专利名称：净化空气的过滤装置及方法
技术领域：
本发明是有关于一种过滤装置及方法，且特别是有关于一种净化空气的过滤装置及方法。
熟悉半导体产业者均知，由于以半导体制程制造出的元件尺寸很小，而唯恐空气中颗粒(particle)不慎掉落在晶片上影响制程的进行，因此半导体工厂中对于洁净室(clean room)的洁净度要求相当高。
半导体厂一般是为密闭式的建筑，借助空气清净调节装置维持厂内空气的清新，然而空气清净调节装置有时并无法完全过滤外界空气的异味，致使整个厂内将会充斥著人员无法忍受的异味。更严重的情况是，部分的气体将与制程中的制程原料反应，导致制程的良率降低。
虽然厂内会另外加装一些侦测器，侦测外界进入厂内的空气是否含有影响制程进行的气体，然而在人体的嗅觉器官对于某些具有刺激性或其他异味的气体较侦测器更为敏感之下，常常在侦测器发出警告(alarm)前，厂内人员即已无法容忍，因此只好先行将人员疏散，以确保人员的健康与安全。而人员的疏散，造成部分制程的中断，同样地也会降低生产率。
有监于此，本发明的目的就是在提供一种净化空气的过滤装置，藉以净化外界进入半导体厂的空气，确保空气的品质，使厂内的人员安全受到保障，确保制程良率。
本发明提供一种净化空气的过滤装置，用以净化进入一工厂中的外界空气，其特征在于，包括一水幕式过滤装置，该水幕式过滤装置，利用一水幕吸收外界空气中的异物，一端藉由一第一管路连接至一储水槽，另一端连接至一第二管路；以及一第一泵，装设在该水幕式过滤装置与该储水槽之间，用以从该储水槽中加压产生该水幕式过滤装置所需的水。
其中该第一泵与该储水槽之间还包括一加热装置，用以加热该第一管路中的水，增加该水幕式过滤装置对空气中异物的溶解度。
其中该第二管路连接至该储水槽与该加热装置之间的第一管路上。
其中该装置还包括一第二泵，该第二泵装设在该第二管路连接至该第一管路之前，用以将该第二管路中的水送入该第一管路。
本发明一种净化空气的方法，用以净化进入一工厂中的外界空气，其特征在于，包括利用一泵将水经由一第一管路，而从一储水槽中送至一水幕式过滤装置；以及以该水幕式过滤装置产生一流动式水幕覆盖该工厂的一外界空气入口，藉由该流动式水幕去除外界空气中的异物。
其中该水幕式过滤装置还连接至一第二管路，藉由该第二管路将该流动式水幕产生的水导出。
其中还包括在水进入该水幕式过滤装置前，利用一加热装置增加水温的步骤。
其中该加热装置是装设在该储水槽与该水幕式过滤装置之间。
为让本发明的上述和其他目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下图式的简单说明
图1是显示本发明较佳实施例净化空气的过滤装置的示意图。
图2是显示图1中的控制回路108的构成图。
实施例人体的嗅觉器官对于一些刺激性的味道，例如含氯气体或是氨等，通常较工厂中一些侦测器更为敏感，而半导体厂因为洁净室洁净度的因素，即使在室内空气充满异味时，仍无法以开启通风处的方式进行处理，导致当厂中的工作人员无法忍受时，人员需撤离工厂，以确保其安全与健康，然而在这样的情况下，生产线将需停止操作。此外，在集成电路(IC)的制程，氨气会与微影制程的光阻材料反应，使得线路解析度变差，而严重影响到微影制程的进行，故氨气在厂区中的浓度显得更为重要。因此本发明的较佳实施例是在提供一种净化空气的过滤装置，用以净化外界进入工厂中的空气，以更进一步确保人员安全，更能提升生产线效率。
图1所示，为根据本发明一较佳实施例净化空气的过滤装置的示意图，其是在工厂中外界空气的入口管路100处装设一水幕式过滤装置102，水幕式过滤装置102一端是接往一第一管路104，作为水幕式过滤装置102需用的水的入口，第一管路104连接至一储水槽106，槽中是储存了水幕式过滤装置102中所需的水。在储水槽106与水幕式过滤装置102之间装设了控制回路108(该控制回路为已有技术，如图2所示)，包含了水泵(pump)或压缩机(compressor)，并装设时间控制器启动水阀，另利用相对湿度计或氨微量侦测器来管控水幕的开与合。例如为水泵或压缩机，用以将储水槽106中的水加压使水具有适当的压降(head)，而可将水经由第一管路104送至水幕式过滤装置104的入口。
