专利名称：贮存架和贮存方法
技术领域：
本发明涉及一种在搬运液晶玻璃基片等的被搬运物品的搬运工序 中，暂时地贮存被搬运物品的贮存架和贮存方法。
背景技术：
在半导体制造、液晶制造、FA (Factory Automation)等中，将液晶玻璃基片或半导体晶片等的多片被处理物(被搬运物)贮存在盒内， 就要以盒为单位搬运到暂时保管贮存装置或施行各种处理的处理装置 等中。而且，作为现有的贮存装置有一种由多个贮存部构成的贮存架， 各个贮存部由利用各个贮存部的左右侧面上对向配置的一对直线状构 件的棂条支撑盒的左右两底面而构成。日本专利文献1中公开了一种 将该被搬运物经由搬运路径转载到贮存装置和各个处理装置等的转载 装置。根据这篇日本专利文献l，由于旋转转动的第一及第二杠杆，会 使装载被搬运物的叉状装置伸縮，通过转载装置下降，将被搬运物装 载到贮存装置、各个处理装置等内。
日本专利文献l:特开2002—370184号公报(图l) 可是，该专利文献l中，在装载了被搬运物的状态下伸长叉状装 置时，由于被搬运物的重量使叉状装置弯曲。因此，对于装载被搬运 物的各个处理装置的装载部来说，就不可能维持被搬运物平行了。这 样一来，装载被搬运物时，被搬运物相对装载部会倾斜下降，只有被 搬运物的最低点最初与装载部相接触。并且，继续照旧装载动作时， 其接触部分错动装载部，其结果是，在被搬运物与装载部之间产生滑 动磨损，并产生了大量的微粒(微小尘埃)。配置有上述转载装置和 处理装置的空间虽然进行了空气净化，但是若这些微粒等伴随着气流 也附着于其他的被搬运物上的话，就会发生制品质量下降这样的问题 啦。发明内容本发明的目的在于提出一种不会产生微粒等而能够贮存被搬运物 的贮存架和贮存方法。为实现上述目的，本发明为一种贮存架，该贮存架借助于具备水 平移动被搬运物的水平杠杆部和升降该被搬运物的升降部的转载装 置，可搬出搬入地保管被搬运物，其特征在于备有通过用所述转载 装置水平移动到装载位置的上方以后再下降，将所述被搬运物装载在 所述装载位置上的装载部；以及设置在下降到所述装载部装载所述被 搬运物之际最初接触的部分的，沿所述水平移动方向移动自如的移动 部。根据这种结构，水平移动降运载上述被搬运物的上述转载装置的 上述水平杠杆部时，上述水平杠杆部由于上述被搬运物的重量，朝向 水平移动方向顶端弯曲。在这种状态下下降上述转载装置的上述升降 部的话，在上述被搬运物完全地装载到装载位置之前，上述被搬运物 水平移动方向顶端与上述移动部相接触。之后，随着上述被搬运物的 下降，由于上述被搬运物的水平移动方向顶端和作为在水平移动方向 移动自如的上述移动部向水平移动方向移动，所以在上述被搬运物与 上述装载部之间就不会产生滑动磨损。因此，不会因滑动磨损而产生 微粒(微小尘埃)，能够将上述被搬运物装载到上述装载部，并贮存 上述被搬运物。另外，本发明也可以是上述装载部具有相对配置，在上述被搬运 物的下面两端部支撑上述被搬运物的一对直线状支撑构件和设置在直 线状支撑构件上的大致长方体形状的缺口部，上述移动部具有旋转轴 与上述水平动方向垂直地配置在上述缺口部的旋转滚筒和可旋转自 如地保持旋转滚筒并支撑上述被搬运物的移动支撑部。
根据这种结构，用上述转载装置将上述被搬运物装载到上述装载 部时，在上述被搬运物最初接触的部分设有在水平移动方向旋转的旋 转滚筒和具有支撑上述被搬运物的移动支撑部的移动部。因此，上述 被搬运物倾斜地与上述装载部接触后，即使在被装载的情形下，因为 与用上述移动支撑构件支撑的上述被搬运物的同时，上述移动部通过 上述旋转滚筒也在水平移动方向转动，所以能够降低在上述被搬运物 与上述直线状支撑构件之间产生摩擦等的危险。另外，本发明中与上述水平移动方向平行地伸縮的弹性体用弹性 体的各个两端固定上述移动体和上述装载部也行。根据这种结构，将上述被搬运物装载到上述装载部内，由于上述 被搬运物而使上述移动部沿水平移动方向移动时，上述弹性体处于上 述移动部的上述水平移动方向时，只是縮小上述弹性体移动的部分， 上述弹性体处于和上述水平移动方向的相反方向时，只是伸长上述弹 性体移动的部分。之后，将上述被搬运物从上述装载部去掉时，随着 伸縮力而使上述弹性体恢复到将上述被搬运物装载到上述装载部之前 的状态，所以固定在上述弹性体上的上述移动部也回到将上述被搬运 物装载到上述装载部之前的位置。因此，上述被搬运物装载在上述装 载部时，能够省去控制上述移动体配置在上述被搬运物与上述装载部 的最初接触位置。另外，本发明通过沿装载部方向下降被搬运物，该被搬运物的一 部分最初与上述装载部接触后，该被搬运物的一部分一边对上述装载 部滑动一边最终整个装载该被搬运物时，使上述装载部的上述被搬运 物的一部分最初接触的部位向上述滑动的方向移动。根据该方法，通过使上述被搬运物的一部分最初接触的上述装载 部的部位向滑动的方向移动，从接触的位置移动到最终整个装载上述 被搬运物位置的期间能够避免由于上述被搬运物的滑动而产生上述被 搬运物与上述装载部的摩擦。
