解除密闭空间的减压和输送载体6的吸附，打开真空腔室28。之后，使第I输送机构38与从供给区域23向消泡区域24的输送同样地运行，将输送载体6从消泡区域24向第I加热区域25a输送。
[0181]将输送载体6从该消泡区域24输送至第I加热区域25a所需的输送时间A7例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0182]加热处理
[0183]接着，在第I加热区域25a中实施对单片片材2进行加热的加热处理。
[0184]具体而言，使真空栗P运行，使输送载体6吸附于第2吸附底板33。
[0185]接下来，如图3所示，关闭保温罩32，利用保温罩32与第2吸附底板33密闭第I加热区域25a而形成密闭空间。
[0186]由此，加热板31的热量经由第2吸附底板33和输送载体6向单片片材2传导，其结果，单片片材2被加热。另外，也利用密闭空间的高温空气对单片片材2进行加热。
[0187]利用控制装置46对第I控制基板44和第2控制基板45的条件进行了设定，使得输送载体6的加热处理所需的加热时间A8长于成膜时间A 2o
[0188]加热时间A8例如超过成膜时间A 2的I倍，优选为成膜时间A2的两倍以上，而且例如为成膜时间^的12倍以下，优选为成膜时间六2的10倍以下。另外，特别优选的是，加热时间A8为成膜时间A 2的(加热部件(加热板31)的数量+1)倍以下，还进一步优选的是，加热时间A8为成膜时间A 2的(加热部件(加热板31)的数量)倍以下。具体而言，加热时间A8例如为120秒以上，优选为180秒以上，而且例如为1500秒以下，优选为1200秒以下。
[0189]将输送载体6从第I加热区域25a向冷却区域26输送
[0190]接着，将载置有被加热处理后的单片片材2的输送载体6从第I加热区域25a向冷却区域26输送。
[0191]具体而言，解除密闭空间的减压和输送载体6的吸附，打开保温罩32。之后，使第I输送机构38与从供给区域23向消泡区域24的输送同样地运行，将输送载体6从第I加热区域25a向冷却区域26输送。
[0192]将输送载体6从该第I加热区域25a输送至冷却区域26所需的输送时间六9例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0193]冷却处理
[0194]接着，在冷却区域26中实施对单片片材2进行冷却的冷却处理。
[0195]具体而言，如图5所示，使真空栗P运行，使输送载体6吸附于第3吸附底板35。在冷却板36中，在冷却循环通路36a内流通有制冷剂。
[0196]由此，冷却板36隔着第3吸附底板35和输送载体6对单片片材2进行冷却。
[0197]该冷却处理所需的冷却时间A1。例如为30秒以上，优选为45秒以上，而且例如为120秒以下，优选为60秒以下。
[0198]将输送载体6从冷却区域26向排出区域27输送
[0199]接着，将载置有被冷却处理后的单片片材2的输送载体6从冷却区域26向排出区域27输送。
[0200]具体而言，解除输送载体6的吸附，之后，使第I输送机构38与从供给区域23向消泡区域24的输送同样地运行，将输送载体6从冷却区域26向排出区域27输送。
[0201]将输送载体6从该冷却区域26输送至排出区域27所需的输送时间A11例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0202]将输送载体6从排出区域27向回收部输送
[0203]接着，将输送载体6从排出区域27向回收部输送。
[0204]具体而言，通过使第2输送机器人的臂沿上下方向和前后方向移动，从而把持输送载体6，并将输送载体6从排出区域27向回收部输送。之后，回收部将输送载体6回收到内部。
[0205]第2个批次中的制造方法
[0206]使用第2片输送载体6 (第2输送载体)来实施第2个批次(第2批次)的片材的制造。
[0207]除了在自第I输送载体延迟规定时间之后从输送载体容纳部输送第2输送载体和在第2加热区域25b实施加热处理以外，与第I批次的制造同样地实施第2批次的制造。
[0208]如图5所示，在从第I批次的开始(O秒时刻)起经过第2批次延迟时间B。(从输送载体容纳部开始输送第I输送载体的时刻起到从输送载体容纳部开始输送第2输送载体的时刻为止的延迟时间)后的时刻开始实施第2批次的制造。具体而言，在正在消泡区域24中对第I输送载体进行消泡处理的时刻开始实施第2批次的制造。另外，以能在刚将第I输送载体从消泡区域24向第I加热区域25a输送的操作结束后(T4)就针对第I批次开始将第2输送载体从供给区域23向消泡区域24输送(S卩，以使图5中的输送时间A7和输送时间B5在时间轴上相连续)的方式开始实施第2批次的制造。
[0209]第I批次中的各时间仏?A 11适用于第2批次中的各时间B B n。
[0210]尤其是，将该第2输送载体从消泡区域24输送至第2加热区域25b所需的输送时间B7设定得长于输送时间A7,其例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0211]将该第2输送载体从第2加热区域25b输送至冷却区域26所需的输送时间B9S定得短于输送时间A9，其例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0212]第3个批次中的制造方法
[0213]使用第3片输送载体6 (第3输送载体)来实施第3个批次(第3批次:第I周期中的最后批次)的片材的制造。
