专利名称：磁头磨削装置及其磨削方法
技术领域：
本发明涉及用来磨削被磨削物体的一种磁头磨削装置，在所述被磨削物体上布置有多个磁头，本发明还涉及一种磁头磨削方法，更具体地说，本发明涉及一种在磨削时用来校正被磨削的工件或物体的弯曲度的一种装置。
在磁盘装置或类似装置中应用的一种薄膜磁头是由通过加工一个杆形陶瓷(下文中称为“陶瓷杆”)而得到的部件来制成的。在所述陶瓷杆的一个线形表面上形成大量由磁头薄膜及类似物形成的元件部件，这些元件部件形成一个感应的磁转换元件或一个磁阻元件(下文中称为“MR元件”)及类似物。所述的大量元件部件同时形成于一个圆片形陶瓷基片上，在一个方向上将陶瓷基片切成杆形而得到上述的陶瓷杆。
利用由半导体制造技术所代表的薄膜形成和加工技术在圆片形陶瓷基片上同时形成大量元件部件。在此过程中，形成磁阻测量元件、磁极、线圈、绝缘层及类似物的各个薄膜须进行膜的形成、感光涂敷、线形曝光、将要曝光的一部分上的感光材料除去、在曝光的部分上进行膜的刻蚀、将曝光部分上的光阻材料除去等处理。然后，在最上部分上就形成了一层保护膜。这样，形成元件部分的过程就完成了。
此外，在下一个过程中，对由多个元件部件形成的一根陶瓷杆进行磨削处理而将每个元件部件的颈高度、磁阻(MR)高度或其他参数加工至一个适当的值，并对陶瓷杆进行其他处理。通常情况下，在磁盘装置中，为使磁头的输出特性稳定，就需要将磁头的磁极部分和记录介质表面之间的距离保持为一个较窄的恒定距离。所述的颈高度或磁阻(MR)高度就成为调整该距离的重要参数。
在随后的工艺过程中，陶瓷杆就被分解成单个的元件部分，所述单个的元件部件构成了磁盘装置的磁头的一部分。当将磁头用于磁盘装置时，陶瓷部分就成为一个一个浮动的滑动件，陶瓷部分的浮动是由于磁盘上盘的转动造成的空气压力而引起的，所述的元件部分就成为用来进行记录和/或再次产生磁盘磁信号的磁头芯。
所述颈高度是由磁极引导部分来调节的，所述磁极引导部分在上述磁头芯中进行记录和重新生成磁信号，所述颈高度是指相对的两个磁极的一部分长度(高度)，在所述的两个相对的磁极之间具有一个精细的间隙。所述MR高度是指从面向磁阻(MR)元件的介质的表面的侧部上的一端到其相反端之间的长度(高度)。为进行适当的记录和信号的重新生成，就需要将颈高度和MR高度的值设定为给定的值，为得到所述的给定值，该磨削过程就需要较高的精度。
但是，通常情况下，上述的陶瓷杆具有扭曲、弯曲或类似情况，这是由于从陶瓷基片上切出各个元件部件或元件部分的形成及类似情况产生的应力所引起的，因此，只通过将陶瓷杆固定来进行磨削是很难得到上述的高加工精度的。为此原因，已提出了一种装置以较高的精度来磨削陶瓷杆形式的磁头，例如，美国专利No.5620356中就批露了这样一种装置来取代通常的磨削装置。另外，本发明的申请人也提出了这样的装置和方法(日本专利申请No.11-162799及类似申请)。
下文中将描述上述陶瓷杆的一种磨削方法。
首先，利用黏合剂或类似物将陶瓷杆的将被磨削表面的反面粘合到一个机架上，通过所述机架将陶瓷杆的要被磨削表面推向磨削台或磨削基座的磨削表面来磨削要被磨削的表面。所述机架为一种杆结构，在从机架之外对机架之上的3至7个特殊点上施加一个负荷来使机架本身变形。此外，这种杆结构有助于陶瓷杆粘合于其上的机架部分通过上述负荷的作用而进行复杂变形，同时，通过弯曲所述粘合的陶瓷杆可校正陶瓷杆本身的弯度及其他类似情况。
在磨削过程中，所述颈高度或类似参数的值在由机架固定的陶瓷杆上的给定元件部分上被进行光学性地或电动性地测量。得到的测量值和需要值之间存在的差值即为测量时所需要的磨削量。在多个点处施加的负荷是根据在预先确定的元件部分及与元件部分相接近的部分处得到的所需要的磨削量进行调整的，通过机架使陶瓷杆变形的同时进行磨削，这一过程反复进行，这样使在陶瓷杆中形成的所有元件的颈高度或类似参数的值下降到一个给定的范围内。
在上面所述的过程中，机架制作成杆结构，这是为了使变形更为容易，在杆部分上确定了一个开口部分，施加负荷的销子或类似物就插入到所述开口部分中。由一个致动器如一个低摩擦液压缸产生的负荷通过一个传输部件而被传送到所述销子上，从而使整个机架及固定到机架的一部分上的陶瓷杆变形或调节陶瓷杆各部分上的负荷。由本发明的申请人提出的日本专利申请No.10-178949中批露了一种特殊机架的例子，该特殊的机架用来使陶瓷杆进行有效变形或使陶瓷杆上的负荷进行扩散。
但是，随着磁记录介质的记录密度的变高，在磨削过程中颈高度或类似参数的值的误差范围就变窄。在上述的通用装置中为满足该要求，就需要通过一个陶瓷杆保持部分来进行精细变形。但是，为得到所述的精细变形，就需要布置更多的点来施加所述的负荷，且需要一种装置向所述的点施加更大的负荷。考虑到具有需要行程或类似要素的致动器的尺寸，构造一种实际的装置是很困难的。另外，通用装置中的总是整体变形的机架不能独立自然地适应陶瓷杆各个部分的变形。
为了这个原因，本发明的申请人已提出了一种方法，其中，将陶瓷杆紧压在磨削表面上的主负荷是由一至三个致动器施加的，来自于多个行程较小的微致动器的压力直接施加在用来保持陶瓷杆的部分上而进行精确调节。根据这个方法，行程较小的微致动器及类似物可被利用而将压力直接施加到陶瓷杆保持部分上，这样，就消除了将致动器安装到一个空间中的问题。此外，可紧压陶瓷杆保持部分的一个特殊部分，这样可更精确地校正陶瓷杆的弯度。
如上所述，颈高度或类似要素允许的磨削误差随着时间的过去而变得更小，例如，当前陶瓷杆中需要的精度为±0.01μm或更小。利用由本发明申请人提供的上述方法，可在磨削的同时校正陶瓷杆的弯度或类似要素，这样就可达到上述的精度。但是，在陶瓷杆中实际形成的元件在形成位置上存在误差，该误差是在元件形成的同时产生的。例如，在使感光材料曝光的情况下，其中的曝光不是在薄膜的所有部分上同时进行的，而是薄膜的上表面被分解为多个部分，所述的曝光过程是在各个部分上进行的。通常情况下，已知由曝光装置进行曝光时的位置误差为0.01至0.05μm。
