快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块的制作方法

文档序号:24935218发布日期:2021-05-04 11:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种快速涂布的涂布机结构,其特征在于其包括:

晶圆载盘;以及

快速涂布模块,其设置于该晶圆载盘的上方处,该快速涂布模块包括:

涂布剂温控模块,其包括:

第一输送管,其具有第一输入口及第一输出口;及

第二输送管,包覆且互不连通的设置于该第一输送管的外围,又该第二输送管具有第二输入口及第二输出口;及

阵列涂布模块,其包括:

涂布本体,其为壳体;

进料通道,与该第一输出口相连通并形成于该涂布本体的一侧;

横向流道,其是形成于该涂布本体内并在该进料通道相连通;及

多个涂布嘴,与该横向流道相连通且形成于该涂布本体的另一侧,又所述涂布嘴用以对该晶圆载盘上的晶圆片进行涂布剂涂布作业。

2.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该第一输送管为涂布剂输送管。

3.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该第二输送管为温控介质输送管。

4.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中该进料通道与所述涂布嘴间设有隔板,且该隔板具有多个穿孔。

5.根据权利要求1所述的显影机结构构,其特征在于:其中所述涂布嘴是以一维阵列方式排列。

6.一种涂布剂的温控模块,其特征在于其包括:

第一输送管,其具有第一输入口及第一输出口,该第一输送管用以输送涂布剂;以及

第二输送管,包覆且互不连通的设置于该第一输送管的外围,且具有第二输入口及第二输出口,该第二输送管用以输送温控介质。

7.一种阵列涂布模块,其特征在于其包括:

涂布本体,其为壳体;

进料通道,形成于该涂布本体的一侧;

横向流道,其是形成于该涂布本体内并在该进料通道相连通;以及

多个涂布嘴,与该横向流道相连通且形成于该涂布本体的另一侧。

8.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其中该横向流道可进一步设有横向隔板,且该横向隔板具有多个穿孔。

9.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其具有至少一个透气孔,其是设于该横向流道的上方侧,且与该横向流道连通又贯穿该涂布本体。

10.根据权利要求7所述的阵列涂布模块,其特征在于:其中所述涂布嘴是以一维阵列方式排列。


技术总结
本发明提供一种快速涂布的涂布机结构及其涂布剂的温控及阵列涂布模块,其中快速涂布的涂布机结构包括:晶圆载盘;以及快速涂布模块,设置于晶圆载盘的上方处,其包括:涂布剂温控模块及阵列涂布模块。借由涂布剂温控模块的第一输送管,输送涂布剂,又借由第二输送管,包覆且互不连通的设置于第一输送管的外围,以输送温控介质;又借由阵列涂布模块,以一维阵列涂布嘴,对晶圆载盘上的晶圆片进行涂布剂涂布作业。本发明的实施,可以达成对涂布剂进行温控及使涂布剂完成快速涂布的功效。

技术研发人员:陈茂全;廖崇文;苏启郎
受保护的技术使用者:聚昌科技股份有限公司
技术研发日:2019.10.30
技术公布日:2021.05.04
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