[0214]除了在自第2输送载体延迟规定时间之后从输送载体容纳部输送第3输送载体和在第3加热区域25c实施加热处理以外，与第I批次的制造同样地实施第3批次的制造。
[0215]如图5所示，在从第I批次的开始起经过第3批次延迟时间C。(从输送载体容纳部开始输送第I输送载体的时刻起到从输送载体容纳部开始输送第3输送载体的时刻为止的延迟时间)后的时刻开始实施第3批次的制造。具体而言，在正在第I加热区域25a中对第I输送载体进行加热处理且在正在消泡区域24中对第2输送载体进行消泡处理的时刻开始实施第3批次的制造。另外，以能在刚将第2输送载体从消泡区域24向第2加热区域25b输送的操作结束后就开始将第3输送载体从供给区域23向消泡区域24输送(即，以使图5中的输送时间B7和输送时间C 5在时间轴上相连续)的方式开始实施该第3批次的制造。
[0216]第I批次中的各时间仏?A 11适用于第3批次中的各时间C C n。
[0217]此外，将该第3输送载体从消泡区域24输送至第3加热区域25c所需的输送时间C7设定得长于输送时间B 7，其例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0218]将该第3输送载体从第3加热区域25c输送至冷却区域26所需的输送时间(:9设定得短于输送时间B9，其例如为I秒以上，而且例如为30秒以下，优选为10秒以下。
[0219]第4个批次中的制造方法
[0220]使用第4片输送载体6 (第4输送载体)来实施第4个批次(第4批次:第2周期中的最初批次)的片材的制造。
[0221]除了在自第3输送载体延迟规定时间之后从输送载体容纳部输送第4输送载体以夕卜，与第I批次的制造同样地实施第4批次的制造。
[0222]如图5所示，在从第I批次的开始起经过第4批次延迟时间D。(从输送载体容纳部开始输送第I输送载体的时刻起到从输送载体容纳部开始输送第4输送载体的时刻为止的延迟时间)后的时刻开始实施第4批次的制造。具体而言，在正在第I加热区域25a中对第I输送载体进行加热处理的时刻开始实施第4批次的制造。第4批次的加热处理在第I批次的加热处理之后实施。另外，以能在刚将第I输送载体从第I加热区域25a向冷却区域26输送的操作结束后就开始将第4输送载体从消泡区域24向第I加热区域25a输送(即，以使图5中的输送时间A9和输送时间D 7在时间轴上相连续)的方式开始实施该第4批次的制造。
[0223]第I批次中的各时间仏?A 用于第4批次中的各时间D广D n。
[0224]第5个批次中的制造方法
[0225]使用第5片输送载体6 (第5输送载体)来实施第5个批次(第5批次:第2周期中的第2批次)的片材的制造。
[0226]除了在自第4输送载体延迟规定时间之后从输送载体容纳部输送第5输送载体以夕卜，与第2批次的制造同样地实施第5批次的制造。
[0227]如图5所示，在从第I批次的开始起经过第5批次延迟时间E。(从输送载体容纳部开始输送第I输送载体的时刻起到从输送载体容纳部开始输送第5输送载体的时刻为止的延迟时间)后的时刻开始实施第5批次的制造。具体而言，在正在消泡区域24中对第4输送载体进行消泡处理的时刻开始实施第5批次的制造。第5批次的加热处理是在第2批次的加热处理之后实施的。另外，以能在刚将第4输送载体从消泡区域24向第I加热区域25a输送的操作结束后就开始将第5输送载体从供给区域23向消泡区域24输送(即，以使图5中的输送时间D7和输送时间E 5在时间轴上相连续)的方式开始实施该第5批次的制造。并且，以能在刚将第2输送载体从第2加热区域25b向冷却区域26输送的操作结束后就开始将第5输送载体从消泡区域24向第2加热区域25b输送(S卩，以使图5中的输送时间B9和输送时间E 7在时间轴上相连续)的方式开始实施该第5批次的制造。
[0228]第2批次中的各时间B 用于第5批次中的各时间EfE n。
[0229]第6个批次中的制造方法
[0230]使用第6片输送载体6 (第6输送载体)来实施第6个批次(第6批次:第2周期中的最后批次)的片材的制造。
[0231]除了在自第5输送载体延迟规定时间之后从输送载体容纳部输送第6输送载体以夕卜，与第3批次的制造同样地实施第6批次的制造。
[0232]如图5所示，在从第I批次的开始起经过第6批次延迟时间F。(从输送载体容纳部开始输送第I输送载体的时刻起到从输送载体容纳部开始输送第6输送载体的时刻为止的延迟时间)后的时刻开始实施该第6批次的制造。具体而言，在正在第I加热区域25a中对第4输送载体进行加热处理的时刻且在正在消泡区域24中对第5输送载体进行消泡处理的时刻开始实施第6批次的制造。第6批次的加热处理是在第3批次的加热处理之后实施的。另外，以能在刚将第5输送载体从消泡区域24向第2加热区域25b输送的操作结束后就开始将第6输送载体从供给区域23向消泡区域24输送(S卩，以使图5中的输送时间E7和输送时间F 5在时间轴上相连续)的方式开始实施该第6批次的制造。并且，以能在刚将第3输送载体从第3加热区域25c向冷却区域26输送的操作结束后就开始将第6输送载体从消泡区域24向第3加热区域25c输送(即，以使图5中的输送时间B9和输送时间E7在时间轴上相连续)的方式开始实施该第6批次的制造。
[0233]第3批次中的各时间(；?C 用于第6批次中的各时间F广F n。
[0234]第7批次以后的批次中的制造方法
[0235]除了各批次开始时间以外，与所述第4输送载体?第6输