3加热区域；26、冷却区域；46、控制装置；52、烘箱；54、架式烘箱。
【主权项】
1.一种片材的制造方法，其特征在于， 该片材的制造方法包括: 成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及 后处理工序，在该后处理工序中，对所述单片片材实施第I后处理， 将所述第I后处理所需的第I后处理时间设定得长于所述成膜处理所需的成膜时间， 在所述后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理。2.根据权利要求1所述的片材的制造方法，其特征在于， 在所述后处理工序中，按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理。3.根据权利要求1所述的片材的制造方法，其特征在于， 所述第I后处理是对所述单片片材进行加热的加热处理。4.根据权利要求3所述的片材的制造方法，其特征在于， 在所述后处理工序中，实施所述第I后处理，之后，对所述单片片材进行冷却。5.根据权利要求1所述的片材的制造方法，其特征在于， 在所述后处理工序中，在进行所述第I后处理之前，对所述单片片材进行消泡。6.一种片材制造装置，其特征在于， 该片材制造装置包括: 成膜部，其用于按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理； 后处理部，其用于对所述单片片材实施第I后处理；以及 控制部件，其用于控制所述成膜部和所述后处理部， 所述控制部件将对所述单片片材实施所述第I后处理的第I后处理时间设定为长于对所述片材组合物进行成膜而形成所述单片片材的成膜时间， 所述后处理部以能对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理的方式构成。7.根据权利要求6所述的片材制造装置，其特征在于， 在所述后处理部中具有多个第I后处理区域，该第I后处理区域是按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理的区域。8.根据权利要求7所述的片材制造装置，其特征在于， 各所述第I后处理区域与所述成膜部直列配置。9.根据权利要求7所述的片材制造装置，其特征在于， 所述第I后处理区域包括加热部件。10.根据权利要求9所述的片材制造装置，其特征在于， 所述加热部件是加热板。11.根据权利要求9所述的片材制造装置，其特征在于， 所述加热部件是烘箱。12.根据权利要求9所述的片材制造装置，其特征在于， 所述后处理部在相对于最后的第I后处理区域而言与所述成膜部相反的那一侧包括用于对所述单片片材进行冷却的冷却区域。13.根据权利要求7所述的片材制造装置，其特征在于， 所述后处理部在所述成膜部与最初的第I后处理区域之间包括用于对所述单片片材进行消泡的消泡区域。14.根据权利要求7所述的片材制造装置，其特征在于， 所述后处理部包括η个第I后处理区域， 所述控制部件将对η个批次实施所述第I后处理的处理作为I个周期， 以前一周期的最初批次的所述第I后处理的结束时刻为基准来设定当前周期的开始时刻。
【专利摘要】本发明提供片材的制造方法和片材制造装置，片材的制造方法包括：成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及后处理工序，在该后处理工序中，对单片片材实施第1后处理。将第1后处理所需的第1后处理时间设定得长于成膜处理所需的成膜时间，在后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第1后处理。
【IPC分类】B29L7/00, B29C35/02, B29C41/12
【公开号】CN105209234
【申请号】CN201480027625
【发明人】塚原大祐, 西胁谦一郎, 长滨利一
【申请人】日东电工株式会社
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2014年7月11日
【公告号】WO2015012123A1