专利名称：集成光拾取器和制造它的方法及包括它的光信息存储系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光学拾取器和制造该光学拾取器的方法，和包括该拾取器的光学信息存储系统，且更特别地，涉及一种能够使用简单工序批量生产的超小集成光学拾取器和制造该光学拾取器的方法，以及包括该拾取器的光学信息存储系统。
背景技术：
光学信息存储系统包括光学拾取器装置以在光盘上记录信息和/或由该光盘再现该信息。光学信息存储系统由于它们所具有的能够进行媒体传播、便携性、高容量、以及对信息泄露的预防等方面的优势，不同于其他信息存储系统。
光盘已经由具有12cm直径以及1.2mm厚基片的激光唱盘(CDs)发展至具有12cm直径和0.6mm厚基片的数字化视频光盘(DVDs)。蓝光光盘甚至比DVDs更薄。用于在光盘上存储信息并由光盘再现信息的光学信息存储系统发展为将高光学能量集中在小点上而取得与光学信息媒体的发展保持一致的高记录密度。例如，用于CD的光学信息存储系统使用具有780nm波长的光源和具有0.45数值孔径(NA)的物镜，和用于DVDs的光学信息存储系统使用650nm波长的光源和具有0.6NA的物镜。
近些年来，随着光盘被制造得具有更高的密度和更高的容量，大量增加物镜NA的研究已经进行以减少光点尺寸并制造薄-型光学零件而生成超小光学拾取器。典型地，减少光学零件的尺寸以减少光学信息存储系统的整个尺寸的尝试已经进行。然而，该方法具有技术上的局限。
在这方面，使用MEMS工序制造光学拾取器以解决上述问题的尝试已经进行。常规光学拾取器制造方法由于零件的安装错误，在粘附和调整数百微米的超小零件时具有低可靠性和低自动化率。然而，当光学拾取器使用MEMS工序制造时，光学拾取器可以批处理，由此提供了通过集成一般电子零件实现超小光学拾取器的可能，且包括光学拾取器的光学信息存储系统的价格也可以降低。然而，使用半导体工序制造的超小光学拾取器以及包括该拾取器的光学信息存储系统还没有出现。
发明内容
本发明提供了一种可使用MEMS技术在晶片上实现的超小集成光学拾取器和制造该光学拾取器的方法，以及包括该光学拾取器的光学信息存储系统。
根据本发明的一个方面，所提供的集成光学拾取器包括光源；主光探测器，其用于接收由光源发射并由光学信息存储介质反射的光；聚光和光路分离元件，其用于将来自光源的光聚焦在光学信息存储介质上并将入射在光学信息存储介质的光的光路与自光学信息存储介质反射的光的光路分离；和光具座(optical bench)，其联结至聚光和光路分离元件，光路形成于光源和主光探测器和聚光以及光路分离元件之间，且光具座和聚光以及光路分离元件分别形成在晶片上，接着通过分离为多个组件获得。
根据本发明的另一方面，提供有制造如权利要求1至19任一的集成光学拾取器的方法，该方法包括准备其上形成有光具座的光具座晶片，以及其上形成有聚光和光路分离元件的聚光和光路分离元件晶片；联结聚光和光路分离元件晶片至光具座晶片以形成集成光学拾取器组件晶片，切割该光学拾取器组件晶片，以形成集成光学拾取器组件；以及接线和封装该集成光学拾取器组件。
根据本发明的另一方面，提供有制造如权利要求1至19任一的集成光学拾取器的方法，该方法包括准备其上形成有光具座的光具座晶片，以及其上形成有聚光和光路分离元件的聚光和光路分离元件晶片；切割聚光和光路分离元件晶片以及光具座晶片并将通过切割获得的聚光和光路分离元件以及光具座晶片联结以形成集成光学拾取组件；并接线以及封装该集成光学拾取器组件。
根据本发明的再一个方面，提供有光学信息存储系统包括如权利要求1至19任一的集成光学拾取器；光学信息存储介质旋转单元，其旋转该光学信息存储介质；驱动单元，其驱动该光学拾取器以及光学信息存储介质旋转单元；和控制器，控制驱动单元以控制聚焦和跟踪伺服。
光具座可以包括具有将由光源发射的光反射至聚光和光路分离元件的第一表面的第一侧面部分。
