一种金属微型管材定向电铸法的制作方法

文档序号:12057086阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:包括制备步骤:

步骤1):在基片上通过一次掩模光刻制备第一光刻胶层;

步骤2):在第一光刻胶层间隔部分电铸制备第一微型管材图形;

步骤3):在第一光刻胶层上进行二次掩模光刻制备第二光刻胶层;

步骤4):在第二光刻胶层间隔部分继续电铸制备第二微型管材图形;

步骤5):在第二微型管材图形上进行定向电铸装置制备加长微型管材。

2.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:所述第一光刻胶层厚度与第二光刻胶层厚度之和大于500μm,所述第二光刻胶层厚度不大于第一光刻胶层的厚度;所述第一光刻胶层厚度与第一微型管材图形的高度相同,所述第二光刻胶层厚度与第二微型管材图形的高度相同。

3.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:步骤1)中所述的第一光刻胶层,通过如下步骤制得:

步骤1):匀胶,通过匀胶机将负性光刻胶甩涂到基片上;

步骤2):曝光,负性光刻胶甩涂完毕后,利用热板对负性光刻胶进行前烘热处理,并在热板上缓慢冷却,最后将遮盖有掩膜版的负性光刻胶基片进行紫外线曝光;

步骤3):显影,对紫外线曝光后的负性光刻胶在热板上进行后烘热处理,然后通过超声显影制得光刻胶微结构,并在热板上进行固化得到第一光刻胶层;

所述的第二光刻胶层,通过如下步骤制得:

步骤1):匀胶,通过匀胶机将负性光刻胶甩涂到第一光刻胶层上;

步骤2):曝光,负性光刻胶甩涂完毕后,利用热板对负性光刻胶进行前烘热处理,并在热板上缓慢冷却,最后将遮盖有掩膜版的负性光刻胶基片再次进行紫外线曝光;

步骤3):显影,对紫外线曝光后的负性光刻胶在热板上进行后烘热处理,然后通过超声显影制得光刻胶微结构,并在热板上进行固化得到第二光刻胶层。

4.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:步骤5)中所述的定向电铸装置,包括渡槽和电源,所述渡槽内设有金属镀液,所述镀液内设有阳极,所述镀液上方设有阴极,所述阴极上方设有步进电机,所述电源负极通过导线与阴极相连接,所述电源正极通过导线与阳极相连接。

5.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:所述第一微型管材图形和第二微型管材图形,其截面为三角形、四边形、圆形、异形中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:步骤5)中所述加长微型管材,管材壁厚为5μm~1000μm,长度为3mm~10mm,管材材料选自铜、镍、钛、铁中的任意一种。

7.根据权利要求1所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:步骤1)中所述基片,其材质选自304不锈钢、45号钢、铝中的任意一种。

8.根据权利要求3所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:所述负性光刻胶选自Su 875、AZ 10XT、AZ PLP60、AZ P4903系列光刻胶中的任意一种。

9.根据权利要求3所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:

在一次掩模光刻制备光刻胶层的步骤中,步骤1)所述匀胶机的甩胶转速为700~1000rpm、甩胶时间为30s;步骤2)中所述的前烘热处理的条件为95~110℃、90s~200min;步骤3)中所述的后烘热处理的条件为90~120℃、60s~40min;

在二次掩模光刻制备光刻胶层的步骤中,步骤1)所述匀胶机的甩胶转速为1000~1100rpm、甩胶时间为30s;步骤2)中所述的前烘热处理的条件为95~110℃、90s~90min;步骤3)中所述的后烘热处理的条件为90~120℃、60s~30min。

10.根据权利要求4所述的一种金属微型管材定向电铸法,其特征在于:所述步进电机,其提拉速度为0.4μm/min~1.7μm/min;提拉时间为2014min~6823min。

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