制造有机el显示器的方法

专利名称：制造有机el显示器的方法
技术领域：
本发明涉及一种用于制造能够进行多种颜色显示的有机EL显示器的方法。这种有机EL显示器可以应用于图像传感器、个人计算机、字处理器、电视机、传真机、音频设备、视频记录装置、汽车导航器、电子计算器、电话、移动终端以及工业仪器。
背景技术：
为了进行多种颜色或全彩色显示，近年来已经对色变换系统进行了研究，该色变换系统使用了一种含色变换染料的滤色片，其中色变换染料吸收近紫外光、蓝光、蓝绿光或白光，改变这些光的波长分布，并且发射可见光范围内的光线(专利文献1和2)。因为在色变换系统中光源所发射的光线并不限于白光，所以可以更自由地选择光源。例如，可以使用发射蓝光的有机EL发光器件，在改变波长分布之后便可以获得绿光和红光。因此，已经研究过制造一种允许使用更高效的光源并提供全彩色自发光显示的显示器的可能性，这种显示器只使用近紫外光到可见光范围中较弱的光能线(专利文献3)。
除了明确的色彩显示性能和包括色彩再现性在内的长期稳定性以外，彩色显示器中主要的实际问题还包括要提供呈现出高色变换效率的色变换滤色片。然而，如果增大色变换染料的浓度以便增大色变换效率，则该效率会因所谓的浓度淬灭而减小，并且随着时间的流逝色变换染料会分解。在现有技术中，为了解决这个问题，可增大含色变换染料的色变换层的厚度，以便获得期望的色变换效率。为了避免浓度淬灭和色变换染料的分解现象，已经进行了许多研究，其中将大取代基引入色变换染料的芯中(专利文献4到6)。也研究了淬灭剂的混合，以防止色变换染料分解(专利文献7)。还研究了另一种手段，即用像蒸镀这样的干法来形成色变换染料膜(专利文献8)。
(专利文献1)公布号为H08-279394且未经审查的日本专利(专利文献2)公布号为H08-286033且未经审查的日本专利(专利文献3)公布号为H09-80434且未经审查的日本专利(专利文献4)公布号为H11-279426且未经审查的日本专利(专利文献5)公布号为2000-44824且未经审查的日本专利(专利文献6)公布号为2001-164245且未经审查的日本专利(专利文献7)公布号为2002-231450且未经审查的日本专利(专利文献8)公布号为H3-152897且未经审查的日本专利(专利文献9)公布号为2004-115441且未经审查的日本专利(专利文献10)公布号为2003-212875且未经审查的日本专利(专利文献11)公布号为2003-238516且未经审查的日本专利(专利文献12)公布号为2003-81924且未经审查的日本专利(专利文献13)公布号为WO2003/048268的国际专利申请，对应于US2004/0151944A1为了使用色变换系统来获取高清晰度多色彩或全色彩显示，必须非常确切地对色变换层进行图形化处理。然而，对于图案所具有的宽度小于膜厚度的图形化处理的情况，可能会在后续处理过程中出现图案再现性问题和图案变形问题。另外，针对各种颜色的每一个色变换层，正常的光刻图形化都需要施加步骤、伴有掩模对齐的曝光步骤以及显影步骤。全色彩显示至少需要红色、绿色和蓝色变换层。所以，生产全色彩显示器的过程需要多个步骤并且相当复杂。当用干法形成的色变换染料膜被用作色变换层时，可以通过掩模蒸镀方法来执行图形化处理。然而，掩模蒸镀方法需要在真空中进行高精度对齐。那是非常难的工艺，并且在清晰度和可用的基片尺寸方面存在限制。

发明内容
因此，本发明的一个目的在于，提供一种制造有机EL显示器的方法，其中制造过程得到简化且实现了高清晰度的图形化处理。
在根据本发明实施例的第一方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干法在上述n种滤色层上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；在该染料层上形成具有多个独立发光单元的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及被置于第一和第二电极之间的有机EL层；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数l到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
用染料分解光曝光可以进行多次，并且多次曝光所用的至少一束染料分解光包括使第m种色变换染料分解的波长成分。在用染料分解光曝光的步骤中，可以将偏压施加到多个独立的发光元件上。可以对所有的或部分独立发光元件施加偏压，并且该偏压可以是正向偏压或反向偏压。也可以交替施加正向偏压和反向偏压。该方法可以进一步包括如下步骤在向多个独立发光元件施加正向偏压的过程中，监控有机EL显示器的发射谱；以及根据该发射谱来控制染料分解光的量。在用染料分解光曝光的步骤中，可以对透明基片进行加热。
在根据本发明实施例的第二方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在这n种滤色层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；通过干法在有机EL器件上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；在该染料层上形成反射层；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数l到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
用染料分解光曝光可以进行多次，并且多次曝光所用的至少一束染料分解光包括使第m种色变换染料分解的波长成分。在用染料分解光曝光的步骤中，可以将偏压施加到多个独立发光元件上。可以对所有的或部分独立发光元件施加偏压，并且该偏压可以是正向偏压或反向偏压。也可以交替施加正向偏压和反向偏压。该方法可以进一步包括如下步骤在向多个独立发光元件施加正向偏压的过程中，监控有机EL显示器的发射谱；以及根据该发射谱来控制染料分解光的量。在用染料分解光曝光的步骤中，可以对透明基片进行加热。
在根据本发明实施例的第三方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干法在这n种滤色层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及有机EL层，该有机EL层至少包括有机发光层和置于第一和第二电极之间的载流子输运染料层，而载流子输运染料层至少包括(n-1)种色变换染料；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使载流子输运染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种载流子输运色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
用染料分解光曝光可以进行多次，并且多次曝光所用的至少一束染料分解光包括使第m种色变换染料分解的波长成分。在用染料分解光曝光的步骤中，可以将偏压施加到多个独立发光元件上。可以对所有的或部分独立发光元件施加偏压，并且该偏压可以是正向偏压或反向偏压。也可以交替施加正向偏压和反向偏压。该方法可以进一步包括如下步骤在向多个独立发光元件施加正向偏压的过程中，监控有机EL显示器的发射谱；以及根据该发射谱来控制染料分解光的量。在用染料分解光曝光的步骤中，可以对透明基片进行加热。
在根据本发明实施例的第四方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在这n种滤色层上形成染料层，该染料层包含分散在树脂中的(n-1)种色变换染料；在该染料层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
用染料分解光曝光可以进行多次，并且多次曝光所用的至少一束染料分解光包括使第m种色变换染料分解的波长成分。在用染料分解光曝光的步骤中，可以将偏压施加到多个独立发光元件上。可以对所有的或部分独立发光元件施加偏压，并且偏压可以是正向偏压或反向偏压。也可以交替施加正向偏压和反向偏压。该方法可以进一步包括如下步骤在向多个独立发光元件施加正向偏压的过程中，监控有机EL显示器的发射谱；以及根据该发射谱来控制染料分解光的量。在用染料分解光曝光的步骤中，可以对透明基片进行加热。
在根据本发明实施例的第五方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在第二基片上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；在该有机EL器件上形成包含(n-1)种色变换染料的染料层；将透明基片和第二基片组合起来，使得滤色层与染料层对置；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
用染料分解光曝光可以进行多次，并且多次曝光所用的至少一束染料分解光包括使第m种色变换染料分解的波长成分。在用染料分解光曝光的步骤中，可以将偏压施加到多个独立发光元件上。可以对所有的或部分独立发光元件施加偏压，并且该偏压可以是正向偏压或反向偏压。也可以交替施加正向偏压和反向偏压。该方法可以进一步包括如下步骤在向多个独立发光元件施加正向偏压的过程中，监控有机EL显示器的发射谱；以及根据该发射谱来控制染料分解光的量。在用染料分解光曝光的步骤中，可以对透明基片和第二基片中的至少一个基片进行加热。
如上所述构成的本发明的制造方法可以形成因自对准而具有高清晰度的色变换层，这种自对准是由充当掩模的滤色层来确保的。通过将滤色层和色变换层组合起来，便可以实现色变换效率很高的色变换滤光片。本发明的方法不再需要通过光刻或掩模蒸镀对色变换层进行图形化处理，由此缩减了制造步骤。因为整体构成的染料层的部分区域被转换成色变换层，所以色变换层和周围的层(例如透明层)便可以形成整体式的单层膜。因此，即使在形成比膜厚度还要窄的色变换层的情况下，也可以避免色变换层的变形。因此，用本发明的方法可以制造用在微显示中的显示器(例如，摄像机中的取景器)。


图1(a)到图1(c)示意性地示出了根据实施例第一方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤；图2(a)到图2(c)示意性地示出了根据实施例第二方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤；图3(a)到图3(c)示意性地示出了根据实施例第三方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤；图4(a)到图4(c)示出了在根据实施例第三方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤中有机EL层的示意性结构；图5(a)到图5(c)示意性地示出了根据实施例第四方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤；图6(a)和图6(b)示出了用于构成实施例第五方面的有机EL显示器的层压体，其中图6(a)示意性地示出了透明基片/滤色层的层压体，而图6(b)则示出了第二基片/有机EL器件/染料层的层压体；以及图7(a)和图7(b)示意性地示出了根据实施例第五方面的制造有机EL显示器的方法的诸步骤。
符号描述1透明基片
2a，2b，2c滤色层3染料层4a，4b色变换层5透明层10有机EL器件11，11a，11b透明电极12，12a，12b有机EL层13反射电极31反射层32平整化层41空穴注入性染料层42a，42b空穴注入性色变换层43空穴输运层44空穴注入层45有机发光层47电子输运层49电子注入层50，51a，51b，51c染料分解光63染料层(含树脂)v64a，64b色变换层(含树脂)71第二基片72开关器件73平整化绝缘层74绝缘膜75钝化层80粘合层具体实施方式
在根据本发明实施例的第一方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在这n种滤色层上形成染料层，该染料层包含(n-1)种色变换染料；在该染料层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。图1示出了在有三种滤色层和两种色变换染料的情况下(n＝3)有机EL显示器的示例性结构。在图1的结构中，第一电极是透明电极11，而第二电极是反射电极13。
透明基片1必须对可见光(波长范围为400纳米到700纳米)透明，最好对色变换层所变换出的光也透明。透明基片1必须忍耐在形成滤色层和上层以及所需的其它层(下文会描述)的过程中的各种条件(溶剂、温度等)。期望该基片能呈现出良好的尺寸稳定性。用于透明基片1的较佳材料包括玻璃和树脂，比如聚(对苯二甲酸乙二醇酯)和聚(丙烯酸甲酯)。尤其受欢迎的是硼硅酸盐玻璃和蓝板玻璃。