同样，在纵向上观察时，经受曝光过程的一个陶瓷杆上的元件被分解为多个部分。由该曝光过程引起的元件的位置偏移大大超过了上面要求的精度，其偏移程度上取决于移动方向。因此，除需要校正上述陶瓷杆的弯曲度外，还需要调节所述的位置偏移。
此外，在上述的元件形成过程中，一些过程例如薄膜的形成过程、曝光过程及蚀刻过程均是对多个薄膜进行的，在薄膜的厚度方向上的误差、在导线宽度方向上的误差及在导线纵向上的误差均是在上述的各个过程中产生的。在一个区域中产生的那些误差同时显露出来，所有这些误差相互累加而被检测为在磨削方向上的各个元件之间的位置误差，还被检测为在调节颈高度或类似参数中每个元件所需要的磨削量的差值。
在试图消除引起所述误差的各个因素的情况下，应考虑到在各个过程中允许的加工允许值应尽可能的小。但是，在加工允许值较小的情况下，存在一些可预料到的缺点，如元件加工超出了允许的范围之外而引起的产品的损坏，以及为了提高曝光精度增加了加工的时间，因此，加工允许值应尽可能的小是不实用的。另外，也考虑过只注意曝光过程中的位置偏移而只将在一段时间内曝光的区域进行分解和加工。但是，同样地，该过程导致了加工装置所需要的成本的增加或加工装置的生产率的降低，因此，这种方法也是不实用的。
本发明是在上述情况下作出的，因此，本发明的一个目的就是提供一种装置，该装置可根据各个元件的位置偏移而对要被磨削的物体如陶瓷杆进行复杂的弯曲变形，所述的位置偏移是由元件经曝光处理或其他方式的处理而产生的，因而，在磨削过程中调节被磨削物体的磨削量，以使各个元件的未磨削部分均匀一致。
为解决上面提到的问题，根据本发明，本发明提供了一种磨削装置，该磨削装置可用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体，其中，被磨削物体的一个在纵向上延伸的平面被分解为多个区域，在所述每个分解区域的纵向上形成有多个元件，所述多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成。所述磨削装置包括一个磨削台、一个磨削头安装支架和一个由磨削头安装支架支撑的磨削头，所述磨削台具有一个可被转动性驱动的磨削表面，所述磨削头安装支架可移动地布置在所述磨削表面上，其特征在于所述磨削头包括一个具有保持部分的机架，所述保持部分在纵向上延伸并将被磨削物体保持在保持部分的一个给定位置上；一个用来支撑所述机架的支撑部分；一个与所述支撑部分整体形成的提升部分，该提升部分可相对于磨削表面而升高；多个保持部分变形装置，该保持部分变形装置施加一个负荷给保持部分，因而使保持部分和由保持部分保持的被磨削物体变形；其中，保持部分变形装置的布置使得不对多个区域之间的边界施加负荷。
在纵向上延伸的被磨削物体的平面被分解为多个区域是由进行如上所述的分解曝光而引起的。另外，所述保持部分变形装置可布置在机架上或与机架相分离布置。
为解决上面提到的问题，根据本发明，本发明提供了一种磨削装置，该磨削装置可用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体，其中，多个元件沿纵向成形在一个沿纵向延伸的平面上，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成。所述磨削装置包括一个磨削台、一个磨削头安装支架和一个由磨削头安装支架支撑的磨削头，所述磨削台具有一个可被转动性驱动的磨削表面，所述磨削头安装支架可移动地布置在所述磨削表面上，其特征在于所述磨削头包括一个具有保持部分的机架，所述保持部分在纵向上延伸并将被磨削物体保持在保持部分的一个给定位置上；一个用来支撑所述机架的支撑部分；一个与所述支撑部分整体形成的提升部分，该提升部分可相对于磨削表面而升高；多个保持部分变形装置，该保持部分变形装置施加一个负荷给保持部分，因而使保持部分和由保持部分保持的被磨削物体变形；以及，每个保持部分变形装置的布置使得独立地对所述的多个元件中的元件施加负荷。
另外，所述保持部分变形装置可布置在机架上或与机架相分离布置。此外，磨削头包括一个致动器，所述机架具有一个通孔，该通孔布置在与保持部分变形装置在纵向的中间施加负荷所沿的方向相垂直的方向上。所述机架通过一个支撑销子而被支撑在支撑部分上，所述支撑销子贯穿所述通孔，致动器产生了一个力，该力在与磨削表面相垂直的方向上通过所述支撑销子而推动或拉动机架。
此外，磨削头可具有一个校正致动器，所述支撑部分具有一个定位销，机架上布置有一个凹槽，凹槽的方向与保持部分变形装置在纵向上对两个端部施加负荷所沿的方向相垂直，机架通过插入到所述凹槽中的定位销进行定位的。所述校正致动器通过定位销来调整相对于机架的磨削表面的压力。此外，磨削头还具有一个由磨削头安装支架进行弹性支撑的调节环，该调节环与磨削表面相接触并由磨削头安装支架进行弹性支撑，这样，面向磨削表面的角度可由调节环来调节。
此外，磨削头可被转动性地安装到磨削头安装导轨上。另外，磨削装置可具有一个磨削头摆动装置，所述磨削头摆动装置可使磨削头在一给定的角度范围内进行往复转动。此外，磨削装置还包括一个检测装置和一个驱动装置，所述检测装置用来检测被磨削物体所需要的磨削量，而所述驱动装置则根据检测到的所需要的磨削量来驱动所述的多个保持部分变形装置。此外，被磨削的物体可由杆形陶瓷来制成，在所述的杆形陶瓷上形成有多个磁头。
另外，为解决上述问题，本发明还提供了一种用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体的磨削方法，其中，被磨削物体在纵向上延伸的一个平面被分解为多个区域，在每个所述分解的区域的纵向上形成有多个元件，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件至少之一构成，该磨削方法包括如下步骤利用所述机架来保持被磨削的物体；通过纵向机架朝着在被转动性驱动的磨削台上形成的磨削表面基本均匀一致地按压被磨削物体；磨削要被磨削的物体；其特征在于当朝着磨削表面均匀一致地按压被磨削物体时，除了均匀一致地按压外，还向被磨削物体施加负荷，所述负荷用来调整沿纵向的多个负荷施加点中的诸负荷施加点周围的被磨削物体的变形量，所述的负荷施加点不布置在多个分解区域的边界上。此外，优选的情况为所述负荷施加点靠近所述边界部分且布置在边界部分的两侧。
