一种金属微型管材定向电铸法的制作方法

文档序号:12057086阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于微型金属管材技术领域,具体公开了一种金属微型管材定向电铸法。包括制备步骤:1)在基片上通过一次掩模光刻制备第一光刻胶层;2)在第一光刻胶层间隔部分电铸制备第一微型管材图形;3)在第一光刻胶层上进行二次掩模光刻制备第二光刻胶层;4)在第二光刻胶层间隔部分继续电铸制备第二微型管材图形;5)在第二微型管材图形上进行定向电铸装置制备加长微型管材。本发明可以在基片上直接电铸成型出无缝薄壁微细管,管材横截面和管壁尺寸更加细小,管材综合力学性能良好,强度高,塑性好。同时,本发明通过可控的电铸时间制得所需长度的微型管材,避免了光刻胶厚度的限制。

技术研发人员:张新平;高国定;吕久明;何涛;肖美立
受保护的技术使用者:南京理工大学常熟研究院有限公司
文档号码:201611197968
技术研发日:2016.12.22
技术公布日:2017.05.24

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