滤色层只透射所期望的波长区域中的光。在成品色变换滤光片中，滤色层截止了来自光源的不在色变换层的变换波长分布中的光，并且有效地提高了色变换层的变换波长分布中的光的色纯度。在本发明中，可以使用2到6种滤色层。根据透过滤色层的光的波长区域中从最长波长到最短波长的顺序，本发明说明书中的诸滤色层可被称为第一、第二……和第n滤色层。如图1所示，本发明赞成按从长波长到短波长的顺序使用第一滤色层2a(红色)、第二滤色层2b(绿色)以及第三滤色层2c(蓝色)。在使染料层图形化以便在色变换层形成过程的在后步骤中形成色变换层的过程中，本实施例方面中的滤色层充当掩模。
滤色层2a、2b和2c包含色变换染料和感光树脂。较佳的色变换染料选自呈现出足够的光稳定性的多种色素。较佳的感光树脂包括(1)由含丙烯酰基基团或甲基丙烯酰基基团的丙烯酸多官能单体和低聚物与光聚合引发剂构成的组合物，(2)由聚(肉桂酸乙烯酯)和光敏化剂构成的组合物，(3)由直链或环链烯烃和双叠氮化物(产生氮宾以便与链烯烃交联)构成的组合物。可以用买来的用于液晶器件的滤色材料来形成滤色层(例如，FUJIFILM电子材料有限公司生产的Color Mosaic)。
滤色层2a、2b和2c的厚度介于1到2.5微米的范围中，最好介于1到1.5微米的范围中，这取决于色变换染料的含量。该范围中的膜厚度允许高分辨率的图形化，在色变换层形成过程中滤色层充当掩模，并且给出对成品滤光片足够的透射谱。
染料层3包含(n-1)种色变换染料，并且是通过干法形成的。本实施例方面的色变换染料对入射光进行波长分布变换，并且发射透射滤色层的波长区域中的光。在图1所示n＝3的情形中，染料层3包含第一色变换染料和第二色变换染料。第一色变换染料对蓝到蓝绿光进行波长分布变换，并且发射可穿透第一滤色层2a的波长区域中的光(该光是红光)，而第二色变换染料发射可穿透第二滤色层2b的波长区域中的光(该光是绿光)。穿透第一滤色层2a的波长区域中的光不使第一色变换染料分解，而没有穿透第一滤色层2a的波长区域中的光使第一色变换染料分解(该光通常位于较短波长区域)。穿透第二滤色层2b的波长区域中的光不使第二色变换染料分解，而没有穿透第二滤色层2b的波长区域中的光使第二色变换染料分解(该光通常位于较短波长区域)。通常，第m种色变换染料(m是整数1到n-1)对蓝到蓝绿光进行波长分布变换，并且发射可穿透第m种滤色层的波长区域中的光；穿透第m种滤色层的波长区域中的光不使第m种色变换染料分解，而没有穿透第m种滤色层的波长区域中的光使第m种色变换染料分解。通常，比穿透第m种滤色层的光的波长区域要短的波长区域中的光会使第m种色变换染料分解。重要的是，每一种色变换染料在光化学分解反应中不产生有色分解产物。严格要求色变换染料的分解产物在从色变换染料的波长分布变换中获得的波长区域内不呈现出吸收。如果该波长区域内的光被吸收，则色变换效率会下降。即使该波长区域内的光不被吸收，任何有色分解产物还是不希望有的，因为它会给显示器带来不想要的着色。
吸收蓝到蓝绿光、并发射红光的色变换染料(图1所示示例中的第一色变换染料)可以选自若丹明染料，例如若丹明B、若丹明6G、若丹明3B、若丹明101、若丹明110、磺基若丹明、碱性紫11或碱性红2；花青染料，例如4-二氰基亚甲基-2-甲基-6-(对二甲基氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM-1:I)、DCM-2(II)或DCJTB(III)；吡啶染料，例如高氯酸1-乙基-2-[4-(对二甲基氨基苯基)-1，3-丁二烯基]-吡啶鎓(吡啶1)；噁嗪染料；以及用于发射红色光的材料的染料，例如4，4-二氟-1，3，5，7-四苯基-4-硼杂-3a，4a-二氮杂-对称引达省(s-indacene)(IV)和尼罗红(V)。
〔化学分子式1〕
吸收蓝到蓝绿光、并发射绿光的色变换染料(图1所示示例中的第二色变换染料)可以选自香豆素染料，例如3-(2’-苯并噻唑基)-7-二乙基氨基-香豆素(香豆素6)，3-(2’-苯并咪唑基)-7-二乙基氨基-香豆素(香豆素7)，3-(2’-N-甲基苯并咪唑基)-7-二乙基氨基-香豆素(香豆素30)，2，3，5，6-1H，4H-四氢-8-三氟甲基喹啉(quinolidine)(9，9a，1-gh)香豆素(香豆素153)，一类香豆素染料碱性黄51，以及萘二甲酰亚胺染料，例如溶剂黄11和溶剂黄116。
本实施例的染料层3是通过干法形成的。具体来讲，通过在滤色层上蒸镀(n-1)种色变换染料，便可以形成染料层3。其它材料可以与色变换染料一起蒸镀，以便改善所蒸镀的染料层3的粘合性或从染料层转变而成的色变换层的粘合性。可以与色变换染料一起蒸镀的材料包括例如铝络合物，如三(8-羟基喹啉合)铝(Alq3)和三(4-甲基-8-羟基喹啉合)铝(Almq3)；4，4’-二(2，2-二苯基乙烯基)联苯(DPVBi)；和2.5-二-(5-叔丁基-2-苯并噁唑基(benzoxazoril))噻吩。所述实施方式这个方面的染料层优选仅由(n-1)种颜色变换染料组成，或者由(n-1)种颜色变换染料和一种或多种上述共蒸镀材料组成。
染料层3形成为覆盖滤色层，且厚度介于100纳米到1微米的范围中，在150纳米到600纳米的范围中更佳。染料层3可通过蒸镀方法、干法形成，并且在干法过程中被转变为色变换层，这在下文中再描述。因此，不可能包含使有机EL器件性能恶化的湿气。
对于波长在400到800纳米之间的光而言，期望透明电极的透明度至少为50％，大于85％更佳。透明电极11可以由从ITO(氧化铟锡)、氧化锡、氧化铟、IZO(氧化铟锌)、氧化锌、氧化锌铝、氧化锌镓等中选出的导电透明金属氧化物构成，这些氧化物都掺有氟、锑等掺杂剂。形成透明电极11的方法可以从蒸镀方法、溅射方法和化学汽相沉积(CVD)方法中选择，溅射方法较佳。当如下文所描述的那样需要多个电极元件用于透明电极11时，首先在整个表面上均匀地形成一层导电透明金属氧化物，然后对其进行蚀刻从而给出想要的图形，形成由多个电极元件组成的透明电极11。或者，用掩模来形成包括多个电极元件的透明电极11，从而给出想要的图形。
上述材料构成的透明电极11适合用作阳极。当这种电极用作阴极时，在有机EL层12的界面处最好设置阴极缓冲层，以提高电子注入效率。用于阴极缓冲层的材料可以选自(但不限于)下列碱金属，比如Li、Na、K和Cs；碱土金属，比如Ba和Sr；含这些金属的合金；稀土金属；以及这些金属的氟化物。考虑到驱动电压和透明度，可以适当选择阴极缓冲层的厚度，而一般情况下小于10纳米较佳。
有机EL层12具有一种结构，该结构至少包括有机发光层以及必需的空穴注入层、空穴输运层、电子输运层和/或电子注入层。还可能使用呈现出空穴注入和空穴输运两种功能的空穴注入-输运层以及呈现出电子注入和电子输运两种功能的电子注入-输运层。有机EL器件的特定层结构可以从下列中选出。
(1)阳极/有机发光层/阴极(2)阳极/空穴注入层/有机发光层/阴极(3)阳极/空穴注入层/有机发光层/阴极(4)阳极/空穴注入层/有机发光层/电子注入层/阴极(5)阳极/空穴输运层/有机发光层/电子注入层/阴极(6)阳极/空穴注入层/空穴输运层/有机发光层/电子注入层/阴极(7)阳极/空穴注入层/空穴输运层/有机发光层/电子输运层/电子注入层/阴极此处，每一个阳极和阴极都是透明电极11或反射电极13。
组成有机EL层12的材料可以从已知的材料中选择。为了获得蓝光到蓝绿光发射，有机发光层可以包含荧光增亮剂，比如苯并噻唑、苯并咪唑或苯并噁唑、金属螯合氧化合物、苯乙烯基苯化合物或芳族二次甲基(dimethylidine)化合物。
所述电子传输层可以由以下物质组成噁二唑衍生物、例如2-(4-联苯基)-5-(对叔丁基苯基)-1，3，4-噁二唑PBD，三唑衍生物，三嗪衍生物，苯基-喹喔啉，或铝-喹啉醇络合物(例如Alq3)。所述电子注入层的组成物质除了上述用于电子传输层的材料以外，还可包括用碱金属或碱土金属掺杂的铝-喹啉醇络合物。
用于空穴传输层的材料可选自己知的材料，包括三芳基胺化合物，例如4，4’-二[N-(3-甲苯基)-N-苯基氨基]联苯(TPD)，4，4’-二[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]-联苯(α-NPD)，和4，4’，4”-三(N-3-甲苯基-N-苯基氨基)三苯基胺(m-MTDATA)。用于空穴注入层的材料可选自铜酞菁之类的酞菁化合物，以及阴丹士林化合物。
反射电极13最好由高反射率金属、非晶合金或微晶合金构成。高反射率金属包括Al、Ag、Mo、W、Ni和Cr。高反射率非晶合金包括NiP、NiB、CrP和CrB。高反射率微晶合金包括NiAl。反射电极可以用于阴极或阳极。当反射电极被用于阴极时，可以在反射电极13和有机EL层12之间的交界处设置上述的阴极缓冲层，以提高电子注入到有机EL层内的注入效率。通过向高反射率金属、合金或微晶合金添加低功函数材料，也可以提高电子注入效率。该低功函数材料可以选自碱金属锂、钠和钾以及碱土金属钙、镁和锶。当反射电极13被用于阳极时，可以在反射电极13和有机EL层12的交界处设置上文提到的一层导电透明金属氧化物，以提高空穴注入到有机EL层内的注入效率。
反射电极13可以通过本领域已知的任何与所用材料相对应的手段来形成，比如蒸镀(电阻加热或电子束加热)、溅射、离子电镀或激光磨蚀。当如下文所述反射电极13需要由多个电极元件构成时，用于给出所期望的结构的掩模可以被用于形成由多个电极元件构成的反射电极13。
下文进一步详细描述在使用三种滤色层2a、2b和2c以及含两种色变换染料的染料层3的情形(n＝3的情形)中，用染料分解光50形成色变换层的过程。
图1(a)示出了一种包括三种滤色层2a、2b和2c的结构，该结构形成于透明基片1上。有机EL器件具有多个独立发光元件，并且至少包括透明电极11、有机EL层12和反射电极13。
如图1(b)所示，染料分解光50从透明基片1那一侧照射过来，以便在染料层3中形成色变换层4a和4b。因为染料层是在与特定类型的滤色层对齐的情况下形成的，所以染料分解光50需要垂直于染料层3照射，因此也垂直于透明基片1。
第三滤色层2c透射最短波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51c使第一和第二色变换染料分解。结果，如图1(c)所示，在第三滤色层2c上形成了不含色变换染料的透明层5。第二滤色层2b透射中等波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51b使第一色变换染料分解，但不使第二色变换染料分解。结果，如图1(c)所示，在第二滤色层2b上形成了含第二色变换染料的第二色变换层4b。第一滤色层2a透射最长波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51a既不使第一色变换染料分解，也不使第二色变换染料分解。结果，如图1(c)所示，在第一滤色层2a上形成了包含第一色变换染料(和第二色变换染料)的第一色变换层4a。
在各滤色层之间的区域，染料分解光50直接透射而过。结果，使染料层3分解，形成了与滤色层2c上的区域相似的透明层5。
当滤色层2a、2b和2c是红(2a)、绿(2b)和蓝(2c)滤色层并且第一和第二色变换染料分别是红色和绿色变换染料时，染料分解光50最好包括介于500到600纳米范围中的波长成分以及短于500纳米范围中的波长成分，更佳的是，该光线包括介于500到600纳米范围中的波长成分和450到500纳米范围中的波长成分。本情形中的染料分解光50可以是包括450到650纳米范围中的波长成分的光线(即白光)。该波长范围中所选定的光线可以有效地将染料层转变为色变换层，同时又不对染料层3上所形成的有机EL层带来任何不利的影响。包含红色和绿色变换染料的红色变换层4a形成于红滤色层2a上，包含绿色变换染料的绿色变换层4b形成于绿滤色层2b上。在蓝滤色层2c上以及各滤色层之间的区域，形成了透明层5。通过使用如此形成的滤色层2a、2b和2c以及色变换层4a和4b，便可以对有机EL层发出的蓝到蓝绿光执行波长分布变换，从而提供了能够进行全色彩显示的有机EL显示器。
用于曝光的染料分解光50至少包括使第一色变换染料和第二色变换染料分解的成分。此外，染料分解光50最好不要包括作用于构成有机EL层12的材料的波长成分。例如，不期望染料分解光50包括紫外光成分。与染料分解光所形成的色变换层执行波长分布变换时所用的光相比，曝光所用的染料分解光50需要具有更高的强度。在接收入射光的透明基片的表面上，所希望的强度至少为0.05W/cm2，1W/cm2或更大些则更佳，尽管这都取决于所使用的色变换染料。曝光时间取决于针对色变换染料所期望的分解度，并且可以由本领域的技术人员大致估计出。通过使用这种强光，可以使期望区域中的色变换染料分解。
