专利名称：电解蚀刻用的组合电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电解蚀刻设备，特别是有关电解蚀刻设备的电极装置。
背景技术：
目前，在现有的电解蚀刻设备中，喷电解蚀刻液的喷管一般安装在电极旁边，而且当被电解蚀刻板从电极上表面上方通过时，被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙无法保持恒定，使得电解蚀刻液在板表面分布厚度不均，影响导电效果，加工后的被电解蚀刻板上图案蚀刻深度不均匀，产品质量不高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙恒定、导电效果好的电解蚀刻用的组合电极。为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是，一种电解蚀刻用的组合电极，包括电极本体，所述电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，所述电极本体的顶部装有带出液槽的支撑板，电极本体上的出液通道与支撑板的出液槽相通。所述电极本体内有本体进液通道，本体进液通道与出液通道连通，电极本体侧面开有通往本体进液通道的进液口。所述电极本体内有本体进液通道，本体进液通道与出液通道连通，所述电极本体的底部连接有通往本体进液通道的进液管。所述电极本体下部装有电极架，电极架内具有电极架进液通道，电极架进液通道与电极本体的出液通道连通。采用上述技术方案后，由于电极本体的顶部装有带出液槽的支撑板，电极本体上的出液通道与支撑板的出液槽相通，因此在使用时，支撑板与被电解蚀刻板(工件)的下表面接触，以使电极本体上表面与被电解蚀刻板的下表面之间保持恒定的距离；还由于电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，因此出液通道喷出的电解蚀刻液能够到达被电解蚀刻板的下表面，使电解蚀刻液分布在上述恒定的距离中，电极与被电解蚀刻板通过电解蚀刻液而导电，导电效果好，蚀刻深度均匀，产品质量高；同时，本实用新型还具有整体结构紧凑、便于组装的特点。
图I是本实用新型的电解蚀刻用的组合电极第一个实施例的结构正视示意图；图2是图I的俯视图；图3是图I的左视图；图4是图I沿A— A线的剖视图；图5是图2沿B — B线的剖视图；[0014]图6是本实用新型第二个实施例的结构正视示意图；图7是图6沿C — C线的剖视图；图8是本实用新型第三个实施例的结构正视示意图；图9是图8的左视图；图10是图8沿D — D线的剖视图；图11是图9沿E — E线的剖视图； 图12是本实用新型第四个实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图给出的实施例对本实用新型作进一步详细地说明。如图I飞所示，本实用新型的第一个实施例，一种电解蚀刻用的组合电极，包括电极本体1，所述电极本体I上具有若干个出液通道1-2，出液通道1-2的出口设在电极本体I的上表面,所述电极本体I的顶部装有带出液槽7-1的支撑板7，电极本体I上的出液通道1-2与支撑板7的出液槽7-1相通。如图3、4、5所示,所述电极本体I内有本体进液通道1-1，本体进液通道1_1与出液通道1-2连通，电极本体I侧面开有通往本体进液通道1-1的进液口 1-1-1。如图6、7所示，在本实用新型的第二个实施例中，电极本体I内有本体进液通道1-1，本体进液通道1-1与出液通道1-2连通，所述电极本体I的底部连接有通往本体进液通道1-1的进液管5。其余结构与上述第一个实施例相同。如图8 11所示，本实用新型的第三个实施例，一种电解蚀刻用的组合电极，包括电极本体1，所述电极本体I上具有若干个出液通道1-2，出液通道1-2的出口设在电极本体I的上表面,所述电极本体I的顶部装有带出液槽7-1的支撑板7，电极本体I上的出液通道1-2与支撑板7的出液槽7-1相通。如图8 11所示，所述电极本体I下部装有电极架4，电极架4内具有电极架进液通道4-1,电极架进液通道4-1与电极本体I的出液通道1-2连通。如图9、11所示，所述电极架4侧面开有通往电极架进液通道4-1的电极架进液口4-1-1。如图12所示，在本实用新型的第四个实施例中，电极架4的底部连接有通往电极架进液通道4-1的进液管5。其余结构与上述第三个实施例相同。
权利要求1.一种电解蚀刻用的组合电极，包括电极本体(1)，其特征在于 a、所述电极本体(I)上具有若干个出液通道(1-2)，出液通道(1-2 )的出口设在电极本体(I)的上表面， b、所述电极本体(I)的顶部装有带出液槽(7-1)的支撑板(7)，电极本体(I)上的出液通道(1-2)与支撑板(7)的出液槽(7-1)相通。
2.根据权利要求I所述的电解蚀刻用的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)内有本体进液通道(1-1 )，本体进液通道(1-1)与出液通道(1-2)连通，电极本体(I)侧面开有通往本体进液通道(1-1)的进液口(1-1-1)。
3.根据权利要求I所述的电解蚀刻用的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)内有本体进液通道(1-1)，本体进液通道(1-1)与出液通道(1-2)连通，所述电极本体(I)的底部连接有通往本体进液通道(1-1)的进液管(5)。
4.根据权利要求I所述的电解蚀刻用的组合电极，其特征在于所述电极本体(I)下部装有电极架(4),电极架(4)内具有电极架进液通道(4-1),电极架进液通道(4-1)与电极本体(I)的出液通道(1-2)连通。
专利摘要本实用新型公开了一种电解蚀刻用的组合电极，包括电极本体，所述电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，所述电极本体的顶部装有带出液槽的支撑板，电极本体上的出液通道与支撑板的出液槽相通。本实用新型能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙恒定、导电效果好。
文档编号C25F7/00GK202595322SQ201220189760
公开日2012年12月12日 申请日期2012年4月29日 优先权日2012年4月29日
发明者周丁政 申请人:常州正成机电科技有限公司