捕集器更换机构及颗粒组成分析装置的制作方法

文档序号:12592280阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种捕集器更换机构,其特征在于,具有:杆,其保持用来捕捉颗粒的捕集器;以及

连接部,其具有与设置所述捕集器的减压空间连接的辅助空间的至少一部分,

通过使所述杆移动,能够在保持所述减压空间的减压状态的状况下,使所述捕集器从所述减压空间退避至所述辅助空间侧,而在大气压中开放。

2.根据权利要求1所述的捕集器更换机构,其特征在于,所述连接部含有伸缩机构,

所述伸缩机构的内部空间也作为所述辅助空间发挥功能。

3.根据权利要求1或2所述的捕集器更换机构,其特征在于,所述连接部包含联轴器部,其用来连接到形成所述减压空间的减压室,在所述联轴器部的内侧形成有所述辅助空间的至少一部分。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的捕集器更换机构,其特征在于,所述杆能够调整所述捕集器在所述减压空间中的设置位置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的捕集器更换机构,其特征在于,所述杆能够在所述减压空间内保持所述捕集器以及从所述捕集器脱离。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的捕集器更换机构,其特征在于,具有用来使所述辅助空间减压的辅助泵。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的捕集器更换机构,其特征在于,具有闸阀,其将所述减压空间与所述辅助空间在连接状态及隔绝状态间进行切换,

所述闸阀在所述捕集器退避至所述辅助空间后,从所述连接状态切换至所述隔绝状态。

8.一种颗粒组成分析装置,其特征在于,具有:权利要求1至7中任一项所述的捕集器更换机构;

所述捕集器;

排气装置,其用来使所述减压空间减压;

导入部,其取入含有所述颗粒的气体样品并使其聚集后,向所述捕集器喷出;

激光装置,其对所述捕集器照射激光;以及

气体分析仪,其对通过所述激光的照射生成的样品气体进行分析。

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