一种可选的方法使用了各自具有不同波长分布的多种染料分解光，并且为照射这多种染料分解光执行多个步骤。这多种染料分解光中的每一种都包括使染料层3中所包含的至少一种色变换染料分解的波长成分。此外，每一种色变换染料被这多种染料分解光中的至少一种所包含的某一波长成分分解。用于照射多种染料分解光的多个步骤(尽管会使步骤数目增大)允许每一步骤使用波长区域更窄且强度更高的光源。因此，有可能缩短照射过程所用的时间，或选择每一种色变换染料进行最佳分解所需的辐射光的量和持续时间。
根据上述波长条件(多个照射步骤中的单次照射时间和每次照射时间)，本发明中所用的染料分解光的光源可以选自卤素灯，金属卤化物灯，白炽灯，放电灯，汞灯，激光灯，以及本领域已知的其它光源。滤光片与这些光源组合起来可用于给出所期望的波长分布。这些光源(带滤光片)可以和光学系统(包括透镜、反射镜等)组合起来，从而获得平行光线。
在照射染料分解光50的同时，可以向有机EL器件10施加正向偏压以照亮它。有机EL器件10发射的光和染料分解光的组合效果可以促进染料层3中的色变换染料的分解。在一般情况下，本发明的方法中的偏压最好等于显示器在工作时所用的电压，通常都在2到10伏的范围中。该范围中的偏压可以促进染料层3中的色变换染料因染料分解光而分解的过程，而不会使该有机EL器件10退化。因此，可以在短时间内有效地产生色变换层。
当有机EL器件10包括由多个电极元件构成的透明电极11、由多个电极元件构成的反射电极13以及多个独立发光元件时，可将偏压施加在所有独立发光元件上。或者可以只让多个独立发光元件的一部分承受偏压。在图1(b)所述的结构中，在第一滤色层2a上的区域中色变换染料并不分解。所以，与第一滤色层2a相对应的发光元件不需要点亮，并且不需要施加正向电压。至于与第二和第三滤色层2b和2c(其中促进了一种或多种色变换染料的分解)相对应的发光元件，最好施加正向电压。
在此，当在如前所述使用具有不同波长分布的多种染料分解光时，在照射染料分解光的过程中，可以只对与多种染料分解光中的染料分解光使其发生分解的色变换染料的位置相对应的发光元件施加偏压。正向电压点亮这种发光元件也会促进色变换染料的分解(即色变换层的形成)。在这种情况下，在照射每一种染料分解光的过程中，可以向所有独立发光元件施加偏压。
此外，可以对由施加偏压的有机EL器件10发射且通过染料层3(或色变换层4a和4b)、滤色层2a、2b和2c以及透明基片1的光线进行监控。通过这种监控，可以调节染料分解光的量，并且可以确定照射步骤的终止。具体来讲，在施加正向偏压的情况下测量通过透明基片的光谱或色调，由此判断是否已经形成所期望的色变换层4a和4b。发射光谱或色调的测量可中断染料分解光的照射而进行，或者可以两者同时进行。
有可能对有机EL器件10施加反向偏压以便消除有机EL层12的微疵以及染料层3中色变换染料分解过程中的微疵。在本发明的方法中，反向偏压通常是5到30伏，10到20伏更佳。在将染料层3转变为色变换层4a和4b时，该范围中的反向偏压可以消除有机EL层中的微疵。因此，可以以更高的生产率来制造有机EL显示器。
在本发明的照射染料分解光的步骤中，还可能交替地对有机EL器件10施加正向电压和反向电压，从而既能促进色变换染料的分解、又能消除有机EL层12的微疵。正向偏压和反向偏压的值最好介于上述的范围中。
另外，可以执行一系列的处理过程，其中组合了施加正向电压的过程、在施加正向偏压时监控光发射的过程、以及施加反向电压的过程等。例如，可以执行包括下面三个步骤的循环(1)照射染料分解光并施加正向电压；(2)照射染料分解光并施加反向偏压；以及(3)中断染料分解光的照射、正向电压的施加而进行发射光的光谱(或色调)的测量。组合在一起，该循环执行了染料层到色变换层的转变过程，消除有机EL层中的微疵的过程，以及转变到色变换层的转变度的测量过程。
为了促进色变换染料分解反应，可以对包括染料层的层叠体加热。如果加热温度太高，则有可能在整个染料层中发生色变换染料的热分解。根据所用色变换染料的类型，适宜的加热温度会有所不同。当使用若丹明染料或香豆素染料时，在高于60℃的温度下已观察到分解速度的变化，并且已确定热分解始于160℃。在本发明中，照射染料分解光的步骤一般可以在室温下进行。然而，该步骤在60℃到100℃的温度范围中进行较佳，在70℃到90℃的温度范围中进行则更佳。加热染料层的步骤可以通过加热透明基片来实现，所用的方法可以是使加热气体对流或强迫循环，或者可以是使用像红外线灯这样的辐射源。
在根据本发明实施例的第二方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在这n种滤色层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及位于第一和第二电极之间的有机EL层；通过干法在有机EL器件上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；在染料层上形成反射层；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
图2(a)到2(c)示出了根据本发明实施例的第二方面的在有三种滤色层和两种色变换染料的情况下(n＝3)制造有机EL显示器的方法。和实施例第一方面的制造方法所获得的显示器相比，实施例第二方面所制造的有机EL显示器的不同之处在于第二电极和第一电极一样也是透明电极，形成染料层3的位置不同，以及存在反射层31。
第一电极是透明电极(第一透明电极11a)，这与实施例第一方面相同，并且可以用与实施例第一方面的透明电极对应的相同材料和方法来形成。在本实施例方面中，第二电极也是透明电极(透明电极11b)。可以用与第一透明电极11a相同的材料来构成第二电极11b。尽管第二透明电极11b可以用与第一透明电极11a相同的方法来构成，但是当期望用多个电极元件来构成第二透明电极时，最好用具有期望结构的掩模来形成第二电极11b。
染料层3形成于有机EL器件10上，具体来讲，是形成于第二透明电极11b上。本实施例方面中的染料层3可以用实施例第一方面中的材料和方法来形成。在实施例第一方面所制造的有机EL显示器中，有机EL层12所发射的一部分光穿透滤色层2a、2b和2c并向外辐射，其它穿透第二电极(第二透明电极11b)的光线则在色变换层4a和4b中进行波长分布变换并在反射层31处被反射。之后，该光线穿透色变换层4a和4b以及滤色层2a、2b和2c并向外辐射。
反射层31使得有机EL层12所发射的一部分光、以及在最后获得的色变换层4a和4b的波长分布中变换后的光，朝着透明基片1那一侧反射，以向显示器外辐射。反射层31最好通过干法(包括蒸镀方法和溅镀方法)由高反射率金属、非晶合金或微晶合金构成。高反射率金属包括Al、Ag、Mo、W、Ni和Cr。高反射率非晶合金包括NiP、NiB、CrP和CrB。高反射率微晶合金包括NiAl。因为染料层3、由染料层形成的色变换层4a和4b以及透明层5都是薄膜，所以在第二透明电极11b的各电子元件和反射层31之间可能出现短路。为了避免短路，在反射层31和染料层3之间或在第二透明电极11b和染料层3之间，可以设置绝缘层(图中未示出)。该绝缘层可以由透明的绝缘无机材料构成，比如TiO2、ZrO2、A1Ox、A1N或SiNx。
在图2(a)到图2(c)的结构中，形成了平整化层32，来消除滤色层2a、2b和2c所产生的高低不平。对于波长在400到800纳米范围中的光，希望用于形成平整化层32的材料呈现出良好的透明性，较佳地至少为50％，大于85％更佳。平整化层32一般通过涂敷方法来形成，比如旋涂方法、滚涂方法和刮涂法。用于平整化层的材料可以选自热塑性树脂，包括丙烯酸树脂，甲基丙酸烯树脂，聚酯树脂，比如聚(对苯二甲酸乙二醇酯)，聚酰胺树脂，聚酰亚胺树脂，聚醚酰亚胺树脂，聚缩醛树脂，聚砜，聚(乙烯醇)及其衍生物(比如聚(乙烯基丁缩醛)，聚亚苯基醚，降冰片烯树脂，异丁烯和顺丁烯二酸酐的共聚物树脂，以及环烯烃树脂；非感光的热固性树脂，包括醇酸树脂，芳族砜酰胺树脂，尿素树脂，三聚氰胺树脂，以及2，4二氨基-6苯基均三嗪树脂；以及光化学固化性树脂。
图2(a)示出了一种结构，该结构包括三种滤色层2a、2b和2c、平整化层32、有机EL器件10、含两种色变换染料的染料层3、以及反射层31，该有机EL器件10至少包括第一透明电极11a、有机EL层12和第二透明电极11b并具有多个独立的发光元件，它们都形成于透明基片1上。
如图2(b)所示，染料分解光50从透明基片1那一侧照射，从而在染料层3中形成色变换层4a和4b。因为在本发明的方法中色变换层是在与滤色层对齐的情况下形成的，所以染料分解光50需要垂直进入染料层3，所以也垂直于透明基片1。
在本实施例中，第三滤色层2c透射最短波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51c使第一和第二色变换染料分解。结果，如图2(c)所示，在与第三滤色层2c相对应的区域中，形成了不含色变换染料的透明层5。第二滤色层2b透射中等波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51b使第一色变换染料分解，但不使第二色变换染料分解。结果，如图2(c)所示，在与第二滤色层2b相对应的区域中，形成了含第二色变换染料的第二色变换层4b。第一滤色层2a透射最长波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51a既不使第一色变换染料分解，也不使第二色变换染料分解。结果，如图2(c)所示，在与第一滤色层2a相对应的区域中，形成了包含第一色变换染料(和第二色变换染料)的第一色变换层4a。
染料分解光的波长分布、强度和照射时间可以与实施例第一方面的方法相同。与在实施例第一方面中一样，在本实施例方面中也可以用具有不同波长分布的多种染料分解光来执行色变换染料的分解。此外，可以像实施例第一方面中那样，在照射染料分解光的过程中施加偏压，该偏压包括正向电压、反向电压以及正向和反向电压交替施加。在本实施例方面中，也可以在施加正向电压的过程中监控所照射的光，由此调节染料分解光的量并判断染料分解光的照射步骤的完成。此外，在本实施例方面中，在照射染料分解光的步骤中，可以加热含染料层3的层叠体，以促进色变换染料的分解。
在根据本发明实施例的第三方面中，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干法在这n种滤色层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及有机EL层，该有机EL层又至少包括有机发光层和置于第一和第二电极之间的载流子输运染料层，而载流子输运染料层至少包括(n-1)种色变换染料；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使载流子输运染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种载流子输运色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种载流子输运色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
实施例第三方面的制造方法与实施例第一方面相比的不同之处在于，要转变为色变换层的染料层并没有与有机EL器件分开独立形成，而是在有机EL层中引入了“载流子输运色变换层”。该载流子输运色变换层执行染料层的功能、以及载流子的注入和输运功能。在本实施例方面中，(n-1)种色变换染料被引入构成有机EL层的任一层(有机发光层除外)中。
在本实施例方面中，其中引入了色变换染料的层可以是空穴注入层、空穴输运层、电子输运层和电子注入层中的任一层；但在这些层中，空穴注入层或电子注入层是较佳的。在本实施例方面中，首先形成包含主材料和色变换染料的载流子输运色变换层。该层曝光于染料分解光中以使色变换染料分解。结果，形成了载流子输运层和载流子输运色变换层。
在本实施例方面中，在染料分解光曝光后形成的载流子输运层和载流子输运色变换层中，载流子输运色变换层中的主材料执行载流子输入和/或输运的功能。当载流子输运色变换层用作空穴注入层或空穴输运层时，主材料可以选自高分子量的二苝嵌苯构成的空穴输运材料，比如BAPP、BABP、CzPP和CzBP(专利文献9)。主材料也可以选自具有与芳基氨基结合的氮杂荧蒽主链的氮杂芳族化合物，(专利文献10)；具有与氨基结合的荧蒽主链的稠合芳族化合物，其中荧蒽主链(专利文献11)；具有氨基的苯并菲芳族化合物(专利文献12)；以及具有氨基的二苝嵌苯芳族化合物(专利文献13)，这些都是呈现出高输运特性的荧光材料。当载流子输运色变换层被用作电子注入层或电子输运层时，可以将Znsq2等用作主材料。