此外，为解决上述问题，本发明还提供了一种用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体的磨削方法，其中，在纵向上延伸的一个平面的纵向上形成有多个元件，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成，该磨削方法包括如下步骤利用所述机架来保持被磨削的物体；通过纵向机架朝着在被转动性驱动的磨削台上形成的磨削表面基本均匀一致地按压被磨削物体；磨削要被磨削的物体；其特征在于当朝着磨削表面基本均匀一致地按压被磨削物体时，除了均匀一致地按压外，独立地向多个元件施加负荷，所述负荷用来分别调整被磨削物体的多个元件成形所在区域的变形量。此外，优选的情况为除了各个元件之间的中间区域外，所述负荷施加到多个元件上。
图1所示为一个示意图，图中显示了施加单个负荷的例子，在这种情况下，负荷施加到一个曝光区域上而使被磨削的物体变形；图2所示为一个示意图，图中显示了施加多个负荷的例子，在这种情况下，多个负荷被施加到一个曝光区域上而使被磨削的物体变形；图3所示为一个示意图，图中显示了施加单个负荷的例子，在这种情况下，负荷被施加到每个元件上而使被磨削的物体变形；图4所示为根据本发明的第一个实施例的磁头磨削装置的前视图5所示为根据本发明的第一个实施例的磁头磨削装置的平面图；图6所示为图4中所示的磁头磨削装置中的一个磨削头及类似物的前视图；图7所示为图6中所示的磨削头的平面图；图8所示为图6中所示的磨削头的侧视图；图9所示为图6中所示的磨削头的侧视剖面图；图10所示为图6中所示的磨削头中的调节环的仰视图；图11所示为根据本发明的一个实施例的侧纵机架的前视图；图12所示为图11中所示的侧纵机架的一个变更实施例的前视图；图13所示为图11中所示的侧纵机架的另一个变更实施例的前视图；图14所示为根据本发明的一个实施例的磨削量控制方框图；图15显示了图14中所示的测量装置和一个倍增基片的详细情况；图16显示了图14中所示的一个微致动器驱动基片的详细情况；图17所示为根据本发明的第二个实施例的侧纵机架的前视图；图18所示为根据本发明的第二个实施例的磨削头的前视图，其中，多个负荷施加点的数目较小；图19所示为根据本发明的第二个实施例的磨削头的前视图，其中，负荷施加点的数目较大，即各个元件均具有负荷施加点；图20所示为图19中所示的磨削头中的一个校正机构100的平面图；图21所示为图19中所示的磨削头中的一个校正机构100的前视图；图22所示为对图21中所示的校正机构100沿线22-22所做的部分剖视图；图23所示为用来解释图19中所示的校正机构的驱动部分的一个简图；现在，参考附图对根据本发明实施例的一个陶瓷杆变形方法进行详细描述。应注意到因为被实际磨削的物体并不仅限于陶瓷杆，所以，在下文中陶瓷杆就被称为“被磨削物体”。图1中显示了利用该方法变形一个被磨削物体的一个例子。被磨削的物体92的被磨削一侧92a的表面上形成有多个元件170，其相反的表面安装到侧纵机架94上。虽然在形成元件时在分解的曝光过程中通过各个曝光过程形成的曝光边界172不能作为明显的边界而被实际观察到，但为方便起见，所述的曝光边界在该例子中利用虚线来指示。
如上所述，各种因素可在元件形成的位置中产生误差。但是，其中最大的原因之一就是在分解曝光中的各个曝光过程中的位置偏移。在本发明中，如图1所示，根据各个曝光位置确定了多个负荷施加区域176，通过施加负荷，在每个区域176中就可使侧纵机架94的保持部分和要被磨削的物体92产生变形，这样就可在每个曝光位置上调节磨削量。
如图1所示，在将单个负荷施加到一个特殊的曝光位置来调节磨削量的情况下，就会产生这样一个令人担心的情况，即给定变形量不能被施加到邻近曝光边界172的物体92或类似物上。这个问题可通过在负荷施加区域176上确定多个负荷施加点176a并调节每个负荷施加点176a的大小来解决，该结构如图2中所示。但是，在这种情况下，布置所有的负荷施加点176a应避开曝光边界172。另外，如果在曝光边界172附近的负荷施加点176a布置在与曝光边界相靠近的位置上，就可校正在曝光过程中产生的位置偏移，这样，在磨削过程中就可对物体92施加更适当的变形。
另外，如上所述，每个元件实际均受到在形成元件的同时而形成的位置偏差的损害。因此，为了利用较高的精度来磨削所述的各个元件，如图3所示，最好在各个元件上布置负荷施加位置176a。此外，为了对相邻的元件施加独立的变形量，更优选的情况为在各个元件上布置多个负荷施加点176a。
在磨削过程中，如果布置了负荷施加点且对物体92进行了变形，这样就可校正被磨削物体92的弯度及类似情况，同时校正在元件形成时引起的每个元件的位置偏移。因此，因为可进行高精度的磨削，所以可在每个元件上形成高精度的颈高及类似参数。(第一个实施例)现在参考附图对根据本发明第一个实施例的一个实际磁头磨削装置进行描述。图4所示为根据本发明的第一个实施例的整个磁头磨削装置的前视图，图5所示为根据本发明的第一个实施例的整个磁头磨削装置的平面图。参考图4和图5，下面将对磁头磨削装置的整体结构进行描述。该磁头磨削装置包括一个基座1和一个磨削台2，所述磨削台2可转动性地支撑在基座1上的一个水平面上。所述磨削台2可由一台驱动马达4可转动性地驱动，所述这台驱动马达4作为一个转动驱动源且通过皮带6而布置在基座1中。
另外，一对在垂直方向上相互分离的导轨8被支撑在基座1上而水平延伸，一个可横向移动的滑动件10可由所述导轨8导引而在水平方向上进行滑动。一个磨削头安装支架12安装在可进行横向移动的滑动件10上而进行垂直移动(所述支架12被垂直驱动，因此，可随意调整所述高度)。例如，通过旋拧一个与导轨8相平行的滚珠螺旋轴而由马达转动性地驱动所述滚珠螺旋轴就可横向移动所述滑动件10，在滑动件10的一侧，滚珠螺旋轴具有一个滚珠螺帽。而且，滑动件10和磨削头安装支架12可进行往复线性运动。
