送载体同样地重复实施第7批次之后的片材制造方法。
[0236]加热区域25中的基于各输送载体进行制造的工序
[0237]接着，着眼于加热区域25来说明基于第I输送载体?第6输送载体进行制造的工序。
[0238]首先，将第I输送载体从消泡区域24输送至第I加热区域25a，并开始加热处理(图5的时间T1)。之后，在正在第I加热区域25a中对第I批次的单片片材2 (载置于第I输送载体的单片片材2)实施加热处理时，将第2输送载体从消泡区域24输送至第2加热区域25b，并开始加热处理(T2)。在^至!^(后述)的期间内，对第I批次的单片片材2和第2批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。
[0239]之后，将第3输送载体从消泡区域24输送至第3加热区域25c，并开始加热处理(T3)。在1~3至T 4(后述)的期间内，对第I批次的单片片材2、第2批次的单片片材2以及第3批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。
[0240]之后，在以规定的加热时间(A8)对第I批次的单片片材2进行的加热结束后(T4)，将第I输送载体从第I加热区域25a输送至冷却区域26。之后，将第4输送载体从消泡区域24输送至第I加热区域25a，并对第4批次的单片片材开始进行加热处理(T5)。此外，在该八至T 5的期间内，在第I输送机构38完成将第I输送载体向冷却区域26输送的同时，开始将第4输送载体从消泡区域24向第I加热区域25a输送。在八至！^ (后述)的期间内，对第2批次的单片片材2和第3批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。在1~5至T6(后述)的期间内，对第2批次的单片片材、第3批次的单片片材2以及第4批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。
[0241]之后，在以规定的加热时间(B8)对第2批次的单片片材2进行的加热结束后(T6)，将第2输送载体从第2加热区域25b输送至冷却区域26。之后，将第5输送载体从消泡区域24输送至第2加热区域25b，并对第5批次的单片片材2开始进行加热处理(T7)。此外，在该1~6至T 7之间的输送过程中，在第I输送机构38完成将第2输送载体向冷却区域26输送的同时，开始将第5输送载体从消泡区域24向第2加热区域25b输送。在1~6至T 7的期间内，对第3批次的单片片材2和第4批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。在T7至T8 (后述)的期间内，对第3批次的单片片材2、第4批次的单片片材2以及第5批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。
[0242]之后，以规定的加热时间(C8)对第3批次的单片片材2进行的加热结束后(T8)，将第3输送载体从第3加热区域25c输送至冷却区域26。之后，将第6输送载体从消泡区域24输送至第3加热区域25c，并对第6批次的单片片材2开始进行加热处理(T9)。此外，在该T8至T 9之间的输送过程中，在第I输送机构38完成将第3输送载体向冷却区域26输送的同时，开始将第6输送载体从消泡区域24向第3加热区域25c输送。在1至T 9的期间内，对第4批次的单片片材2和第5批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。在1~9至T1。(后述)的期间内，对第4批次的单片片材2、第5批次的单片片材2以及第6批次的单片片材2同时并行地进行加热处理。
[0243]之后，在以规定的加热时间(D8)对第4批次的单片片材2进行的加热结束后(T10)，将第4输送载体从第I加热区域25a输送至冷却区域26。
[0244]之后，对于第7批次之后的单片片材2，与所述第4批次?第6批次的单片片材2同样地重复实施加热处理。
[0245]以上，在T2之后，对多个批次的单片片材2同时并行地实施加热处理。具体而言，在1~2至T 3的期间内，对两个批次的单片片材2进行加热，在T 3至T 4的期间内对3个批次的单片片材2进行加热，在1\至T 5的期间内对两个批次的单片片材2进行加热，在T 5至T 6的期间内对3个批次的单片片材2进行加热，在1~6至T 7的期间内对两个批次的单片片材2进行加热，在!\至T s的期间内对3个批次的单片片材2进行加热，在T 8至T 9的期间内对两个批次的单片片材2进行加热，在1~9至T i。的期间内对3个批次的单片片材2进行加热。
[0246]当前周期中的批次的开始时刻
[0247]对于当前周期中的批次的开始时刻，以下，使用图1和图5，以第2周期中的批次的开始时刻为例进行说明。
[0248]图1的片材制造装置I包括3个(η个)加热区域25。因此，控制部件(控制装置46)将对与加热区域25的个数相对应的3个批次实施的处理作为I个周期来对片材制造进行控制。
[0249]第2周期中的批次开始时刻(图5所示的Td)是第4批次的开始时刻，即是从输送载体容纳部开始输送第4输送载体的时刻(Td)。
[0250]第4输送载体的开始时刻(Td)是以第I输送载体(第I周期的最初批次)的加热处理的结束时刻(T4)为基准通过控制装置46设定的。
[0251]S卩，以下述方式来决定第4输送载体的开始时刻:以在对第I输送载体进行的加热处理结束之后(T4)，能与将第I输送载体从第I加热区域25a向冷却区域26输送的操作的结束(T5)相连续地开始将第4输送载体从消泡区域24向第I加热区域25a输送。
[0252]由此，能够使第I加热区域25a中的空闲时间(即，任一输送载体均没有载置于第I加热区域25a的时间)为最小限度，从而能够最大限度确保第I加热区域25a中的加热时间。其结果，能够高效地制造单片片材2。
[0253]如此制得的单片片材2能够用于各种工业用途，例如，能够用于液晶面板、半导体、印刷配线板、集成电路、二次电池容器等电子产品用途。