本实施例方面中可用的色变换染料可以选自双花青染料，比如DCM-1、DCM-2和DCJTB；嘧啶材料，比如1-乙基-2-(4-(对-二甲基氨基-苯基)-1，3-丁二烯基)-吡啶-高氯酸盐(嘧啶1)；呫吨衍生物；噁嗪衍生物；香豆素材料；吖啶染料；以及稠合芳族环状材料，包括二酮基吡咯并[3，4-c]吡咯衍生物，带有稠合噻唑衍生物的苯并咪唑化合物，卟啉衍生物；二氢喹吖啶二酮化合物，以及二(氨基苯乙烯基)萘化合物。
图3(a)到3(c)以及图4(a)到4(c)示出了使用三种滤色层2a、2b和2c以及载流子输运染料层41(含两种色变换染料，即第一和第二色变换染料)的实施例方面的一个示例。图3(a)示出了一种结构，该结构包括形成于透明基片1上的三个滤色层2a、2b和2c、平整化层32以及有机EL器件10，该有机EL器件10包括多个独立发光元件、并且至少包括透明电极11、有机EL层12a和反射电极13。在此有机EL层12a包括载流子输运染料层。图4(a)示出了包括五层的有机EL层12a的示例，这五个层是空穴注入染料层41，空穴输运层43，有机发光层45，电子输运层47，以及电子注入层49。空穴注入染料层41包含两种色变换染料(第一和第二色变换染料)。
如图3(b)所示，染料分解光50从透明基片1一侧射入，从而在载流子输运染料层中形成载流子输运色变换层。因为每一层载流子输运色变换层都是在与特定类型的滤色层的位置对齐的情况下形成的，所以染料分解光50需要垂直入射透明基片1。穿透三个滤色层2a、2b和2c的染料分解光51a、51b和51c到达包括载流子输运染料层的有机EL层12a，并且使色变换染料分解，从而形成了包括载流子输运层和两种载流子输运色变换层在内的有机EL层12b，像图3(c)所示。
更详细地，如图4(b)所示，有机EL层12a接收穿透第一到第三滤色层2a、2b和2c的光线51a、51b和51c。第三滤色层2c透射最短波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51c使第一和第二色变换染料分解。结果，如图4(c)所示，在与第三滤色层2c相对应的区域中，形成了不含色变换染料的空穴注入层44。第二滤色层2b透射中等波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51b使第一色变换染料分解，但不使第二色变换染料分解。结果，如图4(c)所示，在与第二滤色层2b相对应的区域中，形成了含第二色变换染料的第二空穴输运色变换层42b。第一滤色层2a透射最长波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51a既不使第一色变换染料分解，也不使第二色变换染料分解。结果，如图4(c)所示，在与第一滤色层2a相对应的区域中，形成了包含第一色变换染料(和第二色变换染料)的第一空穴注入色变换层42a。因此，形成了包括两种空穴注入色变换层42a和42b以及空穴注入层44的有机EL层12b。
染料分解光的波长分布、强度和照射时间可以与实施例第一方面的方法相同。与在实施例第一方面中一样，在本实施例方面中可以用具有不同波长分布的多种染料分解光来执行色变换染料的分解过程。此外，与实施例第一方面中一样，在照射染料分解光的过程中可施加偏压，该偏压包括正向电压、反向电压以及正向和反向电压交替施加。在本实施例方面中，也可以在施加正向电压的过程中监控所照射的光，由此调节染料分解光的量并判断染料分解光的照射步骤的完成。此外，在本实施例方面中，在照射染料分解光的步骤中，可以加热含载流子输运染料层3的层叠体，以促进色变换染料的分解。
根据本发明实施例的第四方面，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在这n种滤色层上形成染料层，该染料层包含分散在树脂中的(n-1)种色变换染料；在染料层上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种载流子输运色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
本实施例方面的制造方法与实施例第一方面相比的不同之处在于，染料层不是由蒸镀的色变换染料构成，而是由分散在树脂中的色变换染料构成。
分散有色变换染料的树脂即，所谓的基质树脂，可以选自各种热塑性树脂。希望该树脂在约100℃(150℃更佳)的加热过程中不分解或变形。有用的基质树脂可以包括丙烯酸树脂，比如聚甲基丙烯酸酯，醇酸树脂，芳族烃树脂(比如聚苯乙烯)，纤维素树脂，以及聚酯树脂(比如聚(对苯二甲酸乙二醇酯))，聚酰胺树脂(比如尼龙)，聚氨基甲酸乙酯树脂，聚(醋酸乙烯酯)树脂，聚(乙烯醇)树脂，以及这些树脂的混合物。实施例第一方面中所描述的色变换染料也可以用作本实施例方面中的色变换染料。
通过本领域已知的方法(比如旋涂、滚涂、刮涂、浇铸、丝网印刷等)施加涂敷液体(该涂敷液体是通过将(n-1)种色变换染料和基质树脂分散到或溶解到适宜的溶剂中而制备的)，便可以形成本实施例的染料层63(即含色变换染料的树脂)。本实施例的色变换染料的使用量是每1克基质树脂至少有0.2微摩尔的色变换染料，在1到20微摩尔较佳，在3到15微摩尔更佳。本实施例的染料层63具有至少5微米的厚度，较佳地在7到15微米的范围中。结果，从染料层转变而成的色变换层也具有该范围的厚度，并且可以发出具有期望强度的色变换光线。
图5(a)到5(c)示出了使用三种滤色层和两种色变换染料的实施例方面的一个示例(n＝3的情形)。图5(a)示出了一种结构，该结构包括形成于透明基片1上的三种滤色层2a、2b和2c、包含两种色变换染料(第一和第二色变换染料)染料层63以及有机EL器件10，该有机EL器件10具有多个独立发光元件并且至少包括透明电极11、有机EL层12以及反射电极13。
如图5(b)所示，染料分解光50从透明基片1那一侧照射，从而在染料层63中形成色变换层64a和64b。因为在本发明的方法中色变换层是在与滤色层对齐的情况下形成的，所以染料分解光50需要垂直进入染料层63，从而也垂直于透明基片1。第三滤色层2c透射最短波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51c使第一和第二色变换染料分解。结果，如图5(c)所示，在与第三滤色层2c相对应的区域中，形成了不含色变换染料的透明层65。第二滤色层2b透射中等波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51b使第一色变换染料分解，但不使第二色变换染料分解。结果，如图5(c)所示，在与第二滤色层2b相对应的区域中，形成了含第二色变换染料的第二色变换层64b。第一滤色层2a透射最长波长区域中的光。穿透该层的染料分解光51a既不使第一色变换染料分解，也不使第二色变换染料分解。结果，如图5(c)所示，在与第一滤色层2a相对应的区域中，形成了包含第一色变换染料(和第二色变换染料)的第一色变换层64a。
染料分解光的波长分布、强度和照射时间可以与实施例第一方面的方法相同。与在实施例第一方面中一样，在本实施例方面中可以用具有不同波长分布的多种染料分解光来执行色变换染料的分解过程。此外，可以像实施例第一方面中一样，在照射染料分解光的过程中施加偏压，该偏压包括正向电压、反向电压以及正向和反向电压交替施加。在本实施例方面中，也可以在施加正向电压的过程中监控所照射的光，由此调节染料分解光的量并判断染料分解光的照射步骤的完成。此外，在本实施例方面中，在照射染料分解光的步骤中，可以加热包括含有树脂的染料层63的层叠体，以促进色变换染料的分解。
根据本发明实施例的第五方面，一种制造有机EL显示器的方法包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在第二基片上形成具有多个独立发光元件的有机EL器件，该有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于第一和第二电极之间的有机EL层；在该有机EL器件上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；将透明基片和第二基片组合起来，使得滤色层与染料层对置；以及用通过透明基片和滤色层的染料分解光使染料层曝光，从而在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n-1)；n种滤色层中的每一种滤色层透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；并且第m种载流子输运色变换层在波长分布转换之后发射可被第m种滤色层透射的光。
本实施例方面的制造方法与实施例第一方面相比的不同之处在于，滤色层形成于透明基片上，而有机EL器件和染料层则形成于另一个基片(第二基片，与透明基片分开)上，然后以自对准的方式将两个基片组合起来，从而获得可用于构成色变换层的层叠体。图6(a)和6(b)示出了在使用三种滤色层和两种色变换染料的情况下(n＝3)组合之前的层叠体。图6(a)示出了透明基片和滤色层的层叠体。图6(b)示出了第二基片、有机EL器件和染料层的层叠体。用于滤色层的材料可以选自实施例第一方面中所描述过的材料。图6(a)所示的透明基片和滤色层的层叠体可以通过实施例第一方面中的方法来制造。图7(a)和7(b)示出了组合后的层叠体的一个示例。图7(a)示出了层叠体曝光于染料分解光的情形，图7(b)示出了所获得的有机EL显示器的结构。在图6(a)和6(b)以及7(a)和7(b)所示的结构中，第一电极是反射电极13，第二电极是透明电极11。
本实施例方面中所用的第二基片71可以是透明的或不透明的。用于形成第二基片71的透明材料可以具有与实施例第一方面中的透明基片相同的材料。用于形成第二基片71的不透明材料可以是半导体基片，比如硅晶片。本实施例方面可以很容易提供多个在第二基片71上的开关元件72，以便形成有源矩阵驱动模式的有机EL器件。多个开关元件72可以是TFT、MIM等。除了用于电连接到第一电极的开口以外，可以用平整化绝缘膜73覆盖开关元件72，以使其表面平整化。开关元件72和平整化绝缘膜73可以通过本领域任何已知的方法来形成。
然后，有机EL器件是通过使反射电极13(第一电极)、有机EL层12和透明电极11(第二电极)堆叠起来而形成的。可以用与第一方面实施例相同的材料和方法来制造有机EL器件的多个层。
如图6(b)所示，当多个开关元件72被置于第二基片71上时，反射电极13包括多个电极元件，每一个电极元件界定了一个独立的发光元件，并且每一个电极元件一对一地电连接到开关元件72。绝缘膜74可以选择性地置于反射电极13的各个电极元件之间，以防止各电极元件之间的短路。绝缘膜74可以用本领域已知的任何材料(比如金属氧化物或金属氮化物)和技术来制造。在图6(b)的结构中，透明电极11是形成于整个表面上的单个公共电极。
然后，染料层3形成于有机EL器件上。本实施例方面的染料层包含(n-1)种色变换染料并且通过干法形成，就像实施例第一方面一样。
如图6(b)所示，可以形成钝化层75，用于覆盖包括染料层3和下面的部件等结构元件。钝化层75可以有效地防止氧气、小分子量的成分以及湿气从外部环境中渗透到有机EL层12和/或色变换层(从染料层3转变而成)中，由此防止这些层的性能恶化。形成钝化层75的材料可以呈现出可见光区的高透明性(在400到800纳米范围中透明度至少为50％)、电绝缘特性、对湿气、氧气和小分子量成分的阻挡性能，并且其膜硬度最好是2H或更高。可用的材料包括无机氧化物和氮化物，比如SiOx、SiNx、SiNxOy、AIOx、TiOx、TaOx和ZnOx。钝化层可以用常用的技术来形成而不加任何特别限制，比如溅镀方法、CVD方法、真空蒸镀方法、浸渍方法、或溶胶-凝胶方法。钝化层75的厚度(对于多个层的层叠体而言即是总厚度)最好介于0.1到10微米的范围中。
将如此获得的透明基片和滤色层的层叠体以及第二基片、有机EL器件和染料层的层叠体组合起来，使得透明基片1和第二基片71位于最外面，即滤色层2a、2b和2c以及染料层3彼此对置(图7(a))。通过将粘合层80放置在透明基片1或第二基片71的四周，粘合层80可以用于将两个层叠体组合起来。粘合层80可以用紫外光固化粘合剂来构成。可以包含像玻璃珠、二氧化硅珠等间隔物颗粒，来限定透明基片和第二基片71之间的距离。
如图7(a)所示，染料分解光50透过透明基片1和滤色层2a、2b和2c照射到染料层上，从而形成色变换层，就像实施例第一方面一样。图7(a)和7(b)示出了在使用三种滤色层2a、2b和2c以及含两种色变换染料的染料层3的情况下的结构示例。在与第三滤色层2c(透射最短波长区域中的光)相对应的区域和没有滤色层的区域中，两种色变换染料都分解了，从而形成了透明层5。在与第二滤色层2b(透射中等波长区域中的光)相对应的区域中，第一色变换染料分解了，从而形成含第二色变换染料的第二色变换层4b。在与第一滤色层2a(透射最长波长区域中的光)相对应的区域中，没有色变换染料被分解，从而形成含第一和第二色变换染料的第一色变换层4a。如图7(b)所示，当第一到第三滤色层是红(2a)、绿(2b)和蓝(2c)滤色层、并且第一和第二色变换层是红(4a)和绿(4b)色变换层时，便可以获得能够进行全彩色显示的有机EL显示器。