如图6所示，一个转动支撑部分16通过一个环形轴支撑部分14而被转动性地支撑在磨削头安装支架12的内部，所述转动支撑部分16通过一个弹性部件18如一个盘形弹簧或一个橡胶部件而与一个磨削头20相固定。所述磨削头20包括一个底盘22和一个垂直的支撑盘24，所述支撑盘24平行地安装到底盘22上。另外，一个调节环(薄垫)26安装到磨削头20的底盘22的底表面上。这样采用的调节环26与磨削表面2a相接触，所述磨削表面2a为磨削台2的一个顶面。在磨削头20被保持的情况下，磨削头相对于磨削表面2a的姿势是稳定的，调节环26可随着部件18作为一个牢固体而被拆下。
如图5和图6所示，所述转动支撑部分16上安装有一个皮带轮28，一个可转动性地驱动皮带轮30的磨削头摆动马达32安装在磨削头安装支架12的外侧。皮带34围绕皮带轮28和30。马达32、皮带轮28、30和皮带34的作用是作为摆动装置而使磨削头20和调节环26在给定的角度范围内进行往复的转动运动(摆动运动)。
图10所示为所述调节环的一个仰视图。如图10所示，调节环26以这样一种方式进行设计，即由耐磨陶瓷制成的大量柱形体38嵌入到例如铝环形体36中，柱形体38的下端面从环形体36中稍微凸伸出。柱形体38的数量是根据安装在调节环26上的磨削头20的重量平衡来设定的。在图7所示的调节环26的情况中，因为调节环26的环形部分40和42中的环形部分40接受来自于磨削台2的一个较大负荷，因此，该部分的柱形体38的数目较大。调节环26的环形部分40和42相对布置且与磨削台2相接触。
如图6-9所示，一根与磨削台2的下表面相平行的倾斜轴44布置在磨削头20和所述的垂直支撑盘24之间，倾斜部分46以倾斜轴44为中心而相对于磨削头20进行倾斜地转动。
如图8和9所示，马达安装座48的下部安装到磨削头20的垂直支撑盘24上而可围绕一根支撑轴50进行转动。一个用来倾斜的马达52安装在马达安装座48的上部。马达52的旋转驱动轴与滚珠螺旋轴54相连，所述滚珠螺旋轴54利用滚珠螺旋螺帽56来旋拧。所述滚珠螺旋螺帽56连接到臂58的另一端，所述臂58的一端通过一根支撑轴60而安装到倾斜部分46上。包括有支撑轴50至支撑轴60的机构，即部件50至60形成了一个倾斜驱动装置，该装置可以将倾斜部分以给定的角度从所示状态进行倾斜，在所示的状态下，倾斜部分46形成一个与磨削台2的磨削表面2a相垂直的表面。
一个提升部分64通过这样一种方式安装到倾斜部分46上，即提升部分64可通过一个滑动支撑(跨辊子导轨)而相对于倾斜部分46进行垂直移动。因为提升部分64在滑动方向上的运动是与倾斜部分46整体进行的，因此，倾斜部分46和提升部分64总保持为相平行的状态。一个支撑盘68通过一根支撑轴66而枢装在提升部分64的下端部，所述支撑轴66与倾斜轴44正交且与磨削台2的下部表面相平行。
如图6和8所示，致动器70A、70B和70C通过支架72而安装在倾斜部分46的上部。这些致动器70A、70B和70C推动(推动即正向压)或拉(反向压)所述支撑盘68的支撑轴66使其左侧和右侧在垂直的方向上分别朝向磨削表面2a，且控制施加到支撑盘68上的负荷。在本说明书中，由上述致动器而施加到支撑盘68上的力简称为“压力”。
由螺栓、螺帽、滚珠体或类似物制作的每个液压缸接头82A、82B和82C连接到致动器70A、70B和70C的杆80A、80B和80C的下端，这样可使液压缸接头82A、82B和82C沿着安装到提升部分64上的滑动支撑84A、84B和84C进行垂直移动。每个所述液压缸接头可相对于每个致动器的提升角度转动约5度，这样就可校正液压缸接头和致动器及类似物的轴线的移动。所述液压缸接头82A、82B和82C2的下端通过连接杆88A、88B和88C而分别连接到支撑盘68的中间、右侧和左侧。因此，如图中所示，由致动器70A、70B和70C施加到支撑盘68上的压力的方向就相互平行。
在进行实际磨削时，相对于物体92的磨削表面2a的主推负荷或主拉负荷(后面的内容中均称为“压力”)是通过致动器70B进行调节的，而在纵向上对物体92的大体上的压力平衡是通过另外两个致动器70A和70B进行调节的。因此，由致动器70A、70B和70C施加的压力根据磨削量的变化程度及被磨削物体92在纵向上的被磨削部分的变化而可部分地改变为拉力。
所述支撑盘68通过一个矩形盘形部分90、一个支撑销子92、定位销子97A、97B和一个连接部件122而连接到一个侧纵机架94上。图11至13显示了侧纵机架94的前视图。所述侧纵机架94由整体形成的一个主体部分131、一个保持部分132、连接部分133和134及多个微致动器135构成。所述多个微致动器135的端部均固定到主体部分131和保持部分132上。所述保持部分132具有位于固定部分132a之间的槽部分132b，所述微致动器135就安装到所述固定部分132a上，这样，通过相邻的微致动器的压紧作用，所述的每个部分均进行不同的变形。
在主体部分131的中间部位形成有一个纵向的通孔131a，所述通孔131a从机架的前表面侧穿透至机架的后表面一侧。一个穿过所述通孔131a的支撑销子96通过螺栓、螺帽或类似物而安装到连接部件122上，从而将侧纵机架94固定到支撑盘68上。此外，因为插入到凹陷部分133a和134a中的定位销子97A和97B与支撑销子96一起安装到连接部件122上，这样，所述侧纵机架94就可被安装到支撑盘68上的给定位置上，连接部分133和134中的所述凹陷部分133a和134a与通孔131a相平行。
在这种状态下，如上所述，预先将固定位置从曝光边界172处移开是必需的，这样，微致动器135和固定部分132a的位置就不位于曝光边界172处或者说不恰好位于曝光边界172之上，当物体92被固定到侧纵机架94上时也应注意同样的情况。另外，在一个微致动器135与每个元件170相对应的情况下，就需要确定致动器的固定位置来固定物体92，这样，使每个致动器1 35就正好位于各个元件170之上。
