专利名称：电解用电极的制作方法
技术领域：
本发明涉及电解用电极，更详细而言，涉及在通过电镀法制造电解铜箔等的金属箔中使用的电解用电极。
背景技术：
在通过电镀制造金属箔中，近年来，电解装置倾向于大电流化和大型化，用作不溶性阳极的电解用电极，目前已知可以省空间化的曲面状电极。例如，在专利文献1中，公开了通过螺栓将阳极板安装并弯曲在壳体上，从而形成圆弧状的结构，在自由旋转的圆筒型阴极周围隔开间隔设置该圆弧状的阳极板，通过其间存在电解液，能够在阴极表面析出金属箔。此外，通过在阳极板与壳体之间夹置接触环，并改变该接触环的厚度，能够调整阳极板与阴极的间隔。由此，能够使阳极板与阴极的间隔在整体上保持一定，并使电流密度均勻，就可以实现析出的金属薄膜的厚度均勻化。然而，在专利文献1的结构中，在壳体上安装阳极板是从相对于壳体与阳极板的相反侧插入螺栓而进行的，因此为了改变接触环的厚度，就需要在壳体的外侧进行螺栓的安装拆卸操作，并且需要在壳体的内侧进行阳极板的安装拆卸操作，故而存在操作复杂这样的问题。因此，在专利文献2中，如图4所示，公开了在形成圆弧状的第1电极基体51的内面侧(与未图示的阴极相对的一侧)中，经过中间材料52、53设置圆弧状的第2电极基体 M，从第1电极基体51的内面侧通过螺栓55固定第2电极基体M的结构。如图5所示， 多个第2电极基体M设置在第1电极基体51的内圆周面上，能够从母线56，经过第1电极基体51向全部第2电极基体M整体通电。根据专利文献2的结构，在进行中间材料52、53 厚度调整的情况下，可以进行仅在第1电极基体51的内面侧安装替换中间材料52、53的操作，以期实现操作性的提高。然而，对于各个第1电极基体51分别进行与阴极的间隔调整，在操作方面仍旧存在问题，在该方面还存在着改进的余地。现有技术文献专利文献1 日本特公平6-47758号公报专利文献2 日本特开平8-209396号公报
发明内容
发明所要解决的课题因此，本发明的目的是提供一种能够容易实现电解电流密度均勻化的电解用电极。用于解决课题的方法本发明的上述目的可以通过如下的电解用电极实现，该电解用电极是一种相对于可旋转的阴极隔开间隔设置的用作阳极的电解用电极，其具有截面圆弧状的基体、和在该基体的内面侧设置的多个电极板，形成能够分别向上述各电极板供电的结构。在该电解用电极中，优选在上述基体和上述电极板之间夹置有绝缘性的弹性体。此外，通过将向外方突出的凸起插入上述基体的贯通孔，在供电板之间通过绝缘性的弹性体夹持上述基体，从上述供电板的外侧将螺栓在上述凸起的头部拧合，从而形成在上述基体上固定上述电极板的结构。发明的效果根据本发明，能够提供一种电解电流密度容易均勻化的电解用电极。
图1是本发明的一个实施方式的电解用电极的剖面图。图2是放大表示图1所示电解用电极的要部的剖面图。图3是进一步放大表示图1所示电解用电极的要部的剖面图。图4是现有电解用电极的要部剖面图。图5是表示图4中所示电解用电极的整体结构的立体图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明的一个实施方式的电解用电极的剖面图，表示用于电解槽的阳极的情况。如图1所示，电解用电极1形成截面圆弧状，在本实施方式中，2个电解用电极1、1 设置成半圆状，兼作为电解槽2的槽壁。在电解用电极1、1的内面侧上，隔开间隔设置能够旋转的鼓状阴极4，使沿圆周方向空隙间基本稳定。在电解槽2中，可以通过在相邻的2个电解用电极1、1之间设置的给液部2a，供应电解液L，供应的电解液L如箭头所示，从电解用电极1、1和阴极4之间通过，从在电解槽2的左右两侧设置的排出沟2b、2b向外部排出。图2是放大表示图1所示电解用电极的要部的剖面图。图3是将其进一步放大表示的剖面图。如图2和图3所示，电解用电极1在截面圆弧状的基材10的内面侧(面向图 1的阴极4的一侧)，设置多个同样的截面圆弧状的电极板12而构成。在电极板12是通过将向外方突出的凸起1 插入基体10的贯通孔10a，在供电板12和供电板16之间夹持基体10，从供电板16的外面侧(与图1的阴极4相反的一侧)将螺栓18在上述凸起12a的头部拧合，从而将电极板12固定在基体10上。基体10例如可以由钛板构成，电极板12例如可以设为用氧化铟等涂布钛板的内面侧的不溶性电极。在电极板12和基体10之间以及在基体10和供电板16之间存在形成环状的橡胶材料等具有绝缘性的弹性体20、22。整列配置各电极板12，使基体10的全部内面侧均被覆盖，分别在其之间确保有绝缘用的空隙S。在各电极板12中通过与供电板16相连的由单芯电线构成的配线16a，沿箭头方向供应电流，形成能够分别进行供电的结构。根据具有上述结构的电解用电极1，在各电极板12与阴极4的电极间的距离产生不一致，电流密度可能变得不均勻的情况下，无需如目前那样调整电极间的距离，可以分别调整向各电极板12供电的电流值。具体而言，在测定的电极间距离较小时，可以提高供电电流值，另一方面，在电极间距离较大时，可以减小供电电流值，从而能够使阴极的电流密
4度分布均勻化，仅通过调整供电电流值，从而能够容易地使析出金属的厚度均勻化。如上所述，电极间距离与供电电流值成反比例的关系，因此通过预先使与电极间距离对应的供电电流值图表化或公式化，从而能够更容易地决定每块电极板12的供电电流值。此外，在基体10与电极板12之间夹置有绝缘性弹性体20的状态下，电极板12固定在基体10上，因此能够可靠防止在电解槽2中贮存的电解液L的泄漏，同时能够确保基体10与电极板12之间的电绝缘。此外，由于在基体10与供电板16之间也夹置有弹性体22，从而可以通过供电板 16向电极板12稳定地供电，通过调整供电电流值，就能够准确地控制电流密度。符号说明
1电解用电极
10基体
IOa贯通孔
12电极板
12a凸起
16供电板
18螺栓
20、22弹性体
权利要求
1.一种电解用电极，其特征在于其是相对于可旋转的阴极隔开间隔设置的用作阳极的电解用电极，具有截面圆弧状的基体和在该基体的内面侧设置的多个电极板，形成可以分别向所述各电极板供电的结构。
2.如权利要求1所述的电解用电极，其特征在于 在所述基体和所述电极板之间夹置有绝缘性的弹性体。
3.如权利要求2所述的电解用电极，其特征在于通过将向外方突出的凸起插入所述基体的贯通孔，在供电板之间通过绝缘性的弹性体夹持所述基体，从所述供电板的外侧将螺栓在所述凸起的头部拧合，从而在所述基体上固定所述电极板。
全文摘要
本发明提供了一种相对于可旋转的阴极隔开间隔设置的用作阳极的电解用电极，其具有截面圆弧状的基体10和在基体10的内面侧设置的多个电极板12，形成可以分别向各电极板12供电的结构。根据本发明，能够提供一种能容易地使电解电流密度均匀化的电解用电极。
文档编号C25D1/04GK102239281SQ20098014910
公开日2011年11月9日 申请日期2009年12月3日 优先权日2008年12月8日
发明者高安辉树 申请人:株式会社昭和