像实施例第一方面一样，本实施例也可以执行多次照射，每一次照射不同的染料分解光，在照射染料分解光的过程中施加正向偏压，以及基于施加正向偏压时的发射谱来控制染料分解光的量。在本实施例方面中，在照射染料分解光的过程中，包括染料层3的层叠体的温度也会上升，就像实施例第一方面一样。合适的加热温度与实施例第一方面相同。通过加热透明基片1、第二基片71或同时加热这两个基片，便可以使本实施例的染料层3的温度上升。
已经结合有源矩阵驱动系统的有机EL器件对本实施例方面进行了描述，其中n种滤色层和用于获得色变换层的染料层形成于独立的基片上。然而，本实施例方面也可以用于无源矩阵驱动系统的有机EL器件。在那种情况下，开关元件72和相附部件都可以省去，并且反射电极13由沿一个方向延伸的条纹图案中的多个电极元件构成，而透明电极11则由沿与前述方向交叉的另一个方向延伸的条纹图案中的多个电极元件构成。因此，可以构造出一种无源矩阵驱动系统的有机EL显示器。
示例(示例1)通过旋涂方法在透明玻璃基片(康宁1737玻璃)上涂布蓝色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CB-7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹蓝色滤色层，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米(两个相邻的线条之间的距离为0.23毫米)，膜的厚度为2微米。
在具有蓝色滤色层的基片上，通过旋涂方法涂布绿色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CG-7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹绿色滤色层，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米，膜的厚度为2微米。
然后，通过旋涂方法涂布红色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CR-7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹红色滤色层，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米，膜的厚度为2微米。
将具有三种滤色层的基片设置在真空蒸镀装置中，并且共蒸镀香豆素6和DCM-1从而形成膜的厚度为500纳米的染料层。控制每一个坩埚的温度，以便将香豆素6的蒸镀速度调节为0.3纳米/秒而将DCM-1的蒸镀速度调节为0.6纳米/秒。在本示例的染料层中，香豆素和DCM-1的摩尔比为3∶7。
其上沉积有染料层的层叠体被转移到正向靶溅镀装置中。定位掩模，使其给出纵向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米，然后通过该掩模沉积厚度为200纳米的铟锡氧化物(ITO)，至此便获得了透明电极。
然后，在不破坏真空的情况下，其上形成有透明电极层叠体被转移到真空蒸镀装置中，并按顺序沉积空穴注入层、空穴输运层、发光层和电子输运层这四层，从而获得了有机EL层。每一层都是以0.1纳米/秒的蒸镀速度进行沉积的。空穴注入层是100纳米厚的铜酞菁染料层；空穴输运层是10纳米厚的α-NPD层；发光层是30纳米厚的DPVBi层；以及电子输运层是膜厚度为20纳米的Alq3层。接下来，沉积厚度为1.5纳米的锂，至此便形成了阴极缓冲层。
之后，定位掩模，使其给出横向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米。通过该掩模沉积厚度达200纳米的CrB膜，从而获得反射电极。
最终，将其上形成有反射电极的层叠体取出，放到干燥的环境中(湿气浓度最多为1ppm，氧气浓度最多为1ppm)。将四边涂有紫外线固化粘合剂的密封玻璃基片接合，从而封住该层叠体。
位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)发出的染料分解光通过可获得平行光线的光学系统，照射到密封好的层叠体。在与红色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都不分解，并且红色变换层形成于该区域中。在与绿色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6不分解，而DCM-1分解，并且绿色变换层形成于该区域中。在与蓝色滤色层相对应的染料层区域中以及不含任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解，并且在该区域中形成了透明层。
通过照射染料分解光而在有机EL显示器中获得的两种色变换层都置于与滤色层相对应的位置，并且没有观察到像变形这样的缺陷。
(示例2)按照与示例1相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了正向偏压10伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例中，与示例1相比，染料分解光的照射时间缩短30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例3)按照与示例2相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中并不点亮与红色滤色层相对应的那个区域中的发光元件。在本示例中，就像示例2中一样，染料分解光的照射时间比示例1缩短了30％，从而证明通让有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例4)按照与示例1相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了反向偏压20伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到任何微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例5)按照与示例2相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中，每一个发光元件都进行10次正向偏压(10伏)和反向偏压(20伏)的交替施加。在本示例中，与示例1相比，染料分解光的照射时间比示例1缩短了30％，从而证明有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。还进一步弄清楚了，在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例6)按照与示例1相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，在照射染料分解光的过程中，将层叠体加热到65℃。在本示例中，与示例1相比，染料分解光的照射时间比示例1缩短20％，从而证明加热层叠体可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例7)按照与示例1相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，照射染料分解光的过程按下述分两步进行。
在层叠体上，用强度为1W/cm2的一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并经过只透射500到600纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在绿色滤色层和蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，DCM-1在该照射过程中发生分解。
用强度为1W/cm2的另一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并经过了只透射450到510纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6在该照射过程中发生分解。
通过上述染料分解光的两步照射过程，在红色滤色层上的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都没有分解，从而在该区域中形成了红色变换层。在绿色滤色层上的染料层区域中，香豆素6没有分解而DCM-1分解了，从而在该区域中形成了绿色变换层。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解了，从而在该区域中形成了透明层。
(示例8)按照与示例1相同的方式来制造其上形成了三种滤色层的层叠体。然后，将该层叠体转移到正向靶溅镀装置中。定位掩模，使其给出纵向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米，并且通过该掩模沉积厚度达200纳米的ITO，便获得了第一透明电极。
然后，与示例1相同的是，按顺序在该层叠体上沉积空穴注入层、空穴输运层、发光层和电子输运层这四层，从而获得有机EL层。接下来，沉积厚度为1.5纳米的锂，便形成了阴极缓冲层。
其上形成有阴极缓冲层的层叠体被转移到正向靶溅镀装置中。定位掩模，使其给出横向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米，并且通过该掩模沉积厚度达200纳米的ITO，便获得了第二透明电极。
具有第二透明电极的基片被设置到真空蒸镀装置中，并且共蒸镀香豆素6和DCM-1，从而形成膜厚度为500纳米的染料层。控制每一个坩埚的温度，以便将香豆素6的蒸镀速度调节为0.3纳米/秒而将DCM-1的蒸镀速度调节为0.6纳米/秒。在本示例的染料层中，香豆素和DCM-1的摩尔比为3∶7。通过蒸镀方法沉积了200纳米厚的CrB膜，从而获得了反射层。
之后，将其上形成有反射层的层叠体取出，放到干燥的环境中(湿气浓度最多为1ppm，氧气浓度最多为1ppm)。将四边涂有紫外线固化粘合剂的密封玻璃基片接合，从而封住该层叠体。
用强度为1W/cm2的染料分解光来照射密封好的层叠体，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，且经过用于获得平行光线的光学系统。在染料分解光照射的过程中，在与红色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都不分解，并且红色变换层形成于该区域中。在与绿色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6不分解，而DCM-1分解，并且绿色变换层形成于该区域中。在与蓝色滤色层相对应的染料层区域中以及不含任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解，并且在该区域中形成了透明层。
通过照射染料分解光而在有机EL显示器中获得的两种色变换层都位于与滤色层相对应的位置，并且没有观察到像变形这样的缺陷。
(示例9)按照与示例8相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了正向偏压10伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描第一和第二透明电极元件。在本示例中，与示例8相比，染料分解光的照射时间缩短30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例10)按照与示例8相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在第一和第二透明电极元件的线性和顺序扫描过程中并不点亮与红色滤色层相对应的那个区域中的发光元件。在本示例中，就像示例9中一样，染料分解光的照射时间比示例8缩短了30％，从而证明通过让有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例11)按照与示例8相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了反向偏压20伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描第一和第二电极元件。在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到任何微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例12)
