1.一种快速涂布的涂布机结构,其特征在于其包括:
晶圆载盘;以及
快速涂布模块,其设置于该晶圆载盘的上方处,该快速涂布模块包括:
涂布剂温控模块,其包括:
第一输送管,其具有第一输入口及第一输出口;及
第二输送管,包覆且互不连通的设置于该第一输送管的外围,又该第二输送管具有第二输入口及第二输出口;及
阵列涂布模块,其包括:
涂布本体,其为壳体;
进料通道,与该第一输出口相连通并形成于该涂布本体的一侧;
横向流道,其是形成于该涂布本体内并在该进料通道相连通;及
多个涂布嘴,与该横向流道相连通且形成于该涂布本体的另一侧,又所述涂布嘴用以对该晶圆载盘上的晶圆片进行涂布剂涂布作业。
2.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该第一输送管为涂布剂输送管。
3.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该第二输送管为温控介质输送管。
4.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该进料通道与所述涂布嘴间设有隔板,且该隔板具有多个穿孔。
5.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中所述涂布嘴是以一维阵列方式排列。
6.一种涂布剂的温控模块,其特征在于其包括:
第一输送管,其具有第一输入口及第一输出口,该第一输送管用以输送涂布剂;以及
第二输送管,包覆且互不连通的设置于该第一输送管的外围,且具有第二输入口及第二输出口,该第二输送管用以输送温控介质。
7.一种阵列涂布模块,其特征在于其包括:
涂布本体,其为壳体;
进料通道,形成于该涂布本体的一侧;
横向流道,其是形成于该涂布本体内并在该进料通道相连通;以及
多个涂布嘴,与该横向流道相连通且形成于该涂布本体的另一侧。
8.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其中该横向流道可进一步设有横向隔板,且该横向隔板具有多个穿孔。
9.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其具有至少一个透气孔,其是设于该横向流道的上方侧,且与该横向流道连通又贯穿该涂布本体。
10.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其中所述涂布嘴是以一维阵列方式排列。