在该实施例中，每个微致动器是由压电元件制作的层压式致动器形成的。所述压电元件致动器是通过将多个四边形的薄盘形压电元件进行叠放和安装而形成的，其形状为柱形。相互面对的柱状侧表面由一个电极136来形成是必需的，所述电极导电性地连接到各个薄盘形压电元件上。所述电极136需要附加一个电压供应导线来施加驱动电压。当所述压电致动器被安装到侧纵机架94上时，就应考虑电极导线需要的一个空间、致动器自身强度的各向异性、要安装的压电致动器的数目、压电致动器的安装空间及其他因素。
图11显示了一种结构，其中，布置在压电元件上的电极136布置在与侧纵机架94的前表面和后表面相平行的一个表面上，也就是说，该结构具有一个图2中所示的个负荷施加点176a。另外，图13也显示了侧纵机架94的一种结构，其中，在物体92上形成的每个元件上均布置了一个压电致动器，也就是说，该结构的前视图中具有图3中所显示的一个负荷施加点176a。除了压电致动器尺寸减小及压电致动器的数目极大地增加之外，图11和13中显示的侧纵机架94它们在结构上互相没有差别。
固定在保持部分主体132c上的被磨削物体92为较窄的四边形杆形陶瓷杆(所述陶瓷杆分别被分解为薄膜滑触磁头)，在所述陶瓷杆上的大量磁头元件部分是由线性布置的磁性薄膜形成的，所述元件部分的磁性薄膜位于陶瓷杆的一个纵向侧表面上。因此，就可磨削陶瓷杆的底表面，从而，就可减小在上述纵向侧表面上形成的元件部分的颈高度和MR高度。
至此，如上所述，朝向物体的磨削表面的压力的平衡是通过致动器70A、70B和70C对负荷的平衡调节而进行调节的，这样就可校正物体92中存在的扭曲、弯曲或类似情况。同样地，在本发明中，在磨削时为将物体92压向磨削表面2a而施加的主负荷是由上述的三个致动器来给定的。但是，除了磨削量较大的情况之外，在纵向上负荷的平衡是通过分别驱动多个微致动器135来调节的，所述的多个微致动器135可根据需要的数量而被分别包括在侧纵机架94中。
因此，必须得到各个微致动器135的驱动量，所述驱动量即为在磨削时或磨削过程之前的磨削量。一个具体的例子为获知磨削时所需的磨削量，并以得到的磨削量为依据来驱动所述微致动器，该内容将在下文中进行描述。在该实施例中，除元件之外的一个附加电极布置在陶瓷杆的纵向侧表面上，附加电极的电阻的变化可受到监控，这样就在监控时得到磨削量，并可根据所得到的磨削量而进一步得到所需的压力。也就是说，物体92的磨削量是在所谓的闭环控制下进行磨削而进行控制的。
为此，在所述侧纵机架94的支撑盘一侧的表面94a上通过导线连接而预先形成导电性地连接到附加电极上的电极。由图中未显示的弹簧或类似物压紧的测量销子128(参见图6)安装在矩形盘部分90上，当所述侧纵机架94安装在所述矩形盘部分90上时，上述电极和测量销子128就相互接触。此外，测量销子128被连接到图中未显示的一个电阻测量装置上，所述附加电极的电阻可通过将侧纵机架94安装到所述矩形盘部分90上来进行测量。
电阻测量装置和微致动器控制装置的特殊构造将在下文中进行描述。图14显示了包括测量装置和控制装置在内的、根据检测到的附加电极的电阻而驱动微致动器的一个控制方框图。图15显示了测量装置和倍增基片220的细节方框图，图16所示为用来显示致动器驱动基片的细节的方框图。在该实施例中，因为所述电阻是由四个终端方式来测量的，因此，多个测量销子128与一个单个的附加电极201相接触。
附加电极201通过测量销子128利用测量装置和倍增基片220而得到的电压根据对一个已知的四终端方式进行的数学运算而转化为电阻。此外，这些电阻被转化和倍增而成为数字数据，然后输入到微型计算机210的输入/输出终端211。另外，根据输入到计算机210的数据来计算出物体92的磨削量，然后将计算出的磨削量指示给操作者。
上面所述的从电阻的测量至数字数据的输出这个信号处理过程将参考附图14进行详细的描述。在测量和倍增基片220中，对于多个测量销子128从恒定的电流源221供应的电流、各个销子之间的电压测量、以及以检测到的值与校正电阻222的值相比较为依据的在数学运算部分223中的数字化运算来说是顺次进行的，然后就得到了附加电极的电阻。得到的电阻再通过一个A/D转换器224而转化为数字数据。
在附加电极形成部分上及在被磨削表面92a中受测量的邻近区域所需要的磨削量是从经上述过程转化的数字数据中得到的。然后，为了磨削掉所要求的量，各个微致动器135所需要的驱动量就作为驱动量数据而由计算机210得到。所述的驱动量数据就从计算机210经输入终端211而输入到致动器驱动基片230中。
上述的这些数据在微致动器驱动基片230中转化为一个控制信号，驱动电流就从接收控制信号的驱动电流输出装置232输出到各个微致动器135中。各个微致动器可根据输出的驱动电流而较好地调节通过侧纵机架94的保持部分132c而作用到物体92上的压力，从而，在纵向上可精确地调节朝向物体92的磨削表面2a的压力平衡。
使用上述具有内含微致动器135的侧纵机架，以及由闭环对微致动器进行控制，就可在磨削时监控磨削量并可处理磨削量的允许变化范围变小的情况。
然后，下面将对在所有时间内测量磨削量和以检测到的结果为基础来调节作用到物体的磨削表面上的压力及本发明实施例中的一种磨削方法进行描述。首先，用来保持物体92的侧纵机架94通过连接部件122和固定销子96在图4和图5所示的位置上而被安装到支撑盘68的矩形盘部分90上，在所述物体92上布置有多个薄膜磁头元件；磨削头20在磨削台2的外部。在这种情况下，附加电极和布置在侧纵机架的侧面94a上的电极已经导线连接，测量销128与上述电极相接触。
另外，如上所述，当物体92被固定到侧纵机架94上时，必须注意元件170和微致动器135之间的位置关系应被设定为一种给定的关系。然后，支撑盘68相对于磨削头20的倾斜角初始设定为0度(一个与调节环26的底表面相垂直的位置，即与磨削台2a相垂直的一个位置)。