按照与示例9相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在第一和第二透明电极元件的线性和顺序扫描过程中，每一个发光元件都经受10次正向偏压(10伏)和反向偏压(20伏)的交替施加。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例8缩短了30％，从而证明有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。还进一步弄清楚了，在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例13)按照与示例8相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，在照射染料分解光的过程中，将层叠体加热到65℃。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例8缩短20％，从而证明加热层叠体可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例14)按照与示例8相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，照射染料分解光的过程按下述分两步进行。
在层叠体上，用强度为1W/cm2的一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射500到600纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在绿色滤色层和蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，DCM-1在该照射过程中发生分解。
用强度为1W/cm2的另一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射450到510纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6在该照射过程中发生分解。
通过上述染料分解光的两步照射过程，在红色滤色层上的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都没有分解，从而在该区域中形成了红色变换层。在绿色滤色层上的染料层区域中，香豆素6没有分解而DCM-1分解了，从而在该区域中形成了绿色变换层。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解了，从而在该区域中形成了透明层。
(示例15)按照与示例1相同的方式来制造其上形成了三种滤色层的层叠体。然后，将该层叠体转移到正向靶溅镀装置中。定位掩模，使其给出纵向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米，并且通过该掩模沉积厚度达200纳米的ITO，便获得了透明电极。
然后，在不破坏真空的情况下，其上形成有透明电极的层叠体被转移到真空蒸镀装置中，并且按顺序沉积空穴注入染料层、空穴输运层、发光层和电子输运层这四层，从而形成有机EL层。每一层是按0.1纳米/秒的蒸镀速度来沉积的。空穴注入染料层是一层200纳米厚的CzPP(香豆素6+DCM-1)[重量百分比为9％]；空穴输运层是一层15纳米厚的TPD；发光层是30纳米厚的DPVBi；以及电子输运层是膜厚度为20纳米的一层Alq3。接下来，沉积厚度为1.5微米的锂，从而形成了阴极缓冲层。在沉积空穴注入染料层的过程中，CzPP的蒸镀速度与色变换染料(香豆素6和DCM-1的总和)的蒸镀速度之比是100∶9。香豆素6和蒸镀速度和DCM-1的蒸镀速度之比是1∶2，并且香豆素6和DCM-1的摩尔比是3∶7。
之后，定位掩模，使其给出横向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米。通过该掩模沉积了厚度达200纳米的CrB膜，从而获得反射电极。
最后，将其上形成有反射电极的层叠体取出，放到干燥的环境中(湿气浓度最多为1ppm，氧气浓度最多为1ppm)。将四边涂有紫外线固化粘合剂的密封玻璃基片接合，从而封住该层叠体。
用强度为1W/cm2的染料分解光来照射密封好的层叠体，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过用于获得平行光线的光学系统。在与红色滤色层相对应的空穴注入染料层区域中，香豆素6和DCM-1都不分解，并且红色变换层形成于该区域中。在与绿色滤色层相对应的空穴注入染料层区域中，香豆素6不分解，而DCM-1分解，并且绿色变换层形成于该区域中。在与蓝色滤色层相对应的空穴注入染料层区域中以及不含任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解，并且在该区域中形成了透明层。
通过照射染料分解光而在有机EL显示器中获得的两种空穴注入色变换层都位于与滤色层相对应的位置，并且没有观察到像变形这样的缺陷。
(示例16)按照与示例15相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了正向偏压10伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例中，与示例15相比，染料分解光的照射时间缩短30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例17)按照与示例16相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中并不点亮与红色滤色层相对应的那个区域中的发光元件。在本示例中，就像示例16中一样，染料分解光的照射时间比示例15缩短了30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例18)按照与示例15相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了反向偏压20伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到任何微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例19)
按照与示例16相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中，每一个发光元件都经受10次正向偏压(10伏)和反向偏压(20伏)的交替施加。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例15缩短了30％，从而证明有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。还进一步弄清楚了，在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例20)按照与示例15相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，在照射染料分解光的过程中，将层叠体加热到65℃。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例15缩短20％，从而证明加热层叠体可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例21)按照与示例15相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，照射染料分解光的过程按下述分两步进行。
在层叠体上，用强度为1W/cm2的一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射500到600纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在绿色滤色层和蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，DCM-1在该照射过程中发生分解。
用强度为1W/cm2的另一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射450到510纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6在该照射过程中发生分解。
通过上述染料分解光的两步照射过程，在红色滤色层上的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都没有分解，从而在该区域中形成了红色变换层。在绿色滤色层上的染料层区域中，香豆素6没有分解而DCM-1分解了，从而在该区域中形成了绿色变换层。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解了，从而在该区域中形成了透明层。
(示例22)按照与示例1相同的方式来制造其上形成了三种滤色层的层叠体。然后。通过将DCM-1(按重量计有0.6份)和香豆素(按重量计有0.3份)溶解到丙二醇一单乙基乙酸酯(按重量计有120份)中，制备荧光色变换染料的溶液。按重量计有100份的PMMA(聚(丙烯酸甲酯))被添加到并溶解于该溶液中，从而获得涂敷液体。通过旋涂方法，在其上形成有滤色层的层叠体之上涂敷液体。在加热和干燥之后，便形成了含PMMA树脂的7微米厚的染料层。香豆素6和DCM1的摩尔比是3∶7。
然后，将该层叠体转移到正向靶溅镀装置中。定位掩模，使其给出纵向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米，并且通过该掩模沉积厚度达200纳米的ITO，便获得了透明电极。
然后，在不破坏真空的情况下，其上形成有透明电极的层叠体被转移到真空蒸镀装置中，并且按顺序沉积空穴注入层、空穴输运层、发光层和电子输运层这四层，从而形成有机EL层。每一层是按0.1纳米/秒的蒸镀速度来沉积的。空穴注入层是一层100纳米厚的CuPc；空穴输运层是一层10纳米厚的α-NPD；发光层是30纳米厚的DPVBi；以及电子输运层是膜厚度为20纳米的一层Alq3。接下来，沉积厚度为1.5微米的锂，从而形成了阴极缓冲层。
之后，定位掩模，使其给出横向延伸的多条纹薄膜，其线宽为0.1毫米，节距为0.11毫米。通过该掩模沉积了厚度达200纳米的CrB膜，从而获得反射电极。
最后，将其上形成有反射电极的层叠体取出，放到干燥的环境中(湿气浓度最多为1ppm，氧气浓度最多为1ppm)。将四边涂有紫外线固化粘合剂的密封玻璃基片接合，从而封住该层叠体。
用强度为1W/cm2的染料分解光来照射密封好的层叠体，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过用于获得平行光线的光学系统。在与红色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都不分解，并且红色变换层形成于该区域中。在与绿色滤色层相对应的染料层区域中，香豆素6不分解，而DCM-1分解，并且绿色变换层形成于该区域中。在与蓝色滤色层相对应的染料层区域中以及不含任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解，并且在该区域中形成了透明层。
通过照射染料分解光而在有机EL显示器中获得的含PMMA树脂的两种色变换层都位于与滤色层相对应的位置，并且没有观察到像变形这样的缺陷。
