251复位后，检测电极22的感应电信号输入至采样单元251中，并且经阻抗匹配单元252处理后，由移位控制单元253进行处理。采样单元251中的信号为模拟信号，阻抗匹配单元252由三极管电路构成，可以对信号波形进行整形、提高稳定性。
[0073]移位控制单元253由开关模块253a和开关控制模块253b两部分构成，如图3所示，开关控制模块253b将接收到的外部控制信号SP在时钟信号CLK的驱动下，通过内部的移位寄存器逐渐传输到开关模块253a所对应的每个像素的开关上，使每个像素所对应的开关依次开启，每个像素所对应的开关开启后，相应像素(检测电极组2)上的感应电信号就会传输到信号总线上，每个像素所对应的开关依次开启，每个像素所检测到的信号就会依次传输到信号总路线上，在信号总路线上依时序形成一行像素所对应的信号，信号总线上的信号依次传输至放大单元254中进行放大，并且放大后的信号经输出单元255输入至输入输出部24，再由输入输出部24输送至后续电路中。
[0074]图4为本发明的检测装置的工作时序示意图，SP信号为外部控制信号，开始每一行的扫描，CLK信号为系统工作时钟信号，SP信号在时钟信号CLK信号的驱动下，通过内部的移位寄存器逐渐传输到开关模块253a所对应的每一像素的开关上，并依次开启相应像素。
[0075]RESET信号为复位单元256的控制信号，通过复位信号每个像素在进行有效信号读取前都要进行复位清零，从而等到每个像素准确真实的有效信号。RESET信号与POP信号的动作时序相连。POP信号为施加在公共电极12上的脉冲电压信号，在RESET信号有效期区间对应公共电极12是没有施加电压的区间。
[0076]图9是输出信号SIG信号、控制信号SP信号及时钟CLK信号之间的时序图。通过移位控制单元253，在数据总线上依次得到各像素的两个电极上的信号Vl和V2，各像素2个检测电极22上的信号再通过差分放大单元254及输出单元255进行差分放大后向外输出，并在后续电路中进行数字化及运算处理，形成厚度分布的图像。
[0077]从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果:
[0078]本申请中的检测装置中包括多个检测电极组，当待测膜经过传输通道时，每个检测电极均感应出电荷，因为不同的检测电极组对应待测膜的不同位置，所以不同的检测电极感应出的电荷的多少不同，并且，该检测装置中的移位控制单元能够将检测电极组的感应电信号按照顺序输出，这样就可以得到待测膜不同位置处的厚度。并且，该检测装置无需机械装置引导电极产生位移就能够测量得到待测膜的厚度，更加轻便，方便使用，能够应用到很多领域中。
[0079]以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
【主权项】
1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括: 公共电极(12)； 多个检测电极组(2)，与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置，且所述公共电极(12)的第一表面与每个所述检测电极组(2)的第一表面相对，多个所述检测电极组(2)沿第二方向间隔设置，各所述检测电极组(2)包括至少一个检测电极(22)，所述第一方向与第一平面垂直，所述第二方向与待测膜的移动方向垂直，所述第一平面与所述第二方向平行；以及 检测电路(25)，与多个所述检测电极组(2)电连接，所述检测电路(25)包括移位控制单元(253)，所述移位控制单元(253)用于控制多个所述检测电极组(2)的感应电信号的输出顺序。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述移位控制单元(253)包括开关模块(253a)与开关控制模块(253b)。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述开关模块(253a)中包含多个开关，每一个检测电极组(2)对应一个所述开关。4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述开关控制模块(253b)包括移位寄存器，所述移位寄存器将接收到的外部控制信号传输至所述开关模块(253a)中，逐个开启每一个所述开关。5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述外部控制信号由时钟信号驱动。6.根据权利要求1或5所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)还包括: 采样单元(251)，输入端与所述检测电极组(2)电连接； 阻抗匹配单元(252)，一端与所述采样单元(251)的输出端电连接，另一端与所述移位控制单元(253)电连接；以及 放大单元(254)，一端与所述移位控制单元(253)电连接。7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(25)还包括复位单元(256)，所述复位单元(256)设置在所述采样单元(251)与所述阻抗匹配单元(252)之间，在所述采样单元(251)采样之前，所述复位单元(256)将所述检测电极(22)的信号进行复位。8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述复位单元(256)采用复位信号实施所述复位，所述复位信号的有效区间对应施加在所述公共电极(12)上的电信号的无效区间。9.根据权利要求1至5与8中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括: 第一基板(11); 第二基板(21)，与所述第一基板(11)在所述第一方向上间隔设置，所述第一基板(11)的第一表面朝向所述第二基板(21)的第一表面， 且所述第一基板(11)的第一表面与所述第二基板(21)的第一表面均为垂直于所述第一平面，所述公共电极(12)设置在所述第一基板(11)的第一表面上，所述检测电极(22)设置在所述第二基板(21)的第一表面上，所述检测电路(25)设置在所述第二基板(21)的第二表面。10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括: 第一屏蔽电极(13)，设置在所述第一基板(11)的第一表面上，并且围绕所述公共电极(12)设置；以及 第二屏蔽电极(23)，设置在所述第二基板(21)的第一表面上，并且围绕所述检测电极(22)设置。
【专利摘要】本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括：公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中，各检测电极组与公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且公共电极的第一表面与每个检测电极组的第一表面相对，多个检测电极组沿第二方向间隔设置，各检测电极组包括至少一个检测电极，第一方向与第一平面垂直，第二方向与待测膜的移动方向垂直，第一平面与第二方向平行；检测电路与多个检测电极组电连接，检测电路包括移位控制单元，移位控制单元用于控制多个检测电极组的感应电信号的输出顺序。该检测装置能够更加准确地检测出待测膜的厚度。
【IPC分类】G01B7/06
【公开号】CN105136011
【申请号】CN201510639939
【发明人】戚务昌, 宋荣鑫
【申请人】威海华菱光电股份有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年9月30日