炉膛内部，图中不可见。
[0029]本实施例中所述炉体I四周相当于对布了六对氧气供给管组3，其中任一氧气供给管组3和与之相对的另一面的氧气供给管组3中均可拿出一根分氧气供给管路3b配对形成一对高低管路，该对高低管路中的两根分氧气供给管路3b与炉体I的连接口之间具有高低差。设计对布成高低差的分氧气供给管路3b (分属于两个氧气供给管组3)，其作用是确保在运作时能由PLC控制器控制不同高度的分氧气供给管路3b交替流入氧气，使得多股氧气之间形成对流和紊流，从而进一步增大炉膛内的氧密度，提高烧结效果，同时节约氧气流量，降低生产成本。本实施例中所述炉体I顶部(中心位置)设有与炉膛相通的压力控制阀6，所述压力控制阀6为现有技术，当炉膛内气体压力过高时，其能够自动泄压。
[0030]本实施例中在所述炉体I上还设有气冷机构，该机构具有设于炉体I上且与炉膛连通的冷却气体输入管路4和冷却气体输出管路5。其中的冷却气体输入管路4由环绕炉体I布置的主输送管路4a和设于该主输送管路4a上且间隔分布于炉体I四周的共12根分输送管路4b所构成，所述分输送管路4b固定至炉体I上并通过连接口与炉膛连通，并且本实施例中分输送管路4b与炉体的连接口位置位于1/5炉体I高度处。而本实施例中冷却气体输出管路5共有四根，固定于炉顶并通过连接口与炉膛连通，这四根冷却气体输出管路5关于炉顶的压力控制阀6呈中心对称分布。冷却气体为空气，由风机(图中不可见)供给，并与冷却气体输入管路4中的主输送管路4a相连。本实施例中的气冷机构结构设计可以确保通入冷却气体时能够极大的兼顾整个炉膛，更为有效的起到冷却和清除炉膛内部烧结后残留气体的效果。
[0031]依旧如图1所示，本实施例中的台车升降机构由用于输送台车2的小车7、用于承载小车7的升降平台8和用于驱动所述升降平台8升降的链条同步升降驱动装置共同组成。所述链条同步升降驱动装置构成为:固定于所述支架9 一侧的电机10及其减速箱11、固定于减速箱11输出轴两端的两个驱动链轮12(图中只可见一个)，以及枢转安装于支架9上且围绕炉膛底部敞口呈中心对称分布的四个导向链轮13(图中只可见两个)。所述四个导向链轮13围绕炉膛底部敞口呈四方分布(也即关于敞口呈中心对称分布)。这四个导向链轮13分成两组分别与两个驱动链轮12对应；每组均为两个导向链轮13并和对应的驱动链轮12布置于一条直线上，驱动链轮12上引出两根链条14分别经同组的两个导向链轮13与升降平台8垂直固定。
[0032]本实施例中所述小车7为导轨滚轮推车，所述升降平台8上平行设有供所述导轨滚轮推车行走的两条导轨15。
[0033]本实施例提供的是常压气氛烧结炉，其炉体I在烧结ITO靶材产品(以In2O5为例)的过程中，炉膛内部压力范围是10?lOOOpa。
[0034]当然上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型主要技术方案的精神实质所做的修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种高含氧量靶材气氛烧结炉，包括内设炉膛的炉体(I)和与炉膛底部敞口配合的台车(2);其特征在于所述炉体(I)上设有若干用于向炉膛内输送氧气的氧气供给管组(3)，每个氧气供给管组均包含一条主氧气供给管路(3a)和设于其上的至少一条分氧气供给管路(3b)，而各分氧气供给管路(3b)上均设计有独立启闭的电磁阀与PLC控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述炉体(I)的四周和底部均设有所述氧气供给管组(3)。
3.根据权利要求1所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述炉体(I)上至少对布有两个氧气供给管组(3)，而分属于这两个氧气供给管组(3)的分氧气供给管路(3b)中至少配对形成一对高低管路，该对高低管路中的两根分氧气供给管路(3b)与炉体(I)的连接口之间具有高低差。