(示例23)按照与示例22相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了正向偏压10伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例中，与示例22相比，染料分解光的照射时间缩短30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例24)按照与示例23相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中并不点亮与红色滤色层相对应的那个区域中的发光元件。在本示例中，就像示例23中一样，染料分解光的照射时间比示例22缩短了30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例25)按照与示例22相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在有机EL层上施加了反向偏压20伏，从而在染料分解光照射的过程中线性地且按顺序地扫描透明电极元件和反射电极元件。在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到任何微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例26)按照与示例23相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在透明电极元件和反射电极元件的线性和顺序扫描过程中，每一个发光元件都经受10次正向偏压(10伏)和反向偏压(20伏)的交替施加。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例22缩短了30％，从而证明有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。还进一步弄清楚了，在本示例所获得的有机EL显示器的发光元件中，尚未观察到微疵，从而证明在照射染料分解光形成色变换层的同时有可能消除发光元件中的微疵。
(示例27)按照与示例22相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，在照射染料分解光的过程中，将层叠体加热到65℃。在本示例中，染料分解光的照射时间比示例22缩短20％，从而证明加热层叠体可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例28)按照与示例22相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，照射染料分解光的过程按下述分两步进行。
在层叠体上，用强度为1W/cm2的一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射500到600纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在绿色滤色层和蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，DCM-1在该照射过程中发生分解。
用强度为1W/cm2的另一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片一侧的碳弧光灯(白光光源)、并且经过了只透射450到510纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6在该照射过程中发生分解。
通过上述染料分解光的两步照射过程，在红色滤色层上的染料层区域中，香豆素6和DCM-1都没有分解，从而在该区域中形成了红色变换层。在绿色滤色层上的染料层区域中，香豆素6没有分解而DCM-1分解了，从而在该区域中形成了绿色变换层。在蓝色滤色层上的染料层区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解了，从而在该区域中形成了透明层。
(示例29)通过旋涂方法在透明玻璃基片1(康宁1737玻璃)上涂布蓝色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CB-7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹蓝色滤色层2c，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米(两个相邻的线条之间的距离为0.23毫米)，膜的厚度为2微米。
在具有蓝色滤色层的基片上，通过旋涂方法涂布绿色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CG-7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹绿色滤色层2b，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米，膜非厚度为2微米。
然后，通过旋涂方法涂布红色滤光材料(FUJIFILM电子材料有限公司的产品Color Mosaic CR7001)，并且通过光刻方法使其图形化，从而形成纵向延伸的多条纹红色滤色层，其线宽为0.1毫米，节距为0.33毫米，膜的厚度为2微米。
预先准备玻璃基片71，它设置有TFT开关元件72和平整化绝缘膜73，平整化绝缘膜73带有用于TFT源电极的开口。在玻璃基片71上，用掩模通过溅镀方法沉积500纳米厚的银层和100纳米厚的IZO层，从而形成由多个电极元件构成的反射电极13，每一个电极元件以一对一的方式连接到每一个TFT的源电极。每一个电极元件纵向尺寸为0.32毫米，横向尺寸为0.12纳米，它们按矩阵形式排列，纵向和横向的间隙都是0.01毫米。
通过向绝缘膜涂敷液体，并且用光刻方法进行图形化处理，便形成了具有栅格结构的绝缘膜74。绝缘膜74形成为使得反射电极13的每一个电极元件的边缘区域(其宽度为0.01毫米)都被一部分绝缘膜覆盖。
然后，其上形成有绝缘膜74的层叠体被设置在电阻加热式真空蒸发装置中，并且在反射电极13上按顺序地沉积空穴注入层、空穴输运层、发光层和电子输运层这四层，从而获得了有机EL层。空穴注入层是一层100纳米厚的CuPc；空穴输运层是一层10纳米厚的α-NPD；发光层是30纳米厚的DPVBi；以及电子输运层是一层膜厚度为20纳米的Alq3。接下来，沉积厚度为10纳米的Mg/Ag(重量比为10∶1)，从而形成了阴极缓冲层。然后，沉积了100纳米厚的IZO，从而形成单膜透明电极11。
在透明电极11的整个表面上，通过共蒸镀CzPP(香豆素6+DCM-1)[重量百分比为9％]，形成了厚度为200纳米的染料层3。之后，形成了由SiN构成且厚度为1微米的钝化层75(覆盖了包括染料层和下面诸层的结构)，从而获得了由第二基片、有机EL器件和染料层构成的层叠体。
所获得的由透明基片和滤色层构成的层叠体以及由第二基片、有机EL器件和染料层构成的层叠体被转移到密闭操作箱中，其中湿气浓度被控制为最多1ppm，氧气浓度被控制为最多1ppm。在由透明基片和滤色层构成的层叠体的外部四周，通过涂布紫外光固化粘合剂(Three Bond有限公司的产品30Y-437，其中包含用分配机器人分配的直径为20微米的珠子)，形成了粘合层80。通过调节滤色层和有机EL器件的发光元件的位置，将两个层叠体(一个层叠体是由透明基片和滤色层构成的，另一个层叠体是由第二基片、有机EL器件和染料层构成的)组合起来。
在所获得的组件的透明玻璃基片一侧，排列着碳弧光灯(白光光源)以及用于获取平行光线的光学系统。用强度为1W/cm2的染料分解光照射该组件，从而形成包括色变换层的有机EL显示器。在与红色滤色层2a相对应的染料层3的区域中，香豆素6或DCM-1都不分解，并且在该区域中形成了红色变换层4a。在与绿色滤色层2b相对应的染料层3的区域中，香豆素6不分解，而DCM-1分解，并且绿色变换层4b形成于该区域中。在与蓝色滤色层2c相对应的染料层3的区域中以及不含任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解，并且在该区域中形成了透明层5。
在所获得的有机EL显示器中的两种色变换层4a和4b都位于与滤色层2a和2b相对应的位置，并且没有观察到像变形这样的缺陷。
(示例30)按照与示例29相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，在染料分解光照射的过程中，在有机EL层上施加了正向偏压10伏，以便点亮每一个像素。在本示例中，与示例29相比，染料分解光的照射时间缩短30％，从而证明通过让有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解过程。
(示例31)按照与示例30相同的方式来制造有机EL显示器，不同之处在于，并不点亮与红色滤色层2a相对应的那个区域中的发光元件。在本示例中，就像示例30中一样，染料分解光的照射时间比示例29缩短了30％，从而证明通过有机EL层发光可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例32)按照与示例29相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，在照射染料分解光的过程中，将层叠体加热到65℃。在本示例中，与示例29相比，染料分解光的照射时间比示例29缩短20％，从而证明加热层叠体可以促进染料层中色变换染料的分解。
(示例33)按照与示例29相同的方式制造有机EL显示器，不同之处在于，照射染料分解光的过程按下述分两步进行。
在层叠体上，用强度为1W/cm2的一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片1那一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射500到600纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在与绿色滤色层2b和蓝色滤色层2c相对应的染料层3的区域中以及没有任何滤色层的区域中，DCM-1在该照射过程中发生分解。
用强度为1W/cm2的另一种染料分解光来照射，该染料分解光来自位于透明玻璃基片1那一侧的碳弧光灯(白光光源)，并且经过只透射450到510纳米波长范围的光的带通滤光片、和用于获得平行光线的光学系统。在与蓝色滤色层2c相对应的染料层3的区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6在该照射过程中发生分解。
通过上述染料分解光的两步照射过程，在红色滤色层2a相对应的染料层3的区域中，香豆素6和DCM-1都没有分解，从而在该区域中形成了红色变换层4a。在与绿色滤色层2b相对应的染料层3的区域中，香豆素6没有分解而DCM-1分解了，从而在该区域中形成了绿色变换层4b。在与蓝色滤色层相对应的染料层3的区域中以及没有任何滤色层的区域中，香豆素6和DCM-1都分解了，从而在该区域中形成了透明层5。
权利要求
1.一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干燥处理在所述n种滤色层上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；在所述染料层上形成具有多个独立的发光元件的有机EL器件，所述有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于所述第一和第二电极之间的有机EL层；以及用透过所述透明基片和所述滤色层的染料分解光使所述染料层曝光，以在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示2到6间的一个整数；m表示1到(n-1)间的一个整数；所述n种滤色层中的每一种都透射互不相同的独有的波长区域中的光；第m种色变换染料由第m种滤色层所截断的光分解；所述第m种色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
2.如权利要求1所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，向所述多个独立的发光元件加偏压。
3.如权利要求2所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将正向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
4.如权利要求2所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述正向偏压只加在所述多个独立的发光元件中被选中的发光元件上。
5.如权利要求1所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述染料分解光的曝光过程被进行多次，并且多次曝光中所用的染料分解光的至少一种包括能使所述第m种色变换染料分解的波长成分。
6.如权利要求2所述的制造有机EL显示器的方法，还包括下列步骤在正向偏压施加到所述多个独立的发光元件上的期间，监控所述有机EL显示器的发射光谱，并根据所述发射光谱，控制所述染料分解光的量。
