扩散炉尾气排放管的制作方法

本实用新型涉及管式扩散炉技术领域，特别是涉及一种扩散炉尾气排放管。

背景技术：

在扩散工艺制程中使用的扩散炉管，需要通过石英尾气排放管将废气排出炉管，现有扩散炉尾气排放管只是一个单纯连接石英炉管与酸排管路的石英连接件。

在扩散工艺制程中使用扩散炉管，需要通过石英尾气排放管将废气排出炉管，在扩散炉尾气排放管尾部冷热交替处会生成固态偏磷酸，堵塞扩散炉尾气排放管，影响炉管正常气流循环，影响正常工艺，造成低效片；扩散炉尾气排放管因受偏磷酸堵塞，需经常疏通，影响正常生产；扩散炉尾气排放管因受偏磷酸腐蚀，容易损坏，更换周期短。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中扩散炉尾气排放管尾部易生成偏磷酸的不足，本实用新型提供一种扩散炉尾气排放管。

本实用新型解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种扩散炉尾气排放管，包括管体，所述管体上开设有从管体外壁延伸至管体内壁的进气口，所述进气口设于所述管体尾部，所述进气口通过气管与气源连通。

采用扩散炉尾气排放管上设进气口，通过气管连接气源(如氮气)对扩散炉尾气排放管内进行吹气，通过氮气维持扩散炉尾气排放管内正压，避免了所排废气与空气接触，从而避免生成偏磷酸。保证了扩散炉尾气排放管的长期畅通，减缓了扩散炉尾气排放管的腐蚀。

进一步，所述进气口从管体外壁到管体内壁向管体尾端倾斜，所述气管与进气口连通处倾斜方向相同且倾斜角度相同。

进气口与进气口处的气管设成向管体尾部的倾斜状，通过气管连接气源(如氮气)对扩散炉尾气排放管内进行吹气，可以带动废气排放，保证了扩散炉尾气排放管的畅通。

进一步，所述进气口轴线与所述管体轴线之间的角度为20°～80°。

进一步，所述进气口轴线与所述管体轴线之间的角度为45°。

进一步，所述管体尾端连通有圆弧形空腔。保证了扩散炉尾气排放管的长期畅通，减缓了扩散炉尾气排放管的腐蚀。

进一步，所述气源为氮气生成装置。

进一步，所述气管上设有调节阀。根据产生废气的多少，调节输入的氮气的量，从而避免生成偏磷酸。保证了扩散炉尾气排放管的长期畅通，减缓了扩散炉尾气排放管的腐蚀。

进一步，所述管体外侧套设有连接件。所述连接件与炉管尾部的出口管连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种扩散炉尾气排放管，采用扩散炉尾气排放管尾部设进气口，通过气管连接氮气气源对扩散炉尾气排放管内部吹气，解决了扩散炉尾气排放管经常会被偏磷酸堵塞现象，保证设备长期正常运行，提高了生产效率，避免了因为扩散炉尾气排放管堵塞造成的低效片；另一方面延长了石英扩散炉尾气排放管的使用寿命，避免了扩散炉尾气排放管因偏磷酸侵蚀造成的损坏，节约了生产成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型最佳实施例的结构示意图；

图2是图1中A的放大示意图示意图。

图中：1、管体，2、进气口，3、调节阀，4、圆弧形空腔，5、连接件，6、气管，7、气源。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1-2所示，本实用新型的一种扩散炉尾气排放管，包括管体1，所述管体1上开设有从管体1外壁延伸至管体1内壁的进气口2，所述进气口2设于所述管体1尾部，所述进气口2通过气管6与气源7连通。

所述进气口2从管体1外壁到管体1内壁向管体1尾端倾斜，所述气管6与进气口2连通处倾斜方向相同且倾斜角度相同，所述进气口2轴线与所述管体1轴线之间的夹角α为45°。

所述管体1尾端连通有圆弧形空腔4。

所述气源7为氮气生成装置。

所述气管6上设有调节阀3。

所述管体1外侧套设有连接件5。

所述进气口2设于所述圆弧形空腔4和连接件5之间的管体1上。

工作原理：

在扩散炉尾气排放管尾部增加一个45°的进气口2，所述进气口2通过气管6与气源7连通，调节调节阀3开启度，补偿适量氮气到管体1内，一方面可以带动废气排放，另一方面通过氮气维持扩散炉尾气排放管内正压，避免了所排废气与空气接触，从而避免生成偏磷酸。保证了扩散炉尾气排放管的长期畅通，减缓了扩散炉尾气排放管的腐蚀。

图中箭头表示气流流动方向。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本实用新型的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。