技术特征：
技术总结
本发明提供在流体填充过程期间减少静摩擦的装置及方法。装置(400)可包含两个衬底(404,422)，其中在所述衬底中的至少一者上有可移动MEMS组件。所述装置可包含在所述两个衬底之间并环绕或至少部分环绕所述可移动MEMS组件的流体(430)，其中所述流体可充当用于所述可移动MEMS组件的润滑剂。所述流体可为掺杂有表面能改性剂的液体溶液，其中所述表面能改性剂包含非极性官能团R。在一些实施中，所述非极性官能团R可选自由以下组成的群组：烷基、芳基及环烷基。
技术研发人员：马季;魏贤赫;尤金·菲克三世;泰勒·杜恩
受保护的技术使用者：追踪有限公司
技术研发日：2016.06.02
技术公布日：2018.02.16