[0254]更具体而言，如此制得的单片片材2能够用作用于将电子元件密封的密封片材，优选用作用于将发光二极管元件等光半导体元件密封的密封片材。
[0255]并且，采用该制造方法，能够对在成膜工序中通过成膜而形成的单片片材2(第n+1批次、例如第2批次中的单片片材)和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材2(第η个批次、例如第I批次中的单片片材)同时并行地进行加热处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材2实施加热处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材的加热处理结束为止待机。
[0256]其结果，能够缩短单片片材2的制造时间，从而能够高效地制造单片片材2。
[0257]另外，采用该制造方法，在加热处理工序中，由于按照批次在不同的加热区域25、也就是说第I加热区域25a、第2加热区域25b以及第3加热区域25c中实施加热处理，因此能够在不同的加热区域25、即第I加热区域25a、第2加热区域25b以及第3加热区域25c中对在成膜部3中通过成膜而形成的单片片材2和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材2同时并行地实施加热处理。因此，能够缩短单片片材2的制造时间，从而能够高效地制造单片片材2。
[0258]另外，采用该制造方法，由于能够针对每个不同的加热区域25设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材2实施加热处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材2。
[0259]另外，采用该片材的制造方法，由于第I后处理是对单片片材2进行加热的加热处理，因此能够制造出被加热处理后的单片片材。其结果，若片材组成物含有热固化型树脂，则能够制造出半固化状态或固化状态的单片片材2。
[0260]另外，采用该片材制造装置I，在后处理部4中，能够对在成膜部3中通过成膜而形成的单片片材2 (第n+1批次、例如第2批次中的单片片材)和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材(第η个批次、例如第I批次中的单片片材)2同时并行地进行加热处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材2实施加热处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材2的加热处理结束为止待机。
[0261]其结果，能够缩短单片片材2的制造时间，从而能够高效地制造单片片材2。
[0262]另外，采用该片材制造装置1，在后处理部4中具有多个加热区域25、即第I加热区域25a、第2加热区域25b以及第3加热区域25c，该多个加热区域25是按照批次在不同的加热区域25实施加热处理的区域，因此，能够利用不同的加热区域25对通过成膜而形成的单片片材2和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材2同时并行地实施加热处理。因此，能够缩短单片片材2的制造时间，从而能够高效地制造单片片材2。
[0263]另外，由于能够针对每个不同的加热区域25设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材2实施加热处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材2。
[0264]另外，采用该片材制造装置1，加热区域25包括加热板31。
[0265]因此，能够制造出被加热处理后的单片片材2。其结果，若片材组成物含有热固化型树脂，则能够制造出半固化状态或固化状态的单片片材2。
[0266]另外，采用该片材制造装置1，后处理部4包括3个加热区域25，控制装置46将对3个批次实施加热处理的处理作为I个周期，并能够以前一周期(第η周期、例如第I周期)的最初批次(第η个批次、例如第I批次)的加热处理的结束时刻(例如T4)为基准来设定当前周期(第n+1周期、例如第2周期)的开始时刻(例如Td)。
[0267]因此，在完成对前一周期(第I周期)的最初批次(第I批次)进行的加热处理之后，能够毫无迟延地开始对当前周期(第2周期)的最初批次(第4批次)进行加热处理。因此，能够尚效地制造单片片材2。
[0268]夺形例
[0269]参照图6?图8说明制造装置的变形例。在图6?图8中，对于与所述实施方式相同的构件标注相同的附图标记而省略其说明。
[0270]在图1的实施方式的制造装置中，将加热区域25(25a、25b、25c)在前后方向上直列地划分，但也可以是，例如，如图6所示，在上下方向上划分加热区域25 (25a、25b、25c)。
[0271]S卩，在图6的实施方式中，在消泡区域24的前侧设有形成为沿上下方向延伸的箱状的加热塔50，在加热塔50的内部，以在上下方向上隔开间隔的方式划分有多个加热区域25(25a、25b、25c)。此外，在加热塔50的前侧面和后侧面，以与各加热区域25相对应的方式分别形成有用于相对于加热区域25输入输出输送载体6的输入口 51和输出口(未图不)。
[0272]此外，在加热塔50的前侧和后侧分别设有用于相对于各加热区域25的输入口 51输入输送载体6和相对于各加热区域25的输出口输出输送载体6的升降机(未图不)。
[0273]在图1的实施方式的制造装置中，作为加热部件而设有构成静止区域(也就是说，不会如带式输送机那样移动)的加热板31，但也可以是，例如，如图7所示，作为加热部件而设置烘箱52。
[0274]在图7的实施方式中，多个(3个)烘箱52设于各加热区域25(25a、25b、25c)的右侧部分。在烘箱52的左侧侧面形成有烘箱开口部53，以便能够利用烘箱移动用臂(未图示)沿图7的箭头所示的方向对输送载体6进行输入输出。
[0275]采用图1的实施方式，将输送载体6可靠地固定于被配置在加热板31的上表面上的第2吸附底板33的上