。这些延迟（例如，"延迟调整输入")60、61可通过将数据编程到可变延迟 元件63 (在通道的驱动路径中）和可变延迟元件64 (在通道的接收路径中）中的一个或两 个中来编程到通道中。所编程的数据调整对应通道中的延迟，从而补偿通道之间的延迟差 异。
[0038] 图4示出了示例性通道卡66,其含有经由接口板70连接到DIB69的各种PE板 67。如图4所示，通道卡含有对应于不同测试器通道的迹线71。那些迹线接合到接口板上 的对应（同轴）电缆72,并且接着接合到DIB上的对应迹线73。在其他具体实施中，PE与 DUT插槽之间的连接可不同于所示的连接，例如，所述连接可更简单或更复杂。其中可插入 DUT的DUT插槽75经由接口连接器（未示出）连接到DIB上的迹线，从而实现测试器中的 PE电路与DUT插槽75之间的电通路。
[0039] 在图4的例子中，归因于封装问题，通道卡上的PCB迹线长度可能没有相等长度。 即使PCB迹线长度71是相等的，其也可能由于不同的单位长度传播延迟而没有相等电长 度。这可由迹线中所包含的材料的可变性（例如，PCB玻璃编织效应和其他）引起。电缆 72可具有类似的电长度差异和/或物理长度差异。DIB迹线73也是如此。尽管由前述差异 引起的延迟可分别相对较小，但在一些具体实施中，测试系统将直接在DUT输入/输出（1/ 〇)引脚处具有非常小（约5皮秒或更少）的歪斜。因此，时序校准可用于调整每个通道的 延迟并且从而补偿（例如，校正）延迟差异。
[0040] 为了执行时序校准，可将校准装置插入DUT插槽75中代替DUT。在DUT连接的位 置处（例如，在DUT插槽中）使用校准装置的优点在于，对信号实际上连接到DUTI/O引脚 所在的点（例如，在插槽中）进行校准。因此，连接路径中的所有元件均包括在校准中。为 了校准PE接收延迟，校准装置连接在N(N彡1)个DUTI/O引脚之间。引脚中的一个可由 通道驱动电路（例如，驱动器）驱动。接着，其他引脚（N-1)信号电连接回到PE接收通道 中的比较器。或者，其他引脚（N-1)引脚可驱动信号，并且一个（第N个）引脚电连接回到 PE接收通道中的比较器。
[0041] 通过改变延迟，选通脉冲78(图3)允许确定通道之间的一致时间偏差。为了校准PE驱动延迟，N个通道中的一个通道用作接收器。其他通道一次一个地驱动校准装置。可 检测不同驱动路径之间的歪斜并且可调整驱动延迟，使得每个路径在单个接收通道处产生 相同到达时间。为了校准接收通道的驱动路径，过程转移到不同接收通道并且重复该过程， 包括先前接收通道的驱动路径。在下文中详细描述该过程。
[0042] 图5中示出可用于执行前述校准过程的校准装置80的例子。在示例性具体实施 中，1 :N电阻分压器网络81 (N多1)经由共用电压节点将一个参考电路通道连接到N个电路 通道，从而导致电压除以N(意味着每个接收器查看到由任何通道驱动的信号的1/N)。如图 所示，校准装置的电路通道（含有R1至R11)连接到测试器的对应通道，其包括驱动器和比 较器电路，诸如图3所示并且相对于图3所描述的那些驱动器和比较器电路。
[0043] 在示例性操作中，测试器驱动信号通过电阻器R1，并且电阻器R2至R11提供回到 比较器的电路通道以进行去歪斜校准。任何电阻器（R)均可被驱动，例如，网络为双向的， 所以所述网络可用于对驱动或接收路径进行去歪斜。因此，可将信号驱动通过R2至R11中 的每一者进入R1中。一般来讲，该概念是使用一个测试器通道（例如，连接到含有R1的电 路通道的通道）作为参考。参考通道可充当驱动器（信号源）以及比较器这两者，该驱动 器用于校准其他通道的比较时序，该比较器用于校准其他通道的驱动时序。因为参考电路 通道（例如，含有R1的电路通道）要么用于驱动、要么用于接收，所以该电路通道上的延迟 无助于通道之间的延迟差异。因而，可通过集中于穿过含有R2至R11的电路通道的延迟来 执行去歪斜。可在每个通道上在PE的接收部分处测量延迟，并且相应地对延迟进行调整， 例如，通过编程可变延迟元件（如图3所示的那些元件）。一旦含有R1的电路通道已被用 作参考路径，就使用含有R2的电路通道作为参考、接着使用含有R3的电路通道并且以此类 推重复校准过程，如下所述。