例如，在由于被磨削物体的构造而为得到一个给定的颈高度而使布置有所述元件或类似物的物体需要一个较大的磨削量的情况下，在上述的固定工作之前预先通过另一个装置来进行粗磨削。在该实施例中，粗磨削是在这样一种状态下，即由侧纵机架94来保持物体92的状态下进行的。但是，被磨削的物体也可被安装到另一个机架(未显示)上来进行粗磨削，在所述的粗磨削完成之后就可从机架上移开被磨削物体92而再将其安装到侧纵机架94上。
在设定支撑盘68的倾斜角度及侧纵机架94的安装完成后，安装在磨削头20上的磨削头安装支架12就沿导轨8进行线形移动并被定位到磨削台2之上，所述磨削台2可被转动地驱动。此外，嵌入到调节环26的下表面中的多个柱形体38的下表面的一部分与磨削台2的上表面的磨削表面2a相对，磨削头安装支架12向下移动，这样，在适当的压力下，所述多个柱形体38的下表面的一部分就与磨削表面2a相接触。
此外，致动器70A、70B和70C受驱动而调节施加到支撑盘68的中间、右侧和左侧的各个平行压力，这样就产生了物体92基本均匀一致地压靠到磨削表面2a上的状态。在该实施例中，主压力是从中间致动器70B处得到的，在该状态下，左致动器70A和右致动器70C就产生一定程度的力来支撑支撑盘68，从而达到物体92的两端均与磨削表面2a相接触的状态。上述的调节可通过用眼睛观察或利用一个接触传感器或类似物来执行。另外，预先测量物体92的较大的弯度，这样可调节由致动器70A、70B和70C给定的压力平衡，从而根据检测结果来校正所述的弯度。
在这种状态下对物体92进行磨削。由于附加电极的电阻的测量而对磨削量的测量从在磨削开始后在任何时间均进行，这样就得到了在各个磨削时间时在附加电极的各个形成位置处所需要的磨削量。根据得到的所需磨削量来控制各个微致动器的驱动量而得到所需的颈高度及其他参数。在物体的弯度较大及所需要的磨削量的变化较大的情况下，最好预先调整致动器70A、70B和70C而进行压力的平衡，然后调节微致动器的驱动量。
在磨削过程中，如果调节环26的相同部分与磨削台2相接触就会产生磨损偏差。因此，安装有磨削头20和调节环26的转动支撑部分16就通过磨削头摆动马达32的驱动而在预定的角度范围内进行往复转动，而磨削头安装支架12就在一个给定的范围内进行往复移动。因此，在磨削过程中，磨削头20和调节环26就进行往复的转动和线形运动相复合的运动。
通过上述的方法，在校正陶瓷杆的弯度的时候就可磨削陶瓷杆，同时也可校正在形成元件时产生的各个元件之间的位置偏移。因此，就可以根据在陶瓷杆上形成的各个元件的情况进行磨削，另外，也可在陶瓷杆的总体长度允许的范围内降低一个值如颈高度。
在该实施例中将一个低摩擦气缸作为致动器。但是，也可应用不同的低摩擦气缸例如一种电磁型气缸。另外，在该实施例中，利用三个致动器来补充微致动器的驱动行程的不足。但是，在微致动器自身的驱动行程足够大的情况下，就可构造一种只有中间致动器70B的装置。此外，在该实施例中，微致动器利用压电元件致动器。但是，本发明并不仅限于压电元件致动器，所述的致动器可由电致伸缩元件、气缸或类似元件来构造。
另外，在该实施例中，所述闭环控制只施加在各个微致动器上，但存在这样一种情况即得到的所需要的磨削量在微致动器的驱动范围之外。作为对这种情况的防范措施，在得到的需要的磨削量大于给定量的情况下，可以启动一个子程序，其中致动器70A、70B和70C一端的驱动量或压力受控来减少所需要的磨削量，然后，就可再次进行由上述闭环对微致动器的控制。
另外，在根据该实施例的磨削装置中，为在被磨削物92a的整个部分上得到一致的颈高度及类似参数，调节环就安装到磨削头的下部上，这样就可更严格地控制物体92和侧纵机架94的姿态。但是，在本发明中并不总是需要调节环，在只利用磨削头就可进行足够的位置控制的情况下，就可去掉调节环，这样就可更加简化该装置的结构。
另外，在该实施例中，物体92在侧纵机架94上的固定是通过热塑性黏合剂来进行的。但是，本发明并不仅限于热塑性黏合剂，所述的固定可通过其他的黏合作用如热固性黏合剂、由树脂或类似物形成的粘合材料、静电吸附、蒸汽吸附或类似作用来完成。(第二个实施例)在本发明的第一个实施例中，在侧纵机架94上布置有多个微致动器135，通过上述的微致动器向负荷施加点116a来施加一个负荷。但是，施加到负荷施加点116a上的负荷并不仅限于由侧纵机架94保持的微致动器施加的负荷。例如，除了侧纵机架之外，在磨削头的部分上布置有多个驱动部分或负荷产生部分，所述的驱动力或负荷就施加到侧纵机架94的保持部分132上，从而使保持部分和被磨削物体变形。该具体的例子将在下文中进行描述。
在该情况中，侧纵机架通过来自于外界的负荷而进行变形是必要的。这种情况下的侧纵机架的一个例子如图17中的前视图所示。在该图中去掉了微致动器136，而代之于在保持部分132上布置有多个具有负荷接受孔146的负荷接受部分145，所述的负荷接受部分145与图11中所示的侧纵机架94是不同的。由负荷产生部分产生的负荷通过插入到如负荷接受孔146中的销子或类似物而施加到保持部分132上，这样就可将所述的保持部分进行变形。因为负荷接受孔的数量是根据负荷产生部分的数量确定的，图17显示的例子中具有19个负荷产生部分。
图18中显示了多个驱动部分布置在磨削头上而不是侧纵机架上的一个例子。图18中显示了磨削头20的前视图的形状。所述磨削头20由一对REC柱塞350A和350B，所述REC柱塞350A和350B用来调节物体92和磨削表面2a的平行程度，以及校正向保持部分施加负荷的低摩擦液压缸330A至330E。
所述低摩擦液压缸分别安装有杆380A至380E。这些杆的下端与滑动件382A至382E相连，这样所述滑动件就可沿安装到提升部分64上的一个滑动支撑(未显示)进行垂直移动。每个所述滑动件可相对于各个液压缸的驱动方向转动约5度，这样就可校正滑动件和低摩擦液压缸驱动轴的轴向偏移。
所述滑动件382A至382E的下端也与校正提升部件388A至388E相连接，销子安装到所述校正提升部件388A至388E上，所述的这些销子插入到上述负荷接受孔146中。在这一实例中，在侧纵机架94上分别布置5个负荷接受部分145和5个负荷接受孔146。5个负荷产生部分数量较少，但布置它们可达到只校正在曝光边界172中产生的位置偏移的目的，在曝光边界172的数量为4个的情况下，通过这种结构就可得到所需要的物体92的变形。
