阀41的开阀动作而过度上升并导致主圆盘阀41的开阀变得不稳定，通过使挠性圆盘48挠曲，可以扩大背压室49的体积。另外，可以使处于挠性圆盘48和先导阀体37之间的工作流体经由通路51流到阀室54。挠性圆盘48通过层叠两张圆盘48A、48B而构成(参照图4)。挠性圆盘48在与导销36抵接的圆盘48A的内周缘部形成有沿直径方向延伸的细长切口 52。利用切口 52和通路47A，将背压室49和通路50连通。通路47A如上所述，形成在导销36的倒角部47和先导阀体37的通路50之间。
[0033]在先导阀体37的另一端侧形成有圆筒部37C。在圆筒部37C内形成有作为开口部的阀室54。在先导阀体37的底部37A且在通路50的开口周缘部形成有突出的环状阀座部55。在阀室54内设置有构成先导阀28的阀体即先导阀部件56，该先导阀部件56落座于阀座部55或从其离开，从而对通路50进行开闭。先导阀部件56形成为大致圆筒状，落座于阀座部55或从其离开的前端部形成为尖细的锥状，在基端侧外周部形成有大径的凸缘状弹簧承接部57。在先导阀部件56的前端侧的内周部形成有小径的杆承接部58。先导阀部件56后部的开口内周缘部形成有锥部56A而扩展。另外，弹簧承接部57在与防故障圆盘61抵接的状态下成为相对于室54的压力的受压面。
[0034]因此，弹簧承接部57为了减轻抵抗室54的压力而移动时的力，优选在确保与控制弹簧59和防故障圆盘61抵接所需的直径的同时尽可能减小直径。
[0035]先导阀部件56利用作为施力部件的控制弹簧59、防故障弹簧60、防故障圆盘61，与阀座部55相对且能够沿轴向移动地被弹性保持。先导阀体37另一端侧的圆筒部37C以内径朝向开口侧逐级增大的方式在内周部形成有两个台阶部62、63。控制弹簧59的径向外侧端部被台阶部62支承。在台阶部63上重叠有防故障弹簧60、环状的护圈64、防故障圆盘阀61、护圈65、衬垫66及保持板67。这些重叠的部件利用与圆筒部37C的端部嵌合的盖68被固定在台阶部63。
[0036]如图3所示，防故障弹簧60—体地形成有:与台阶部63抵接的大径部60A、与大径部60A同心配置且被插入先导阀部件56并且与弹簧承接部57抵接的小径部60B、将所述大径部60A和小径部60B结合的一对大致半圆弧状的弹簧部60C。一对弹簧部60C沿直径方向偏移配置，各自的一端部的外侧与大径部60A的内周部结合，另一端部的内侧与小径部60B的外周部结合，对大径部60A和小径部60B的轴向移动施加弹力。
[0037]控制弹簧59自环状抵接部59A的外周部呈放射状地设置有多个(在图示例中为五个)弹簧部59B，该弹簧部59B在圆周方向上等间隔地延伸。控制弹簧59配置成，抵接部59A被插入先导阀部件56并与该先导阀部件56的弹簧承接部57抵接，弹簧部59B的前端部与台阶部62抵接。在保持板67上，在中央部设置有用于使阀室54侧和外壳25内的室25B侧连通的大致十字形的通路67A。保持板67与先导阀部件56抵接来限制该先导阀部件56的后退位置。
[0038]防故障圆盘61构成为使圆盘61A及带切口的圆盘61B重合。带切口的圆盘61B在内周缘部形成有沿直径方向延伸的细长切口 6IC，切口 6IC的径向外侧端部为了缓和应力集中而形成为圆孔。在先导阀部件56的弹簧承接部57与防故障圆盘61抵接时，带切口的圆盘61B的切口 61C形成作为阻尼孔起作用的通路。
[0039]盖68在圆筒状的侧壁69沿圆周方向交替地形成有小径部69A和大径部69B。另外，在端部的内侧凸缘部70形成有自该内周缘部呈放射状地延伸至大径部69A的周缘部的切口70A。
[0040]盖68的小径部69A与先导阀体37另一端侧的圆筒部37C的外周嵌合，大径部69B与后述的螺线管外壳71的圆筒部内周嵌合。在该嵌合状态下，切口 70A形成将阀室54和外壳25内的室25B连通的通路。
[0041 ]护圈64夹持防故障弹簧60的外周部60A，护圈65构成防故障圆盘61的烧曲支点，衬垫66确保防故障圆盘61的挠曲量。
[0042]螺线管块31在螺线管外壳71内装入线圈72、插入在线圈72内的铁芯73、74、被铁芯73、74引导的柱塞75、与柱塞75连结的中空动作杆76而构成一体。上述部件利用通过卡合(力、)安装在螺线管外壳71后端部的环状衬垫77及杯状罩78被固定。利用线圈72、铁芯73、74、柱塞75及动作杆76构成螺线管致动器。而且，通过经由导线79向线圈72通电，根据电流在柱塞75产生轴向推力。动作杆76的前端部在外周缘部形成有锥部76A而构成尖细形状。在中空的动作杆76内形成有连通路76B。利用该连通路76B，将通路50、阀室54与动作杆76背部的室连通。另外，在柱塞75上设置有多个用于使形成在该柱塞75两端侧的室相互连通的连通路75A，利用上述连通路76B、75A，使作用于动作杆76及柱塞75的流体力平衡，并且，相对于它们的移动，施加适当的衰减力。
