由具备键盘1102的主体部1104和具有显示部1000的显示单元1106构成，并且显示单元1106以经由铰链结构部而能够相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这样的个人计算机1100中内置有具备对加速度进行检测的功能的电子装置100。
[0196]图13为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的电子装置100的电子设备的一个示例的移动电话机1200 (也包括PHS:Personal Handy — phone System，个人手持式电话系统)的结构概要的立体图。如图13所示，移动电话机1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1000。在这样的移动电话机1200中内置有作为加速度传感器等而发挥功能的电子装置100。
[0197]图14为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的电子装置100的电子设备的一个示例的数码照相机1300的结构概要的立体图。并且，在图14中还简单地图示了与外部设备之间的连接。在此，现有的胶片照相机通过被摄物体的光学图像而使银盐胶片感光，与此相对，数码照相机1300通过CO) (Charge Coupled Device:电荷親合装置)等摄像元件对被摄物体的光学图像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。
[0198]在数码照相机1300的壳体(机身)1302的背面上设置有显示部1000，并且成为根据通过CCD生成的摄像信号而进行显示的结构，显示部1000作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。另外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)与CCD等在内的受光单元1304。
[0199]当摄影者对被显示在显示部1000上的被摄物体图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点的CCD的摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。另外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有视频信号输出端子1312、数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，在视频信号输出端子1312上连接影像监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作而使存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。在这样的数码照相机1300中，作为加速度传感器等而内置有电子装置100。
[0200]并且，本发明的一个实施方式所涉及的电子装置100除了能够应用于图12的个人计算机1100(便携式个人计算机)、图13的移动电话机1200、图14的数码照相机1300之外，例如，还能够应用于如下的电子设备中，即，喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、电子计算器、电子游戏机设备、头戴式显示器、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、P0S(point of sale)终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等电子设备。
[0201]移动体
[0202]接下来，利用图15对具备本发明的实施方式所涉及的电子装置的移动体进行说明。并且，在本说明中，示出了利用电子装置100的示例。
[0203]图15为概要图示了作为具备本发明的一个实施方式所涉及的电子装置100的移动体的一个示例的汽车的立体图。
[0204]在汽车1500中搭载有上述实施方式所涉及的电子装置100。如图15所示，在作为移动体的汽车1500中，电子控制单元1510被搭载于车身上，该电子控制单元1510内置有电子装置100并对轮胎等进行控制。另外，除此以外，电子装置100还被广泛地应用于无钥匙进入系统、发动机防盗锁止系统、导航系统、车辆空调、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、轮胎压力监测系统(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、发动机控制、混合动力汽车或电动汽车的电池监视器、车身姿态控制系统等的电子控制单元(ECU ElectronicControl Unit)中。
[0205]符号说明
[0206]10…第二基体；11、51、251、351 …第一主面;14…凹部;15、16、17…槽部；20、22、24…布线;30、32、34…外部连接端子;40、42、44…连接部;50、250、350…第一基体；52、252、352…第二面；53、59…凹部；55…接合区域；56…收纳空间部；57…第二贯通孔；58、258、358…第一贯通孔;60…填充部件;70…密封部件;71、271、371…第一倾斜部;72、272…第二倾斜部；76、276、376…金属膜;80…功能元件;81、82…固定部；84、84a、84b、85、85a、85b…连结部;86…可动部;87…可动电极;88、89…固定电极;100、200、300…电子装置;101、201."封装件;110…蚀刻保护膜;120…蚀刻保护膜;150…硅基板;270…开口掩膜；354…空孔；390…裂纹;1100…个人计算机;1200…移动电话机;1300…数码照相机；1500…汽车。