7.如权利要求2所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将反向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
8.如权利要求2所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，对所述多个独立的发光元件交替地施加正向偏压和反向偏压。
9.如权利要求1到8中的任一项所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，加热所述透明基片。
10.一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在所述n种滤色层上形成具有多个独立的发光元件的有机EL器件，所述有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于所述第一和第二电极之间的有机EL层；通过干燥处理在所述有机EL器件上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；在所述染料层上形成反射层；用透过所述透明基片和所述滤色层的染料分解光使所述染料层曝光，以便在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示2到6间的一个整数；m表示1到(n-1)间的一个整数；所述n种滤色层中的每一种都透射互不相同的波长区域中的光；第m种色变换染料由第m种滤色层截断的光分解；所述第m种色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
11.如权利要求10所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，向所述多个独立的发光元件加偏压。
12.如权利要求11所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将正向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
13.如权利要求11所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述正向偏压只加在所述多个独立的发光元件中被选中的发光元件上。
14.如权利要求10所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述染料分解光的曝光过程被进行多次，并且所述多次曝光中所用的染料分解光的至少一种包括能使所述第m种色变换染料分解的波长成分。
15.如权利要求11所述的制造有机EL显示器的方法，还包括下列步骤在正向偏压施加到所述多个独立的发光元件上的期间，监控所述有机EL显示器的发射光谱，并根据所述发射光谱，控制所述染料分解光的量。
16.如权利要求11所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将反向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
17.如权利要求11所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，对所述多个独立的发光元件交替地施加正向偏压和反向偏压。
18.如权利要求10到17中的任一项所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，加热所述透明基片。
19.一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干燥处理在所述n种滤色层上形成具有多个独立的发光元件的有机EL器件，所述有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于所述第一和第二电极之间的有机EL层，所述有机EL层至少包括有机发光层和载流子输运染料层，所述载流子输运染料层至少包括(n-1)种色变换染料；以及用透过所述透明基片和所述滤色层的染料分解光使所述载流子输运染料层曝光，以便在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种载流子输运色变换层；其中n表示2到6间的一个整数；m表示1到(n-1)间的一个整数；所述n种滤色层中的每一种都透射不同波长区域中的光；所述第m种色变换染料由所述第m种滤色层截断的光分解；所述第m种载流子输运色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
20.如权利要求19所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，向所述多个独立的发光元件加偏压。
21.如权利要求20所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将正向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
22.如权利要求20所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述正向偏压只加在所述多个独立的发光元件中被选中的发光元件上。
23.如权利要求19所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，染料分解光的曝光过程被进行多次，并且所述多次曝光中所用的染料分解光的至少一种包括能使所述第m种色变换染料分解的波长成分。
24.如权利要求20所述的制造有机EL显示器的方法，还包括下列步骤在正向偏压施加到所述多个独立的发光元件上的期间，监控所述有机EL显示器的发射光谱，并根据所述发射光谱，控制所述染料分解光的量。
25.如权利要求20所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将反向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
26.如权利要求20所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，对所述多个独立的发光元件交替地施加正向偏压和反向偏压。
27.如权利要求19到26中的任一项所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在所述染料分解光的曝光步骤中，加热所述透明基片。
28.一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在所述n种滤色层上形成染料层，所述染料层包含分散在树脂中的(n-1)种色变换染料；在所述染料层上形成具有多个独立的发光元件的有机EL器件，所述有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于所述第一和第二电极之间的有机EL层；以及用透过所述透明基片和所述滤色层的染料分解光使所述染料层曝光，以便在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示2到6间的一个整数；m表示1到(n-1)间的一个整数；所述n种滤色层中的每一种都透射不同波长区域中的光；所述第m种色变换染料由所述第m种滤色层截断的光分解；所述第m种色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
29.如权利要求28所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，向所述多个独立的发光元件加偏压。
30.如权利要求29所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将正向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
31.如权利要求29所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述正向偏压只加在所述多个独立的发光元件中被选中的发光元件上。
32.如权利要求28所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述染料分解光的曝光过程被进行多次，并且所述多次曝光中所用的染料分解光的至少一种包括能使所述第m种色变换染料分解的波长成分。
33.如权利要求29所述的制造有机EL显示器的方法，还包括下列步骤在正向偏压施加到所述多个独立的发光元件上的期间，监控所述有机EL显示器的发射光谱，并根据所述发射光谱，控制所述染料分解光的量。
34.如权利要求29所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将反向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
35.如权利要求29所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，对所述多个独立的发光元件交替地施加正向偏压和反向偏压。
36.如权利要求28到35中的任一项所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在所述染料分解光的曝光步骤中，加热所述透明基片。
37.一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；在第二基片上形成具有多个独立的发光元件的有机EL器件，所述有机EL器件至少包括第一电极、第二电极以及置于所述第一和第二电极之间的有机EL层；在所述有机EL器件上形成含(n-1)种色变换染料的染料层；将所述透明基片和所述第二基片组合起来，使得所述滤色层与所述染料层对置；以及用透过所述透明基片和所述滤色层的染料分解光使所述染料层曝光，以便在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示2到6间的一个整数；m表示1到(n-1)间的一个整数；所述n种滤色层中的每一种都透射不同波长区域中的光；所述第m种色变换染料由所述第m种滤色层不允许透过的光分解；所述第m种色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
38.如权利要求37所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在染料分解光的曝光步骤中，向所述多个独立的发光元件加偏压。
39.如权利要求38所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，将正向偏压加到所述多个独立的发光元件上。
40.如权利要求38所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，所述正向偏压只加在所述多个独立的发光元件中被选中的发光元件上。
41.如权利要求37所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，染料分解光的曝光过程可以进行多次，并且所述多次曝光中所用的染料分解光的至少一种包括能使所述第m种色变换染料分解的波长成分。
42.如权利要求38所述的制造有机EL显示器的方法，还包括下列步骤在正向偏压施加到所述多个独立的发光元件上的期间，监控所述有机EL显示器的发射光谱，并根据所述发射光谱，控制所述染料分解光的量。
43.如权利要求37到42中的任一项所述的制造有机EL显示器的方法，其特征在于，在所述染料分解光的曝光步骤中，加热所述透明基片。
全文摘要
本发明的目的是提供一种有机EL显示器，其中制造过程得以简化，并且可进行高精确度的图形化处理。一种制造有机EL显示器的方法，包括如下步骤在透明基片上形成n种滤色层；通过干法在n种滤色层上形成含(n－1)种色变换染料的染料层；在染料层上形成有机EL器件；以及用透明基片那一侧的染料分解光使染料层曝光，以便在与第m种滤色层相对应的位置处形成第m种色变换层；其中n表示整数2到6；m表示整数1到(n－1)；n种滤色层中的每一种都透射不同波长区域中的光；第m种滤色层不允许透过的光使第m种色变换染料分解；第m种色变换层在波长分布变换之后发出第m种滤色层允许透射的光。
文档编号H01L27/32GK1983561SQ200610168528
公开日2007年6月20日 申请日期2006年12月13日 优先权日2005年12月14日
发明者川口刚司, 滨敏夫, 寺尾丰 申请人:富士电机控股株式会社