[0043]螺线管外壳71在一端侧具有嵌合在外壳25内的圆筒部71A。在圆筒部71内嵌合有安装在先导阀体37上的盖68的大径部69B。圆筒部71A和外壳25之间利用O型环80密封。
[0044]在圆筒部71A的内部突出的动作杆76的前端部插入到在阀块30内组装的先导阀部件56并与杆承接部58抵接。安装在先导阀体37上的盖68的大径部69B嵌合在圆筒部71A内。这样，通过将动作杆76的前端部插入先导阀部件56，将盖68的大径部69B嵌合在圆筒部71A内，螺线管外壳71与阀块30连结在一起。而且，螺线管外壳71将安装在其外周槽的止动圈81利用螺母34保持，从而将该螺线管外壳71固定于外壳25。
[0045]在阀块30和螺线管块31结合且动作杆76被插入先导阀部件56的状态下不向线圈72通电时，如图2中的上半部分(从正面看附图标记时，位于动作杆76的中心线的上侧，以下相同)所示，利用防故障弹簧60的弹力，先导阀部件56与动作杆76—起后退，弹簧承接部57与防故障圆盘61抵接。此时，控制弹簧59的弹簧部59B自台阶部62离开，不产生弹力。通过向线圈72通电，如图2中的下半部分(从正面看附图标记时，位于动作杆76的中心线的下侧，以下相同)所示，利用动作杆76使先导阀部件56朝向阀座部55前进，从而使控制弹簧59的弹簧部59B与台阶部62抵接，抵抗防故障弹簧60及控制弹簧59的弹力使先导阀部件56落座于阀座部55，利用通电电流控制开阀压力。
[0046]接着，参照图3说明阀块30的组装。
[0047]将控制弹簧59插入先导阀体37的圆筒部37C，使弹簧部59B的前端部与台阶部62相对。接着，插入防故障弹簧60，使外周部与台阶部63抵接。将先导阀部件56插入防故障弹簧60的小径部60B，使弹簧承接部57与小径部60B抵接。接着，依次重叠护圈64、带切口的圆盘61B、圆盘61A、护圈65、衬垫66及保持板67，进而将盖68压入并嵌合于圆筒部37C，从而将上述部件固定于先导阀体37。
[0048]此时，控制弹簧59、防故障弹簧60、护圈64、带切口的圆盘6IB、圆盘61、护圈65、衬垫66及保持板67各自的外周部以具有规定的尺寸公差的方式被先导阀体37的圆筒部37C的内周部引导并沿轴向被夹持而被固定，因此，在允许一定程度的偏心的同时能够按照所需的精度进行组装。另外，在控制弹簧59及防故障弹簧60的内径和插入上述控制弹簧59及防故障弹簧60的先导阀部件56的外径之间，适当地设置必要间隙，以便允许各部件的一定程度的偏心，并且，在控制弹簧59及防故障弹簧60的外径和上述控制弹簧59及防故障弹簧60所插入的先导阀体37的圆筒部37C的内径之间适当地设置必要间隙，以便允许各部件的一定程度的偏心。
[0049]在本实施方式中，作为一例，使防故障弹簧60的内径比控制弹簧59的内径大。另夕卜，在控制弹簧59的外径和先导阀体37的圆筒部的内径之间设置有间隙。由此，在先导阀部件56偏心时，未被夹持的控制弹簧59沿径向移动，从而可以与先导阀部件56—起偏心。并且，由于防故障弹簧60的内径大，因此，先导阀部件56不会由被夹持的防故障弹簧60阻止，可以沿径向移动。
[0050]如上所述，在结束先导阀体37的圆筒部37C侧的组装之后，在先导阀体37中的与圆筒部37C相反的一侧的圆筒部37B中插入圆盘48B、48A，使圆盘48B、48A与底部37A抵接(参照图4)。接着，将导销36压入先导阀体37的通路50，将圆盘48B、48A夹在底部37A。接下来，将导销36插入垫圈43、护圈42、主圆盘阀41的圆盘41A、41B、带狭缝的圆盘41C，将具有弹性的滑动密封部件45与圆筒部37B嵌合。此后，将主体35压入导销36，将垫圈43、护圈42、主圆盘阀41的圆盘41A、41B、带狭缝的圆盘41C夹在主体35和导销36的大径部36A之间。
[0051 ]此时，圆盘48A、48B利用先导阀体37的圆筒部37B，其外周侧被引导。另一方面，垫圈43、护圈42、圆盘41B及带狭缝的圆盘41C利用导销36，其内周侧被引导。另外，弹性密封部件45的外周部在先导阀体37的圆筒部37B滑动，从而引导圆盘41A。上述部件沿轴向被夹持而被固定，因此，在允许各部件存在一定程度的偏心的同时可以按照所需的精度进行组装。
[0052]将如上所述组装而得到的阀块30和螺线管块31结合。即，将动作杆76的前端部插入先导阀部件56，将安装在先导阀体37上的盖68与螺线管外壳71的圆筒部71