光源可以设置在光具座的底部，且主光探测器可以设置在或者光具座的底部或者与第一侧面部分相对的第二侧面部分上。
集成光学拾取器可以进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，且该监控光探测器可以放置在光探测器的同一表面上，或者主光探测器放置在底部和光具座的第二侧面部中的一个上以及监控探测器放置在剩余一个上。
集成光学拾取器可进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，且主光探测器和监控探测器可以放置在光具座的底部以位于光源的两侧。集成光学拾取器可以进一步包括棱镜，其插入在光源和监控光探测器之间以使得由光源发射的光入射在监控光探测器上。
光源可以设置在光具座的底部，且主光探测器可以设置在面向底部的支撑部并放置在光具座上。光具座可以进一步包括第二侧面部分，其在位置上与第一侧面部分相对，且具用用于反射由光学信息存储介质反射来的光的第二表面和朝向主光探测器的第一表面。
集成光学拾取器可以进一步包括监控光探测器，其设置在支撑部上以监控光源的光强度。
支撑部可以或者为聚光和光路分离元件的延伸部，或者为聚光和光路分离元件可插入的隔板。
光源和主光探测器可以设置在与光具座联结的支撑部上，具光具座可以进一步包括第二侧面部，其在位置上与第一侧面部相对且具有用于将由光源发射出的光反射至第一表面的第二表面。
光具座可以在其底部具有敞形结构。
集成光学拾取器可以进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，且主光-探测器和监控光探测器可以在光源的一侧与光源并排设置。
聚光和光路分离元件可以由聚光元件和光路分离元件构成。
聚光元件可以包括单个或多个使用的折射镜，衍射镜和倾斜率镜中的一种透镜，以及由这些透镜中的至少两种构成的复合棱镜。
光路分离元件可以包括全息光学元件(HOE)或衍射光学元件(DOE)。
光路分离元件可以包括偏振衍射元件和四分之一波片。
集成光学拾取器可以进一步包括具有小孔且设置在聚光元件和光路分离元件之间的隔板。
光具座可以具有其上放置有聚光和光路分离元件的阶梯部。
由于聚光元件和光具座形成于晶片上，互相联结，具被切割，超小光学拾取器以及提供有超小光学拾取器的光学信息存储设备可以低成本地批量生产。
参照附图，本发明的上述和其他特征和优点在对其典型实施例的详细描述中将会更加直观，其中附图1A是根据本发明第一优选实施例的光学拾取器的示意透视图；附图1B为图1A所示的光学拾取器的截面图；图2A是根据本发明的第二优选实施例的光学拾取器的示意透视图；图2B是图2A所示的光学拾取器的截面图；图3A是根据本发明的第三优选实施例的光学拾取器部分被切掉的透视图；图3B是图3A所示的光学拾取器的截面图；图4A是根据本发明的第四优选实施例的光学拾取器的示意透视图；图4B是图4A所示的光学拾取器的分解透视图；图5A是其上形成有物镜的聚光元件晶片的示意剖视图；图5B是其上形成有衍射光栅的光路分离晶片的示意剖视图；图6A是通过联结图5A和5B所示的晶片形成的聚光和光路分离元件晶片的示意透视图，圆A为聚光和光路分离元件晶片的局部放大视图；图6B是其上形成有光具座的光具座晶片的示意透视图，圆B为光具座的局部放大视图；图7是通过将图6A所示的晶片与图6B所示的晶片联结且接着切割晶片而形成光学拾取器组件的工序的示意图表。
图8是根据本发明的第五实施例的光学拾取器的示意截面图；图9是根据本发明的第六实施例的光学拾取器的示意截面图；图10是根据本发明的第七实施例的光学拾取器的示意截面图；图11是根据本发明的第八实施例的光学拾取器的示意截面图；
图12是根据本发明的第九实施例的光学拾取器的示意截面图；图13是用于说明根据图12所示的光学拾取器的偏振选择性光路分离元件的偏振进行的可选择衍射的示意截面图；图14是根据本发明的优选实施例的光学信息存储系统的配置的示意图表。