然后，参考附图，下面将描述具有较多负荷产生部分的磨削头20的结构的例子。图19显示了磨削头20的前视图。图19中的磨削头20和图18中的磨削头的一个差别只是用校正机构100来取代由校正所用的低摩擦缸330A至330E构成的部分，所述校正机构100将在下面的内容中进行详细描述。
图20、21、22分别显示了校正机构100的平面图、前视图和剖视图。基座101通过弹簧或类似物安装到支撑盘68上而与支撑盘68基本平行，这样就将校正机构100自身安装到支撑盘68上。支架103通过保持器102而安装到基座101的顶部，支架103的两个侧表面均与支撑盘68基本平行布置。盘104和105均平行地固定到支架103的两侧表面上，用作为校正驱动装置的多个校正致动器106被保持在介于上述的两个盘之间的给定位置上。
图23所示为校正机构100的驱动部分的侧视图。如图中所示，所述的校正致动器106是以这种方式设计的，即所述驱动部分通过接头118和销子117而连接到在与驱动方向基本垂直的方向上延伸的杆113的一端。此外，所述杆13由一个固定到基座101上的轴111而转动性地支撑在一个支撑112上，所述杆113可通过驱动校正致动器106而围绕轴111进行转动。所述轴111被定位而作为杆113的转动中心，在所述杆113与上述驱动部分相连接的另一个端部上布置有一个销子113a。
在所述的校正机构中，轴111支撑着杆113的位置布置在销子113a的邻近区域，因此，从校正致动器106中得到的驱动力由于杠杆原理而放大，这样就可更好地控制销子113a。销子113a的前端加工成球形，由于校正致动器106的驱动作用，所述前端在与致动器驱动方向基本垂直的方向上被驱动(所述驱动方向与磨削表面2a基本垂直)。
从图中可了解到，因为与该实施例中应用的校正致动器106的尺寸(该情况中为直径)相比，相邻的两个销子113a之间的间隔较小，所以校正致动器106就不能仅进行平行布置。因此，如图23所示，所述各个校正致动器106通过具有不同长度的杆113进行交错布置，所述具有不同长度的杆113为校正致动器106分别提供了保持空间。在这种情况中，由于各个杆113的长度的差别，销子113a的前端的驱动量也互不相同。但是，在该实施例中，校正致动器106的各个驱动行程是在预先给定的范围内进行调节的，同时，计算出的销子113a的实际驱动量是不同的，这样就将前端的驱动量保持为常数。
当机架94安装到基座101上时，每个销子113a的前端的一个球形部分就插入到布置在负荷接受部分145上的负荷接受孔146中。依据校正致动器106的驱动，所述销子113a的前端部分压在负荷接受孔146的圆周部分上，所述负荷接受部分145就被垂直地驱动。通过负荷接受部分145的运动而使保持部分132进行部分变形，同时物体92也进行局部变形。
在该例子中，销子113a的前端部分不是垂直地线形移动，而是依据杆113围绕轴111的环形转动而进行沿着环形轨迹的垂直移动。为此原因，在该实施例中，前端部分就做成一个球形，这样就可使前端部分相对于负荷接受孔146的圆周部分进行滑动，也可在前端部分上顺利地移动负荷接受部分145。
如上所述，销子113a和负荷接受部分145的布置不能在曝光边界172上重合，这样，销子113a和负荷接受部分145就不布置在曝光边界172处或者说不在其上。另外，当物体92安装到侧纵机架94上时也应注意同样的情况。此外，在一个销子113a和负荷接受部分145与各个元件170相对应的情况下，就必须确定每个销子113a和负荷接受部分145的布置来安装物体92，使得一个销子113a和负荷接受部分145就布置在各个元件170的正上方。
上面的内容描述了本发明的第二个实施例。所述第二个实施例与第一个实施例之间的差别在于负荷产生部分是否处于侧纵机架上。因此，物体92的磨削量的控制方法和各个致动器的操作过程等方面，这些在第一个实施例中与第二个实施例中是相同的。此外，在第一个实施例中可进行的各种变更情况都可应用到第二实施例中。
另外，上述的装置结构为一种只将负荷施加到保持部分132上的结构，本发明是关于将负荷施加到保持部分132上的位置的，但并不仅限于上述结构。因此，在本发明中可采用不同的负荷产生方法和负荷施加方法。
此外，上述的实施例只显示了磨削工艺，但本领域的普通技术人员应明确本发明不仅可应用到磨削工艺上，而且研磨工艺或切削加工工艺等工艺上。此外，本发明并不仅限于上面对本发明的实施例的描述，本领域的普通技术人员还应明确在相应的权利要求范围内可对本发明进行不同的变更及更换。
当在被加工的物体如陶瓷杆上形成电磁转换元件或其他元件时，产生了位置偏移，根据本发明的加工装置和加工方法，就可以根据这些位置偏移而赋予陶瓷杆复杂的弯曲变形及其他情况，在磨削时就可校正电磁转换元件或其他元件所发生的位置偏移。
上面为了说明及显示的目的而对本发明的优选实施例进行了描述。应认识到上述内容不是为了穷尽或将本发明限于所批露的内容，从上面的内容的指导或从本发明的实际应用中可得到对本发明的变更及变化。为解释本发明的原理而选择描述了本发明的实施例。本发明的实际应用可使本领域技术人员利用本发明的不同的实施例及对本发明进行不同的变更而尝试将其进行特殊的应用。应认识到本发明的范围由下面附加的权利要求及等效内容来确定。
权利要求
1．一种磨削装置，该磨削装置用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体，其中，在纵向上延伸的被磨削物体的一个平面被分解为多个区域，在每个所述分解的区域的纵向上形成有多个元件，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成，所述磨削装置包括一个具有磨削表面的磨削台，所述磨削表面可被转动性地驱动；一个可移动地布置在所述磨削表面上的磨削头安装支架；一个由所述磨削头安装支架支撑的磨削头；其特征在于，所述磨削头包括一个具有保持部分的机架，所述保持部分在纵向上延伸并将被磨削物体保持在保持部分的一个给定位置上；一个用来支撑所述机架的支撑部分；一个与所述支撑部分整体形成的提升部分，该提升部分可相对于磨削表面而升高；多个保持部分变形装置，该保持部分变形装置施加一个负荷给保持部分，因而使保持部分和由保持部分保持的被磨削物体变形；其中，保持部分变形装置的布置使得不对多个区域之间的边界施加负荷。
