一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置的制作方法

文档序号:13685669阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置,包括晶片载台、清洗管组、刷洗机构和PLC控制器,其特征为,所述晶片载台中心设有凸环,所述凸环内设有真空吸盘,所述晶片载台上表面边缘处设有若干卡板,若干卡板绕凸环一周均匀间隔设置,所述晶片载台底部设有底座,所述底座底部设有连接轴承,所述连接轴承一端穿过底座与真空吸盘相连,另一端设有旋转接头,所述旋转接头上设有抽气管,所述抽气管连接有抽真空泵,所述旋转接头连接有电机轴承,所述电机轴承连接有第一旋转电机;

所述清洗管组包括清洗液管、纯水管和氮气管,且分别位于晶片在台顶部三侧,所述清洗液管和纯水管上设有流量调节器,所述氮气管上设有气压阀,所述清洗液管、纯水管和氮气管上均设有电子阀;

所述刷洗机构包括刷洗盘、螺旋杆和第二旋转电机,所述刷洗盘底部设有毛刷,所述刷洗盘位于真空吸盘处,且连接有传动气缸,所述传动气缸上设有调节气阀,所述螺旋杆一端与传动气缸相连,且外部设有支架,所述第二旋转电机设置于支架上,且底部设有传动齿,所述传动齿与螺旋杆配合使用,所述第一旋转电机、电子阀、传动气缸和第二旋转电机均与PLC控制器电连接。

2.如权利要求1所述的一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置,其特征为,所述卡板高度大于真空吸盘至晶片载台上表面的垂直距离。

3.如权利要求1所述的一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置,其特征为,所述底座与晶片载台和连接轴承之间均通过螺丝固定相连,所述螺丝外设有若干螺丝垫片,若干螺丝垫片位于底座和晶片载台之间。

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