具体实施例方式
现在参考附图，本发明将得到更加详细地描述，其中将给出本发明的优选实施例。
图1A为根据本发明的第一优选实施例的透视图，且图1B为图1A所示的光学拾取器的截面图。
参考图1A和1B，光学拾取器30包括形成于晶片上且接着被联结的光具座31和聚光和光路分离元件37。光具座31具有底部34，第一侧部34c，和第二侧部34b。用于发射光的光源32和其上安装有光源32的第一底座34a被设置在光具座31的底部34。第一表面39，即用于将由光源32发射的光反射至光盘D的镜面，形成于光具座31的第一侧部34c。用于接收由光学信息存储介质即光盘D反射的光的主光探测器36a和36b，和设置在底部34的一侧的用于直接接收由光源32发射的光的监控光探测器38设置在光具座31的第二侧部34b上。聚光和光路分离元件37包括其上形成有衍射光栅33G的光路分离元件33和其上形成有物镜350的聚光元件35。
光具座31具有底表面和以第二和第一侧部34b和34c形成的侧表面。聚光和光路分离元件37形成在光具座31上方。这里，其上形成有物镜350的聚光元件37和其上形成有衍射光栅33G的光路分离元件33可以切割为小部分，且其上未形成物镜350和衍射光栅33G的聚光和光路分离元件37的其他部分可以由与光具座31相同的材料制成。
形成图1B所示的光路从而由光源32向前发射的光由第一表面反射，通过衍射光栅33G，被物镜350聚焦，接着向前至光盘D。进一步地，由光盘D反射的光通过物镜350，被衍射光栅33G衍射，接着向前至主光探测器36a和36b。同时，由光源32向后发射的光为监控光探测器38接收。
激光二极管通常用作光源32。特别地，发射具有蓝光波长例如405nm的波长的光的激光二极管用于在高-密度光盘上记录或再现信息。
全息光学元件(HOE)或衍射光学元件(DOE)可以用作形成于光路分离元件33上的衍射光栅33G。衍射光栅33G将由光盘D反射的光的光路与入射在光盘D上的光路分离。
物镜350为将朝向光盘D的光聚焦并在光盘D的记录表面上形成光点的光学元件，折射透镜，倾斜率透镜，和衍射透镜中的任一种可以被单独地或多个地用作物镜350，或由这些透镜中的至少两种构成的复合透镜可以用作物镜350。这里，GRIN透镜是一种折射率或轴向或径向变化的透镜。
当由至少两种折射透镜构成的复合透镜，GRIN透镜，和衍射透镜被用作物镜350时，复合透镜的镜片可以完成互补的功能从而可以最小化偏差，例如色差或球面象差。例如，波长越长，衍射透镜的衍射角越大且折射透镜的折射角越小。因此，当衍射透镜和折射透镜结合时，能够抑制根据光源32波长的色差。
图2A和图2B分别为根据本发明的第二优选实施例的光学拾取器的透视图和截面图。图2A和图2B所示的根据第二实施例的光学拾取器40在结构上与图1A至1B所示的第一实施例的光学拾取器30相似，但是不同之处在于第二和第一侧部44b和44c具有阶梯部，从而切割聚光和光学分离元件47以具有比光学拾取器30的聚光和光学分离元件37更小的宽度。
参考图2A和2B，附图标记41表示光具座，42表示光源，43表示光路分离元件，43G表示衍射光栅，44表示底部，44a表示第一底座，44b表示第二侧部，44c表示第一侧部，45表示聚光元件，46a和46b表示主光探测器，47表示聚光和光路分离元件，48表示监控光探测器，和49表示第一表面。
光学拾取器的光学元件以及根据第二优选实施例的光路的功能与根据第一优选实施例的光学拾取器30的相类似或相同。
图3A和3B分别为根据本发明的第三优选实施例的光学拾取器的透视图和截面图。参考图3A和3B，根据第三优选实施例的光学拾取器50不同于根据第一优选实施例的光学拾取器30，不同之处在于切割形成于晶片上的聚光和光路变换元件57以与物镜550的尺寸一致并插入到形成于粘附在光具座51上的隔板S1上的小孔内。