4.根据权利要求1或3所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述同一根主氧气供给管路(3a)上设有两根以上的分氧气供给管路(3b)，且这两根以上的分氧气供给管路(3b)与炉体(I)的连接口之间均具有高低差。
5.根据权利要求1所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述炉体(I)上还设有气冷机构，该机构包括设于炉体(I)上且与炉膛连通的冷却气体输入管路(4)和冷却气体输出管路(5)，并且所述冷却气体输出管路(5)与炉体(I)的连接口位置高于冷却气体输入管路⑷与炉体(I)的连接口位置。
6.根据权利要求5所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述冷却气体输入管路(4)与炉体(I)的连接口位置设计在炉体(I)下部，而冷却气体输出管路(5)与炉体(I)的连接口位置设计在炉体(1)3/4高度至炉体(I)顶部的区域内。
7.根据权利要求5或6所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述冷却气体输入管路(4)包括环绕炉体(I)布置的主输送管路(4a)，该主输送管路(4a)上设有若干间隔分布于炉体(I)四周的分输送管路(4b)，所述分输送管路(4b)固定至炉体(I)上并与炉膛连通。
8.根据权利要求1所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述炉体(I)顶部设有与炉膛相通的压力控制阀(6)。
9.根据权利要求1所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于还包括台车升降机构，该机构包括用于输送台车(2)的小车(7)、用于承载小车(7)的升降平台(8)和用于驱动所述升降平台(8)升降的链条同步升降驱动装置，所述链条同步升降驱动装置包括支撑炉体(I)的支架(9)，固定于支架(9) 一侧的电机(10)及其减速箱(11)、设于减速箱(11)输出轴上的驱动链轮(12)，以及枢转安装于支架(9)上且围绕炉膛底部敞口呈中心对称分布的至少三个导向链轮(13)，所述驱动链轮(12)上的链条(14)经所述导向链轮(13)与升降平台(8)垂直固定。
10.根据权利要求9所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述驱动链轮(12)的数量为两个，分别固定于所述减速箱(11)输出轴的两端；而所述导向链轮(13)的数量为四个并呈四方分布，这四个导向链轮(13)分成两组分别与两个驱动链轮(12)对应；每组均为两个导向链轮(13)并和对应的驱动链轮(12)布置于一条直线上，驱动链轮(12)上引出两根链条(14)分别经同组的两个导向链轮(13)与升降平台(8)垂直固定；并且所述小车(7)为导轨滚轮推车，所述升降平台(8)上设有供所述导轨滚轮推车行走的导轨(15)。
11.根据权利要求7所述的高含氧量靶材气氛烧结炉，其特征在于所述炉体(I)在烧结ITO靶材产品时，炉膛内部压力为10?lOOOpa。
【专利摘要】本实用新型公开了一种高含氧量靶材气氛烧结炉，包括内设炉膛的炉体和与炉膛底部敞口配合的台车；其特征在于所述炉体上设有若干用于向炉膛内输送氧气的氧气供给管组，每个氧气供给管组均包含一条主氧气供给管路和设于其上的至少一条分氧气供给管路，而各分氧气供给管路上均设计有独立启闭的电磁阀与PLC控制器电连接。本实用新型相比常规电阻炉，因设计有专门的氧气供给管组，故能满足对于氧气供给有较高需求的ITO靶材(In2O5)的烧结。且因各氧气供给管组的分氧气供给管路上均设计独立启闭的电磁阀，故实际烧结时，能根据需要控制其中部分的分氧气供给管路在适宜的时间通断，以合理的氧气供给方式来降低生产成本，提高生产质量。
【IPC分类】F27D7-06, F27B21-08
【公开号】CN204574799
【申请号】CN201520126645
【发明人】吹野洋平
【申请人】阿尔赛(苏州)无机材料有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月5日