2．根据权利要求1所述的磨削装置，其特征在于，所述保持部分变形装置布置在所述机架上。
3．根据权利要求1所述的磨削装置，其特征在于，所述保持部分变形装置独立于所述机架而布置。
4．一种磨削装置，该装置用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体，其中，多个元件沿纵向成形在一个沿纵向延伸的平面上，所述多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成，所述磨削装置包括一个具有磨削表面的磨削台，所述磨削表面可被转动性地驱动；一个可移动地布置在所述磨削表面上的磨削头安装支架；一个由所述磨削头安装支架支撑的磨削头；其特征在于，所述磨削头包括一个具有保持部分的机架，所述保持部分在纵向上延伸并将被磨削物体保持在保持部分的一个给定位置上；一个用来支撑所述机架的支撑部分；一个与所述支撑部分整体形成的提升部分，该提升部分可相对于磨削表面而升高；多个保持部分变形装置，该保持部分变形装置施加一个负荷给保持部分，因而使保持部分和由保持部分保持的被磨削物体变形；以及，每个保持部分变形装置的布置使得独立地对所述的多个元件中的每个元件施加负荷。
5．根据权利要求4所述的磨削装置，其特征在于，所述保持部分变形装置布置在所述机架上。
6．根据权利要求4所述的磨削装置，其特征在于，所述保持部分变形装置独立于所述机架而布置。
7．根据权利要求1至6之一所述的磨削装置，其特征在于，所述磨削头包括一个致动器，所述机架具有一个通孔，所述通孔布置在与所述保持部分变形装置在纵向的中间施加负荷所沿的方向相垂直的方向上，所述机架由一个支撑销子支撑在支撑部分上，所述销子穿过所述通孔，所述致动器施加一个力，该力在与所述磨削表面相垂直的方向上通过所述支撑销子而推动或拉动所述机架。
8．根据权利要求7所述的磨削装置，其特征在于，所述磨削头具有一个校正致动器，所述支撑部分具有定位销子，所述机架上布置有凹槽，凹槽的方向与所述保持部分变形装置在纵向上对两端施加负荷所沿的方向相垂直，所述机架由插在所述凹槽中的所述定位销子进行定位，所述校正致动器通过所述的定位销子调节相对于机架的磨削表面的压力。
9．根据权利要求7所述的磨削装置，其特征在于，所述磨削头具有一个由所述磨削头安装支架弹性支撑的调节环，所述调节环与所述磨削表面相接触并由磨削头安装支架进行弹性支撑，这样，通过所述调节环就可调节面向磨削表面的角度。
10．根据权利要求7所述的磨削装置，其特征在于，所述磨削头可被转动性地安装在所述磨削头安装导轨上。
11．根据权利要求10所述的磨削装置，其特征在于，所述磨削装置具有一个磨削头摆动装置，所述磨削头摆动装置可使所述磨削头在给定的角度范围内进行往复的转动运动。
12．根据权利要求1或4所述的磨削装置，其特征在于，该磨削装置还包括用来检测被磨削物体所需要的磨削量的检测装置及驱动装置，所述驱动装置根据检测到的所需要的磨削量来驱动所述的多个保持部分变形装置。
13．根据权利要求12所述的磨削装置，其特征在于，被磨削物体由杆形陶瓷制成，在所述杆形陶瓷上形成有多个磁头。
14．一种用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体的磨削方法，其中，被磨削物体的在纵向上延伸的一个平面被分解为多个区域，在每个所述分解的区域的纵向上形成有多个元件，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成，所述磨削方法包括如下步骤利用机架来保持被磨削物体；通过纵向机架朝着在转动性驱动的磨削台上形成的磨削表面基本均匀一致地按压被磨削的物体；以及磨削被磨削的物体；其特征在于，当朝着磨削表面均匀一致地按压被磨削物体时，除了均匀一致地按压外，还向被磨削物体施加负荷，所述负荷用来调整沿纵向的多个负荷施加点中的诸负荷施加点周围的被磨削物体的变形量，所述的负荷施加点不布置在多个分解区域的边界上。
15．根据权利要求14所述的磨削方法，其特征在于，所述负荷施加点靠近边界部分且布置在所述边界部分的两侧。
16．一种用来磨削在一个方向上延伸的被磨削物体的磨削方法，其中，在纵向上延伸的一个平面的纵向上形成有多个元件，所述的多个元件均由至少一个电磁转换元件和一个磁电转换元件之一构成，所述磨削方法包括如下步骤利用机架来保持被磨削物体；通过纵向机架朝着在转动性驱动的磨削台上形成的磨削表面基本均匀一致地按压被磨削的物体；以及磨削被磨削的物体；其特征在于，当朝着磨削表面基本均匀一致地按压被磨削物体时，除了均匀一致地按压外，独立地向多个元件施加负荷，所述负荷用来分别调整被磨削物体的多个元件成形所在区域的变形量。
17．根据权利要求16所述的磨削方法，其特征在于，除各个元件之间的中间区域外，所述负荷施加到多个元件上。
全文摘要
在陶瓷杆或类似物上形成电子元件时,由于分解曝光过程或其他原因而使各个元件产生了位置偏移。本发明的一个目的为提供一种装置和方法,该方法通过磨削及使陶瓷杆产生一个复杂变形等而使各个元件的非磨削部分均匀一致。为达到该目的,利用一个机架来保持所述陶瓷杆或类似物,将多个负荷施加到机架的保持着所述陶瓷杆或类似物的部分上,这样就可使陶瓷杆或类似物产生变形而在该状态下磨削所述的元件。在这样一种状态下布置负荷施加点,使所述的负荷施加点不布置在分解曝光部分的边界上。
文档编号G11B5/60GK1312147SQ0111686
公开日2001年9月12日 申请日期2001年2月22日 优先权日2000年2月22日
发明者井藤宏史, 佐佐木正博, 小川昭雄, 阿部彻男, 神津雅树, 山口正雄 申请人:Tdk株式会社