参考图3A和3B，附图标记52表示光源，53表示光路分离元件，53G表示衍射光栅，54表示底部，54a表示第一底座，54b表示第二侧部，54c表示第一侧部，55表示聚光元件，550表示物镜，56a和56b表示主光探测器，57表示聚光和光学分离元件，58表示监控探测器，59表示第一表面，和S1表示隔板。
光学拾取器50的光学元件及根据第三优选实施例的光路的功能与根据第一优选实施例的光学拾取器的相似或相同。
图4A和4B分别为根据本发明的第四优选实施例的光学拾取器的透视图和分解透视图。参考图4A和4B，根据第四优选实施例的光学拾取器60不同于根据第一优选实施例的光学拾取器30，不同之处在于光路分离元件63，隔板S2，和形成于晶片上的聚光元件65结合并切割以形成聚光和光路分离元件67。隔板S2具有形成于内的小孔H以将由衍射光栅63G衍射的光导向物镜650。进一步地，光源62和主光探测器66设置在光具座61的底表面上，且监控光探测器68设置在光源62后的第二侧部64b上。
参考图4A和4B，附图标记63表示光路分离元件，63G表示衍射光栅，64表示底部，64a表示第一底座，64b表示第二侧部，64c表示第一侧部，65表示聚光元件，650表示物镜，68表示主光探测器，和69表示第一表面。
形成光路从而由光源62发射的光从第一表面69上反射，通过光路分离元件63，隔板S2，和聚光元件65，聚焦在光盘D上。进一步地，由光盘D反射的光在右上光路的相反方向移动，从而它到达光路分离元件63的衍射光栅63G以被衍射光栅63G衍射，接着为主光探测器66接收。这里，根据第四优选实施例的光学拾取器60的光学元件的功能与根据第一优选实施例的光学拾取器30的相似或相同。
图5A至7示意地说明制造根据本发明的优选实施例的光学拾取器的方法。
图5A为其上形成有物镜750的聚光元件晶片75W的示意截面图。图5B是其上形成有衍射光栅73G的光路分离元件晶片73W的示意截面图。使用MEMS工序将物镜750和衍射光栅73G分别形成在聚光元件晶片75W和光路分离元件晶片73W上。
图6A是由将聚光元件晶片75W结合至光路分离元件晶片73W上形成的聚光和光路分离元件晶片77W的示意图表。圆A为聚光和光路分离元件77的聚光和光路分离元件77W的放大图。
图6B是其上形成有光具座71的光具座晶片71W的示意图表，且圆B是光具座71的局部放大视图。图7为通过将聚光和光路分离元件晶片77W结合至光具座71W上而形成光学拾取器组件70的步骤。
参照图5A至7给出的光学拾取器制造方法并不限定于上述实施例。例如，图6A所示的聚光和光路分离元件晶片77W和图6B所示的光具座晶片71W可以先分别切割，独立组装，接着接线和封装。或者，可以进一步进行图6B所示的光具座71上形成阶梯部的蚀刻工序，使得光具座具有如附图2A和2B所示的形状。光具座71也可以具有如将在以下被描述的根据第五至第七优选实施例中所示的光学拾取器的形状，且可以在不脱离本发明的范围和精神的情况下改变形状。
为了形成图1A和1B的光具座31，首先将光敏层涂在硅基片上，且将对应于放置有光源的底部图形的罩设置在硅基片上以进行暴光，显影和蚀刻工序来形成底部。电极图形形成在底部且光源32设置在底表面上，接着主探测器36a和36b以及监控探测器38安装在第二侧部34b上，接着，连接导线至光源32，主光探测器36a和36b，以及监控探测器38。聚光和光路分离元件结合在光具座上以进行封装，由此完成光学拾取器。
图8是根据本发明的第五优选实施例的光学拾取器的示意截面图。根据第五实施例的光学拾取器80不同于根据第四实施例的光学拾取器60，不同之处在于监控探测器88设置在底部84上且棱镜P进一步插入在光源82和监控光探测器88之间以将由光源82发射的光导向至监控光探测器88，由此最大限度地避免由主光探测器86接收的光的光学干涉。
