，所述进水口 7内设有将进水口 7内进入的水导入缓冲腔11的导流管12，所述缓冲腔11上端设有将缓冲腔11内的水排入沉淀腔10的排水口 13，水流经导流管12由排水口 13进入缓冲腔11内，缓冲腔11被水流充满后水流由排水口 13溢出，并经过沉淀腔10上端的泄水口 14进入沉淀腔10内，所述沉淀腔10上端具有将沉淀腔10内的水排至过滤网6的泄水口 14，沉淀腔10内的液体充满后由泄水口 14溢出，由泄水口 14溢出的水经过滤网6过滤后进入下腔5内，所述泄水口14的水平高度低于排水口 13的水平高度，以避免沉淀腔10内的水进入缓冲腔11内；
[0018]实际使用过程中，参见图1，导流管12将水引入上腔4内以后，水流经导流管12进入缓冲腔11内，而位于缓冲腔11内的水是由排水口 13溢出的，为了使缓冲腔11内的水均匀地进入沉淀腔10内，所述缓冲腔11位于沉淀腔10的中部，所述缓冲腔11的中心线与沉淀腔10的中心线重合，缓冲腔11位于沉淀腔10的中部，排水口 13四周都可以溢水；长期使用后，缓冲腔11内可能会积聚较多的杂物，此时，需要对缓冲腔11进行清洗，为了便于缓冲腔11的清洗，所述缓冲腔11由管状的缓冲部18与沉淀部9组合形成，所述缓冲部18通过螺纹连接固定在沉淀腔10内，所述沉淀腔10内设有具有外螺纹的连接柱19，所述缓冲部18内设有与连接柱19上外螺纹配合的内螺纹；由进水口 7进入的水先经过缓冲腔11缓冲，然后再经沉淀腔10沉淀，沉淀后经过滤网6过滤，最后才由出水口 8排出，大大优化了过滤装置的过滤效果。
[0019]沉淀部9可以采用如下方案进行固定:参见图1、图2，所述上腔4的侧壁上设有固定沉淀部9的固定块15，所述固定块15通过螺纹连接固定在上腔4的侧壁上，参见图2，所述固定块15上设有对沉淀部9进行定位的定位孔16，所述沉淀部9上设有与定位孔16配合的定位柱17。装配过程中，先将固定环20装配至壳体1内，然后依次放置第二滤网22、第一滤网21，完成过滤网6的安装；过滤网6安装后再将固定块15固定在上腔4的侧壁上，最后再安装沉淀部9 ;沉淀部9装配完成后再依次安装缓部部、导向管；盖子3安装在壳体1上以后则完成过滤装置的装配。
[0020]以上仅为本实用新型的优选实施方式，旨在体现本实用新型的突出技术效果和优势，并非是对本实用新型的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本实用新型技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本实用新型所附权利要求主张的技术范畴内。
【主权项】
1.一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔(2)的壳体(1)，所述壳体(1)上设有与内腔⑵相通的口部，所述壳体⑴上固定有封闭口部的盖子(3)，所述内腔(2)内设有将内腔(2)分为上腔(4)和下腔(5)的过滤网￠)，所述壳体(1)上还设有进水口(7)和出水口(8)，所述进水口(7)与上腔(4)相通，所述出水口⑶与下腔(5)相通，其特征在于:所述上腔(4)内设有沉淀部(9)，所述沉淀部(9)上开设有沉淀腔(10)，所述沉淀腔(10)内设有缓冲腔(11)，所述进水口(7)内设有将进水口(7)内进入的水导入缓冲腔(11)的导流管(12)，所述缓冲腔(11)上端设有将缓冲腔(11)内的水排入沉淀腔(10)的排水口(13)，所述沉淀腔(10)上端具有将沉淀腔(10)内的水排至过滤网(6)的泄水口(14)，所述泄水口(14)的水平高度低于排水口(13)的水平高度，所述上腔(4)的侧壁上设有固定沉淀部(9)的固定块(15)，所述固定块(15)通过螺纹连接固定在上腔(4)的侧壁上，所述固定块(15)上设有对沉淀部(9)进行定位的定位孔(16)，所述沉淀部(9)上设有与定位孔(16)配合的定位柱(17)。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于:所述缓冲腔(11)的中心线与沉淀腔(10)的中心线重合。3.根据权利要求1或2所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于:所述缓冲腔(11)由管状的缓冲部(18)与沉淀部(9)组合形成，所述缓冲部(18)通过螺纹连接固定在沉淀腔(10)内，所述沉淀腔(10)内设有具有外螺纹的连接柱(19)，所述缓冲部(18)内设有与连接柱(19)上外螺纹配合的内螺纹。4.根据权利要求3所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于:所述壳体(1)的侧壁上固定有固定过滤网出)的固定环(20)，所述固定环(20)通过锁紧螺钉固定在壳体(1)的侧壁上，所述过滤网(6)包括放置于固定环(20)上的第一滤网(21)和放置于固定环(20)内的第二滤网(22)，所述固定环(20)内设有放置第二滤网(22)的台阶(23)。5.根据权利要求1或2或4所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于:所述盖子(3)通过螺栓固定在壳体(1)上，所述盖子(3)与壳体(1)之间设有密封垫片(24)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置，解决了现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统过滤效果差的不足。本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质。
【IPC分类】B01D36/04
【公开号】CN205007736
【申请号】CN201520772181
【发明人】陈小力, 刘佳
【申请人】浙江辉弘光电能源有限公司
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年9月30日