水幕式过滤装置102可具有一喷洒状或喷嘴式的接头(未绘出)，使从第一管路104流出的水经由接头以水幕状或雾状喷洒出，而由于水幕式过滤装置102是装设在外界空气入口100a，因此当水喷洒出时，可将管路100的入口100a整个挡出。因此，当外界空气进入管路100时，会先经由水幕式过滤装置102，则外界空气中的废气例如含氯气体或氨等将可溶解在水幕式过滤装置102产生的水幕中，外界空气中的悬浮颗粒亦可藉由水幕将其稀释或去除。
如图1所示，水幕式过滤装置102的另一端接往一第二管路110，其作为一汲出管，将从水幕式过滤装置102流出的水导出。此外，为节省资源，更可将第二管路110中流出的水回收，利用在第二管路110中装设一泵112，将水送入第一管路104中进行回收。此外，在第一管路104中还可装设一加热装置114，加热送入水幕式过滤装置102的水，则水在经过加温之后，可增加外界空气中的废气或颗粒对水的溶解度，而使水幕式过滤装置102可吸收外界空气中更多不必要的物质，而达到其过滤的功能。另外，更可将此净化空气的过装置装设有计时器，在外界空气较为干净时，停止此过滤装置的运作，以节省资源并降低成本。
本发明较佳实施例是在工厂中外界空气的入口装置一过滤装置，此过滤装置产生水幕覆盖入口，使得当外界空气进入时，可藉由流动式的水幕吸收空气中的废气、颗粒等，进而将外界空气的异物排除在厂区之外。
藉由本发明较佳实施例，不仅可确保厂区人员的健康与安全，更可避免外界空气的异物影响制程，使制程得以顺利进行。此外，因事先将外界空气中的异物过滤，更可延长厂区中其他过滤装置例如活性碳吸附器等的使用寿命。
虽然本发明已以一较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求
1.一种净化空气的过滤装置，用以净化进入一工厂中的外界空气，其特征在于，包括一水幕式过滤装置，该水幕式过滤装置，利用一水幕吸收外界空气中的异物，一端由一第一管路连接至一储水槽，另一端连接至一第二管路；以及一第一泵，装设在该水幕式过滤装置与该储水槽之间，用以从该储水槽中加压产生该水幕式过滤装置所需的水。
2.根据权利要求1所述的净化空气的过滤装置，其特征在于，其中该第一泵与该储水槽之间还包括一加热装置，用以加热该第一管路中的水，增加该水幕式过滤装置对空气中异物的溶解度。
3.根据权利要求1所述的净化空气的过滤装置，其特征在于，其中该第二管路连接至该储水槽与该加热装置之间的第一管路上。
4.根据权利要求1所述的净化空气的过滤装置，其特征在于，其中该装置还包括一第二泵，该第二泵装设在该第二管路连接至该第一管路之前，用以将该第二管路中的水送入该第一管路。
5.一种净化空气的方法，用以净化进入一工厂中的外界空气，其特征在于，包括利用一泵将水经由一第一管路，而从一储水槽中送至一水幕式过滤装置；以及以该水幕式过滤装置产生一流动式水幕覆盖该工厂的一外界空气入口，由该流动式水幕去除外界空气中的异物。
6.根据权利要求5所述的净化空气的方法，其特征在于，其中该水幕式过滤装置还连接至一第二管路，由该第二管路将该流动式水幕产生的水导出。
7.根据权利要求5所述的净化空气的方法，其特征在于，其中还包括在水进入该水幕式过滤装置前，利用一加热装置增加水温的步骤。
8.根据权利要求5所述的净化空气的方法，其特征在于，其中该加热装置是装设在该储水槽与该水幕式过滤装置之间。
全文摘要
一种净化空气的过滤装置及方法,用以净化进入一工厂中的外界空气,该过滤装置包括装设于工厂外界空气入口的一水幕式过滤装置,其一端藉由一第一管路连接至一储水槽,而在第一管路中装设一泵,利用泵产生的压降将储水槽中的水送入水幕式过滤装置产生水幕而覆盖工厂外界空气的入口,藉由此水幕吸收外界空气中的废气或颗粒等,而可使进入工厂的空气较为新鲜。
文档编号B01D47/06GK1380127SQ0111056
公开日2002年11月20日 申请日期2001年4月12日 优先权日2001年4月12日
发明者梁永昌 申请人:华邦电子股份有限公司