参考图8，附图标记81表示光具座，82表示光源，83表示光路分离元件，83G表示衍射光栅，84表示底部，84a表示第一底座，84b表示第二侧部，84c表示第一侧部，85表示聚光元件，850表示物镜，86表示主光探测器，87表示聚光和光路分离元件，88表示监控光探测器，及89表示第一表面。
光学拾取器80的光学元件和根据第五优选实施例的光路的功能与根据第四优选实施例的相似或相同。
图9是根据本发明的第六实施例的光学拾取器示意截面图。
参考图9，光学拾取器90包括在其一侧形成有阶梯部的光具座91，和插入在光具座91和光盘D之间的聚光和光路分离元件97。光源92设置在光具座91的阶梯部的一侧表面上。监控光探测器98形成在光源92下的光具座91的底表面上。主光探测器96设置在光具座91的底表面上以预定的距离与监控光探测器98相间隔。光路分离元件93和聚光元件95依次地结合以连续地排列衍射光栅93G和物镜950，从而聚光和光路分离元件97设置在面向光具座91底部94的顶表面上。
由光源92发射的光通过衍射光栅93G接着被物镜950折射以聚焦在光盘D上。由光盘D反射的光以相反的顺序前进以预定的角度被衍射光栅93G衍射并接着被主光探测器接收。
图10为根据本发明的第七优选实施例的光学拾取器的示意截面图。根据本发明的第七优选实施例的光学拾取器100不同于根据第一优选实施例的光学拾取器30，不同之处在于主光探测器106和监控光探测器108形成在光具座101上方，更特别地，形成于面向底部104并形成在第二和第一侧部104b和104c的支撑部104d的底表面上。支撑部104d可以为具有聚光和光路分离元件107所插入的小孔的隔板。可选择地，支撑部104d可以为聚光和光路分离元件107的延伸部分。
具有第一表面109a的第一侧部104c形成在光源和聚光和光路分离元件107之间。第二侧部104b的第二表面109b，即镜面，将由光源102发射的光导向至监控光探测器108，且也将由光盘D反射、通过聚光和光路分离元件107，接着由第一表面109a反射的光导向至主光探测器106。
参考图10，附图标记103表示光路分离元件，103G表示衍射光栅，104表示底部，104a表示第一底座，104b表示第二侧部，104c表示第一侧部，105表示聚光元件，107表示聚光和光路分离元件，和1050表示物镜。
图11是根据本发明的第八优选实施例的光学拾取器的示意截面图。根据第八优选实施例的光学拾取器110不同于根据第七优选实施例的光学拾取器，不同之处在于光源112也设置在光具座111上，即，在支撑部114d的底表面上，且光具座并不具有底表面。用于校直光的准直器，用于将光分离为不同光路的多个光束的衍射光栅，或用于将具有椭圆截面的光成形为具有圆形截面的光的光成形元件112a，例如光束成形器，可以进一步设置在光源112的前面。
与根据本发明的第七优选实施例的光学拾取器100类似，第一表面119形成在光具座111和聚光和光路分离元件117之间的第一侧面部上。第二表面形成在光具座111的第二侧面部114b上，并适宜于将由光源112发射的光导向至监控光探测器118并将由光盘D反射、通过聚光和光路分离元件117，并由第一表面119a反射的光导向至主光探测器106。
参考图11，附图标记113表示光路分离元件，113G表示衍射光栅，114a表示第一底座，114b表示第二侧部，114c表示第一侧部，115表示聚光元件，1150表示物镜，116表示主光探测器，和118表示监控光探测器。
同时如附图12所示，根据本发明的光学拾取器可以包括代替具有衍射光栅的光路分离元件的偏振可选择光路分离元件123。
偏振选择光路分离元件123包括偏振衍射元件123a，即偏振全息元件，其根据入射光的偏振直接传输或衍射入射光，和四分之一波片123b，其改变入射光的偏振。
用作光源32的半导体激光器发射具有较高线性偏振成分的激光。相应地，半导体激光器发射近似s-偏振或p-偏振的光。