[0044] 更具体地讲，在示例性具体实施中，在含有R1的电路通道上驱动信号，并且在含 有R2至R11的电路通道上接收信号。接着，在含有R2的电路通道上驱动信号，并且在含有 R1和R3至R11的电路通道上接收信号。接着，在含有R3的电路通道上驱动信号，并且在 含有R1、R2和R4至R11的电路通道上接收信号，以此类推。或者，在含有R1至R10的电路 通道上驱动信号，并且在含有R11的电路通道上接收信号。接着，在含有R1至R9和R11的 电路通道上驱动信号，并且在含有R10的电路通道上接收信号。接着，在含有R1至R8、R10 和R11的电路通道上驱动信号，并且在含有R9的电路通道上接收信号，以此类推。通过校 准装置的信号传输和接收的组合用于生成校准矩阵，其用于校准测试通道。下文描述示例 性校准过程的细节。
[0045] 图5所示的各个电阻器可为嵌入式电阻器、表面安装式电阻器、薄膜电阻器，或电 阻性元件的任何组合。或者，电阻器可用任何适当嵌入式或非嵌入式阻抗产生元件来替代。 在一些具体实施中，校准装置可不含特定电阻器或阻抗产生元件，而是各个电阻器可用没 有附加阻抗的电路迹线替代。就这一点而言，可在示例性校准装置中所使用的分压器网络 中包括任何适当电路元件。
[0046] 如上文所指出，在示例性具体实施中，校准装置中的分压器网络可用印刷电路板 上的离散装置（例如，表面安装式电阻器）实施。这种类型的装置的优点可包括较严格的阻 抗控制以及减少对特殊嵌入层合物的需要。或者，分压器网络可被实施为印刷电路板（PCB) 内部的一组嵌入式装置（例如，电阻器），所述印刷电路板的尺寸匹配DUT封装件的尺寸以 允许校准装置装配到DUT插槽中。因此，对于每个类型的DUT，可针对校准使用专用校准装 置，其尺寸被设计为匹配或大致接近DUT的尺寸。
[0047] 就这一点而言，在一些具体实施中，至少该装置的形成到插槽的触点的连接的那 部分接近DUT的尺寸。尽管在一些具体实施中可能理想的是复制实际DUT封装件，但一些 具体实施可使用具有将装配到插槽中的凸起的较大装置。在一些情况下，具体实施取决于 正使用的插槽或接触装置的设计。
[0048] 使用由嵌入在标准印刷电路板内部的装置（例如，电阻器）构成的无源结构并且 匹配DUT的物理尺寸的示例性具体实施还可具有以下优点：在DUT位置处实现信号的时序 校准，而不需要在校准之前对测试设置进行修改（例如，移除插槽等）（例如，示例性校准装 置因此在DUT插槽内部有效地实施测试点，从而实现对在测试期间实际上由DUT查看到的 信号时序的测量）；实现相对严格的延迟匹配（例如，5皮秒或更少）；实现在现有DUT插槽 和测试器中的可用性，因为很少需要特定几何形状、引脚布局或电源，这是由于具有很少或 没有有源电路；并且实现相对较便宜并且使用标准PCB制造技术的大批量生产（因为具有 很少或没有离散部件，不必进行组装，并且所得板相对较坚固）。
[0049] 阻抗元件（例如，电阻器）可被选择为使得阻抗元件连同接收通道的驱动器阻抗 和负载阻抗的整个组合产生匹配阻抗网络。例如，当从50欧姆源驱动电路通道并且剩余10 个电路通道端接于50欧姆负载中时，则计算电阻器值以使得负载加上阻抗元件的整个组 合呈现50欧姆负载以匹配驱动器50欧姆源。就这一点而言，为了减少在分压器网络树处 的反射，在使用电阻器或其他阻抗产生装置的具体实施中，可以这样的方式选择阻抗以使 得每个路径在向分压器里面看时查看到"X"（X多1)欧姆阻抗（假设"X"欧姆系统）。因 此，阻抗值Z为：
[0050] Z=X*(N-1)/(N+1),
[0051] 其中N是分压器网络中的阻抗产生元件的数量。
[0052] 下文解释使用图5的示例性校准装置的校准过程的例子。就这一点而言，ATE(诸 如