【主权项】
1.一种封装件，其特征在于，具备: 收纳空间部； 第一基体，其形成所述收纳空间部的至少一部分， 在所述第一基体上设置有第一贯通孔，所述第一贯通孔从与所述收纳空间部相反的一侧的第一主面朝向所述收纳空间部侧的第二面， 所述第一贯通孔具有在所述第一贯通孔的剖视观察时，从所述第二面朝向所述第一主面倾斜的第一倾斜部和从所述第一倾斜部的所述第一主面侧的一端朝向所述第一主面倾斜的第二倾斜部， 由所述第二倾斜部和所述第二面形成的第二角大于由所述第一倾斜部和所述第二面形成的第一角， 所述第一贯通孔被密封部件密封。2.如权利要求1所述的封装件，其特征在于， 所述第二角超过90度。3.如权利要求1所述的封装件，其特征在于， 在所述第一贯通孔上设置有金属膜， 所述第二倾斜部的至少一部分露出了所述第一基体。4.如权利要求1所述的封装件，其特征在于， 所述第一基体以硅为主要材料， 所述第一主面沿着所述硅的(100)面的结晶面。5.一种电子装置，其特征在于， 具备: 收纳空间部； 第一基体，其形成所述收纳空间部的至少一部分； 功能元件，其被收纳于所述收纳空间部内， 在所述第一基体上设置有第一贯通孔，所述第一贯通孔从与所述收纳空间部相反的一侧的第一主面朝向所述收纳空间部侧的第二面， 所述第一贯通孔具有在所述第一贯通孔的剖视观察时，从所述第二面朝向所述第一主面倾斜的第一倾斜部和从所述第一倾斜部的所述第一主面侧的一端朝向所述第一主面倾斜的第二倾斜部， 由所述第二倾斜部和所述第二面形成的第二角大于由所述第一倾斜部和所述第二面形成的第一角， 所述第一贯通孔被密封部件密封。6.一种电子装置的制造方法，其特征在于， 所述电子装置具备:收纳空间部；第一基体，其形成所述收纳空间部的至少一部分；功能元件，其被收纳于所述收纳空间部内，在所述第一基体上设置有第一贯通孔，所述第一贯通孔从与所述收纳空间部相反的一侧的第一主面朝向所述收纳空间部侧的第二面，所述第一贯通孔具有在所述第一贯通孔的剖视观察时，从所述第二面朝向所述第一主面倾斜的第一倾斜部和从所述第一倾斜部的所述第一主面侧的一端朝向所述第一主面倾斜的第二倾斜部，由所述第二倾斜部和所述第二面形成的第二角大于由所述第一倾斜部和所述第二面形成的第一角，所述第一贯通孔被密封部件密封，所述第一基体以硅为主要材料，所述第一主面沿着所述硅的(100)面的结晶面， 所述电子装置的制造方法包括: 通过干法处理对所述第一基体的所述第一主面进行半蚀刻的干法蚀刻工序； 通过湿法处理的蚀刻而形成所述第一贯通孔的所述第一倾斜部和所述第二倾斜部的湿法蚀刻工序。7.一种电子装置的制造方法，其特征在于， 所述电子装置具备:收纳空间部；第一基体，其形成所述收纳空间部的至少一部分；功能元件，其被收纳于所述收纳空间部内，在所述第一基体上设置有第一贯通孔，所述第一贯通孔从与所述收纳空间部相反的一侧的第一主面朝向所述收纳空间部侧的第二面，所述第一贯通孔具有在所述第一贯通孔的剖视观察时，从所述第二面朝向所述第一主面倾斜的第一倾斜部和从所述第一倾斜部的所述第一主面侧的一端朝向所述第一主面倾斜的第二倾斜部，由所述第二倾斜部和所述第二面形成的第二角大于由所述第一倾斜部和所述第二面形成的第一角，所述第一贯通孔被密封部件密封，所述第一基体以硅为主要材料，所述第一主面沿着所述硅的(100)面的结晶面， 所述电子装置的制造方法包括: 通过湿法处理的蚀刻而对所述第一基体的所述第一主面进行蚀刻的湿法蚀刻工序； 通过干法处理的蚀刻而形成所述第一贯通孔的所述第二倾斜部的干法蚀刻工序。8.一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求5所述的电子装置。9.一种移动体，其特征在于， 具备权利要求5所述的电子装置。10.如权利要求2所述的封装件，其特征在于， 在所述第一贯通孔上设置有金属膜， 所述第二倾斜部的至少一部分露出了所述第一基体。11.如权利要求10所述的封装件，其特征在于， 所述第一基体以硅为主要材料， 所述第一主面沿着所述硅的(100)面的结晶面。
【专利摘要】本发明提供封装件、电子装置及其制造方法、电子设备以及移动体。该封装件提高了气密性。封装件具备收纳空间部(56)和形成收纳空间部(56)的至少一部分的第一基体(50)，在第一基体(50)上设置有从与收纳空间部(56)相反的一侧的第一主面(51)朝向收纳空间部(56)侧的第二面(52)的第一贯通孔(58)，第一贯通孔(58)具有在第一贯通孔(58)的剖视观察时，从第二面(52)朝向第一主面(51)倾斜的第一倾斜部(71)和从第一倾斜部(71)的第一主面(51)侧的一端朝向第一主面(51)倾斜的第二倾斜部(72)，由第二倾斜部(72)和第二面(52)形成的第二角(θ2)大于由第一倾斜部(71)和第二面(52)形成的第一角(θ1)，第一贯通孔(58)被密封部件(70)密封。
【IPC分类】G01P15/125
【公开号】CN105044389
【申请号】CN201510187855
【发明人】成瀬敦纪
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年4月20日
【公告号】US20150313016