因此，当偏振衍射元件123传输由光源32发射的线性偏振光时，如果已经通过偏振衍射元件123a传输的光通过了四分之一波片123b，它变为第一圆形偏振光。第一圆形偏振光由光盘D上反射且由此变为与第一圆形偏振光成直角的第二圆形偏阵光。当第二圆形偏振光通过四分之一波长123b时，其变为第一圆形偏振光，接着被偏振衍射元件123a衍射。
结果，偏振光可选择衍射和光路分离元件123能够将直接指向光盘D的光的光路与由光盘D反射的光的光路分离。
虽然图12表示使用偏振可选择光路分离元件代替图1B中的用于光学拾取器的光路分离元件33，偏振可选择光路分离元件可以应用于前述的其他实施例中。既然偏振可选择光路分离元件123的应用可以参照附图12和13很好地推导得出，因此详细的解释和说明将不给出。
根据本发明的光学拾取器的多个优选实施例已经参考附图解释。然而在不脱离本发明中由如下述中的权利要求所限定的精神和范围的情况下，多种形式和细节上的变化可以在其中给出。
即，根据优选实施例的光学拾取器被举例说明，且相应地，聚光元件和光具座内的光学元件的排列可以变化。
图13是包括根据本发明的优选实施例的光学拾取器的光学信息存储系统的设置的示意图表。
参考图13，光学信息存储系统包括用于旋转光盘D的主轴电动机205，被安装以在光盘D的径向方向上可移动且适宜于再现记录在光盘D上的信息和/或记录信息的光学拾取器200，用于驱动主轴电动机205和光学拾取器200的驱动单元204，和用于控制光学拾取器的聚焦/跟踪伺服的控制器206。
光学拾取器200包括在聚焦和跟踪方向上驱动被安装的物镜的致动器。附图标记203表示其上安装有光盘D的转台，且附图标记201表示用于夹住该光盘D的夹具。
探测的以及由光学拾取器200光电转换的信号通过驱动单元204输入至控制器206。驱动单元204控制主轴电动机205的旋转速度，放大输入信号，并驱动光学拾取器200。基于由驱动单元204的输入信号控制的控制器206再次发送聚焦和跟踪伺服指令至驱动单元204以进行聚焦和跟踪伺服功能。
根据本发明，超小集成光学拾取器可以在晶片上高可靠性地制造，从而为将来的光学拾取器批量低成本的制造辅平了道路。包括光学拾取器的光学信息存储系统可以实现为可携带的一种。
特别地，虽然本发明参考其典型实施例已得到详细说明和描述，本领域技术人员可以理解在不脱离本发明中由下述权利要求所限定的精神和范围的情况下，各种在形式和细节上的变化可以做出。
权利要求
1.集成光学拾取器，包括光源；主光探测器，其接收由光源发射以及由光信息存储介质反射的光；聚光和光路分离元件，其将由光源发出的光聚焦在光学信息存储介质上且将入射在光学信息存储介质上的光的光路与由光学信息存储介质反射的光的光路分离；和光具座，其联结至聚光和光路分离元件，光路形成在光源和主光探测器、聚光和光路分离元件之间，且光具座和聚光和光路分离元件分别地形成于一晶片上且接着通过分离为多个组件获得。
2.如权利要求1的集成光学拾取器，其中所述光具座包括具有用于将由光源发射的光反射至聚光和光路分离元件的第一表面的第一侧部。
3.如权利要求2的集成光学拾取器，其中光源设置在光具座的底部，且主光探测器或者设置在光具座的底部，或者设置在相对于第一侧部的第二侧部上。
4.如权利要求3的集成光学拾取器，其特征在于，进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，其中监控光探测器设置在与主光探测器相同的平面上，或者主光探测器设置在底面和光具座的第二侧部中的一个上且监控光探测器设置在剩余的一个上。
5.如权利要求3的集成光学拾取器，其特征在于，进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，其中主光探测器和监控光探测器设置在光具座的底部以位于光源的两侧。
