一种可独立温控多层浸渍涂膜仪的制作方法

文档序号:8855056阅读:324来源:国知局
一种可独立温控多层浸渍涂膜仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及薄膜制备领域,具体而言,涉及一种可独立温控多层浸渍涂膜仪。
【背景技术】
[0002]目前主要有溶胶-凝胶法和层层交替沉积技术等液相法制备薄膜。通过制备的薄膜改变基底材料的性能,实现高性能材料在特定环境中的性能。把基片浸入备好的溶液中,通过精确控制的均匀速度将基片平稳的从溶液中提拉出来。在粘度和重力作用下基片上附着一层均匀的凝胶液膜称为“湿凝胶膜”。随着膜层中溶剂的挥发,膜层在基片上固化成为“干凝胶膜”。膜层厚度和均匀性由提拉速度、浸渍时间、液体浓度、液体粘度等决定。
[0003]目前已有的提拉涂膜仪由于结构的原因,存在提拉过程中存在体积偏大、不能精密控制各个溶液浸渍温度、提拉速度不均匀和机械的抖动使成膜不均匀造成成膜效果差等缺点,大部分提拉涂膜仪只能对一个基片进行涂膜,涂膜效率低。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提供一种可独立温控多层浸渍涂膜仪,用以克服现有技术中存在的至少一个问题。
[0005]为达到上述目的,本实用新型提供了一种可独立温控多层浸渍涂膜仪,包括:提拉电机模块、第一柔性连接器、滑块、滚珠丝杆、提拉支撑板、多样品架模块、载液杯、温度传感器、电加热板、旋转电机模块、第二柔性连接器、旋转台、载液杯固定平台、载液杯搭载平台和控制模块,其中:
[0006]所述提拉电机模块设置在所述提拉支撑板上,所述滑块设置在所述滚珠丝杠上,所述多样品架模块与所述滑块相连接,所述第一柔性连接器连接在所述提拉电机模块与所述滚珠丝杠之间;
[0007]所述第二柔性连接器连接在所述旋转电机模块与所述旋转台之间,所述载液杯搭载平台设置在所述旋转台上,所述载液杯固定平台设置在所述载液杯搭载平台上,所述载液杯固定平台包括载液杯固定板,载液杯固定板上设置有多个所述载液杯,所述温度传感器设置在所述载液杯的上沿,所述电加热板设置在所述载液杯的底部;
[0008]所述控制模块分别与所述提拉电机模块、所述旋转电机模块、所述温度传感器和所述电加热板相连接。
[0009]进一步地,载液杯固定板上固定设置有8个所述载液杯,8个所述载液杯呈圆周分布,相互之间间隔45°。
[0010]进一步地,上述可独立温控多层浸渍涂膜仪还包括仪器外壳,所述提拉电机模块、所述第一柔性连接器、所述滑块、所述滚珠丝杆、所述提拉支撑板、所述多样品架模块、所述载液杯、所述温度传感器、所述电加热板、所述旋转电机模块、所述第二柔性连接器、所述旋转台、所述载液杯固定平台、所述载液杯搭载平台和所述控制模块分别设置在所述仪器外壳内部。
[0011]进一步地,上述可独立温控多层浸渍涂膜仪还包显示屏,所述显示屏与所述控制模块相连接,所述显示屏嵌设在所述仪器外壳上。
[0012]进一步地,所述提拉电机模块包括相连接的提拉电机和第一编码器,旋转电机模块包括相连接的旋转电机和第二编码器。
[0013]进一步地,所述多样品架模块包括夹持器、样品架、基片和平移台,所述夹持器固定所述基片,所述夹持器固定在样品架上,所述样品架固定设置在所述平移台上,所述平移台与所述滑块相连接。
[0014]本实用新型的可独立温控多层浸渍涂膜仪,通过电加热板对每个载液杯单独加热,配合温度传感器可以精确控制每个溶液温度;通过旋转电机模块可以完成多种溶液的交替和循环沉积,通过圆盘设计降低了仪器的体积;通过多样品架模块,可以一次进行多个样品的浸渍,提高了制备薄膜的效率。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本实用新型一个实施例的可独立温控多层浸渍涂膜仪结构示意图;
[0017]图2为本实用新型一个实施例的可独立温控多层浸渍涂膜仪外部俯视图。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0019]图1为本实用新型一个实施例的可独立温控多层浸渍涂膜仪结构示意图;图2为本实用新型一个实施例的可独立温控多层浸渍涂膜仪外部俯视图。如图所示,该可独立温控多层浸渍涂膜仪包括:提拉电机模块1、第一柔性连接器2、滑块3、.滚珠丝杆4、提拉支撑板5、多样品架模块6、载液杯7、温度传感器8、电加热板9、旋转电机模块10、第二柔性连接器11、旋转台12、载液杯固定平台13、载液杯搭载平台14和控制模块(图中未示出),其中:
[0020]提拉电机模块I设置在提拉支撑板5上,滑块3设置在滚珠丝杠4上,多样品架模块6与滑块3相连接,第一柔性连接器2连接在提拉电机模块I与滚珠丝杠4之间;
[0021]第二柔性连接器11连接在旋转电机模块10与旋转台12之间,载液杯搭载平台14设置在旋转台12上,载液杯固定平台13设置在载液杯搭载平台14上,载液杯固定平台13包括载液杯固定板,载液杯固定板上固定设置有多个载液杯7,温度传感器8设置在载液杯7的上沿,电加热板9设置在载液杯7的底部;
[0022]控制模块分别与提拉电机模块1、旋转电机模块10、温度传感器8和电加热板9相连接。
[0023]由旋转电机模块、第二柔性连接器、旋转台、载液杯固定平台和搭载平台等组成的水平旋转模块,可以每次以设定的角度(如45° )旋转,来选择对应载液杯中的浸渍溶液。由提拉电机模块、第一柔性连接器、滚珠丝杆、提拉支撑板、多样品架模块等组成的垂直提拉模块,通过控制旋转电机转动带动第一柔性连接器与滚珠丝杆转动,从而使多样品架模块的平移台在垂直方向上运动。
[0024]多样品架模块主要由夹持器、样品架、基片和平移台等组成。夹持器可以根据基片尺寸上下调整高度,样品架根据基片的尺寸和形状选择与夹持器固定,样品架垂直固定设置在平移台上,保证样品架与溶液垂直。。
[0025]提拉电机模块包括相连接的提拉电机和编码器,较传统开环控制方式增加一个高精度的编码器,
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