6.如权利要求5的集成光学拾取器，其特征在于，进一步包括一棱镜，其插入在光源和监控光探测器之间以使得由光源发射的光入射在监控光探测器上。
7.如权利要求2的集成光学拾取器，其特征在于，所述光源设置在光具座的底部且主光探测器设置在面向底部的支撑部上且位于光具座上；其中光具座进一步包括位置上与第一侧部位置相对、且具有用于将由光学信息存储介质和第一表面反射的光朝向主光探测器反射的第二表面的第二侧部。
8.如权利要求7的集成光路拾取器，进一步包括监控光探测器，其设置在支撑部上以监控光源的光强度。
9.如权利要求7的集成光路拾取器，其中支撑部或者为聚光和光路分离元件的延伸部分或者为聚光和光路分离元件所插入的隔板。
10.如权利要求2的集成光路拾取器，其中光源和主光探测器设置在与光具座联结的支撑部上，其中光具座进一步包括第二侧部，其在位置上与第一侧部相对且具有用于将由光源发射的光反射至第一表面的第二表面。
11.如权利要求10的集成光路拾取器，其中支撑部或者为聚光和光路分离元件的延伸部分或者为聚光和光路分离元件所插入的隔板。
12.如权利要求10的集成光路拾取器，其中光具座在一底部具有敞开结构。
13.如权利要求1的集成光路拾取器，其中进一步包括监控光探测器，其监控光源的光强度，其中主光探测器和监控光探测器在光源一侧与光源并排。
14.如权利要求1的集成光路拾取器，其中聚光和光路分离元件由聚光元件和光路分离元件构成。
15.如权利要求14的集成光路拾取器，其中聚光元件包括被单个地或多个地使用的折射透镜，衍射透镜，和倾斜率透镜中的一个，和由这些透镜中的至少两种构成的复合透镜。
16.如权利要求14的集成光路拾取器，其中光路分离元件包括全息光学元件(HOE)或衍射光学元件(DOE)。
17.如权利要求14的集成光路拾取器，其中光路分离元件包括偏振衍射元件和四分之一波片。
18.如权利要求14的集成光路拾取器，其特征在于，进一步包括具有小孔且设置在聚光元件和光路分离元件之间的隔板。
19.如权利要求1的集成光路拾取器，其中光具座具有其上放置有聚光和光路分离元件的阶梯部。
20.制造如权利要求1至19任一的集成光学拾取器的方法，该方法包括准备其上形成有光具座的光具座晶片和其上形成有聚光和光路分离元件的聚光和光路分离元件晶片；将聚光和光路分离元件晶片联结至光具座晶片上以形成集成光学拾取器组件晶片，切割光学拾取器组件晶片以形成集成光学拾取器组件；和接线并封装该集成光学拾取器组件。
21.制造如权利要求1至19任一的集成光学拾取器的方法，该方法包括准备其上形成有光具座的光具座晶片和其上形成有聚光和光路分离元件的聚光和光路分离元件晶片；切割聚光和光路分离元件晶片和光具座晶片并将切割而得的聚光和光路分离元件与光具座联结起来以形成集成光学拾取器；和接线并封装集成光学拾取器组件。
22.光学信息存储系统，包括权利要求1至19任一的集成光学拾取器；光学信息存储介质旋转单元，其旋转光学信息存储介质；驱动单元，其驱动光学拾取器和光学信息存储介质驱动单元；和控制器，其控制驱动单元以控制聚焦和跟踪伺服。
全文摘要
提供一种集成光学拾取器及其制造方法，以及包括该光学拾取器的光学信息存储系统。集成光学拾取器包括光源；主光探测器，用于接收由光源发射以及从信息存储介质反射的光；聚光和光路分离元件，用于将由光源发射的光聚焦在光学存储介质上并将入射在光学信息存储介质上的光的光路和由光学信息存储介质反射的光的光路分离；和光具座，其联结至聚光和光路分离元件，光路形成于光源和主光探测器、和聚光和光路分离元件之间，且光具座和聚光和光路分离元件分别形成于晶片上接着通过分离成多个组件获得。超小集成光学拾取器和包括光学拾取器的光学信息存储系统可以低成本批量地制造。
文档编号G11B7/22GK1551159SQ200410045118
公开日2004年12月1日 申请日期2004年5月9日 优先权日2003年5月9日
发明者孙镇升, 李明馥, 郑美淑, 赵恩亨 申请人:三星电子株式会社