图1为表示本实施方式的贮存架中，装载部和使被搬运物下降并 装载到装载部时，沿设定为最初接触部分的水平移动方向移动自如的移动部的剖视图，图1 (a)表示在图3中的A—A^面的剖视图，图l (b)表示在图3中的B—B'面的剖视图。图2为表示本实施方式贮存架的装载部及移动部的立体图。 图3为表示本实施方式贮存架的装载部及移动部的顶视图。 图4为用于说明转载装置与装载部的结构示意图，图4 (a)表示 顶视图，图4(b)表示侧视图。图5为用于说明被搬运物装载到装载部上的动作图。 图6为表示解决本发明问题方面的转载装置侧视图。 图7为用于说明解决本发明问题方面的解决方法的被搬运物及装 载部的侧视图，图7 (a)表示被搬运物的水平移动方向顶端部与装载 部接触的图。图7 (b)表示随着被搬运物的下降，被搬运物的水平移 动方向顶端部和移动部一起向水平移动方向移动的图，而图7(c)表示整 个被搬运物完全装载在装载部的图。图8为表示本发明第一改变例的立体图。图9为表示本发明第二改变例的立体图。符号说明1 贮存架 la 单元架2 盒(载置部)2a支撑部(直线状支撑构件)2b 缺口部3 搬出搬入装置(移载装置) 10盒(被搬运物) 20滑块构件(移动部)22 滑板(移动支撑部)23 滚筒(旋转滚筒)具体实施方式
下面，说明本发明的优选实施方式。本实施方式的贮存架l是一种暂时地保管搬运被搬运物的所谓的"盒"。如图4所示，它是由一 个以上贮存被搬运物的单元架la构成。被搬运物用搬出搬入装置3出 入单元架la。并且，本实施方式中，所谓被搬运物，就是贮存例如多枚玻璃基 片或半导体晶片等的正方体或具有长方体形状的盒。在下面的说明中， 将被搬运物称为"盒"。(机械结构单元架la) 如图4 (b)所示，贮存架1中沿垂直方向设有四层单元架la，单 元架la配置了以盒10的底面支撑盒10的盒2 (装载部)。并且，借 助于下述的搬出搬入装置3 (转载装置)，使盒IO水平移动和下降， 把盒10装载到单元架la的棂条2上。(机械结构棂条2) 如图4 (a)所示，棂条2由支撑盒10底面的两端的对向配置的 一对直线状支撑部2a (直线状支撑构件)构成。进而，如图l(a)所示 的表示图3中的A—A '面的剖视图，由于支撑部2a的一部分上形成 具有大致长方体底面的缺口部2b，所以支撑部2a的剖面具有大致"- " 字形状。而且，图l(a)和图1 (b)中所示的表示图3中的B—B '面的 剖视图，缺口部2b和水平移动方向平行，两个滑动构件20 (移动部) 分别配置在将缺口部2b的长度大致三等分的位置，支撑部2a的两个外 面侧用弹簧24连接起来。而且，所配置的两个滑动构件20按水平方 向顺序就是滑动构件20b、滑动构件20a。如图2及图3所示，具体地
说，顺着水平方向观察时，支撑部2a与滑块20b之间、滑动构件20b 与滑块20a之间、而且滑块20a与支撑部2a之间，在支撑部2a的两个 外面侧分别都用弹簧24连接起来。此时的弹簧24维持在自然长度， 进而，在缺口部2b的底面配设底板21，滑动构件20在该底板21上沿 着水平移动方向往复移动。如图l(b)所示，该底板21的宽度比支撑部 2a (缺口部2b)的宽度稍长，两端部曲折成"L"字型，用该"L"字 型部分夹住支撑部2a的样子与支撑部2a嵌合。上述缺口部2b及滑动构件20设置在将盒10装载在棂条2上时最 初与盒10接触的部分。后面详细叙述，不过盒10装载在棂条2上时， 盒IO朝水平移动方向垂直向下方弯曲。因此，如下述的图7 (a)所示， 为了将盒10装载在棂条2上垂直朝下方向下降时，盒10的水平移动 方向顶端最初与棂条2接触。进而，如下述的图7(b)所示，盒10随 着垂直往下方向下降，从水平移动方向顶端开始慢慢地进行和水平移 动方向的反方向与棂条2接触，盒IO的整个接触平面沿着水平移动方 向滑动。因而，由于以盒10设置了滑动构件20使其与滑动构件20接 触，所以能够在水平方向使盒IO滑动。本实施方式中，设有两个滑动 构件20，不过与设置了一个滑动构件20的情形相比，能够在宽阔范围 内挡住滑动构件20。而且，至于滑动构件20的大小及件数也可适当改 变。(机械结构滑动构件20) 如图1 (a) 、 (b)所示，滑动构件20具有滑板22和滚筒23。 滑板22由支撑盒10的顶板22a和设置在该顶板22a的两端部可旋转自 如地支撑滚筒23的"L"字型的轴承22b构成，可在水平移动方向往 复移动。轴承22b的"L"字部分要与上述底板21的弯曲成"L"字型 的部分相扣合，相关扣合部分实现水平移动方向往复运动的滑板22的 滑动作用。另外，轴承22b设有未图示的孔，滚筒23的旋转轴23a慢 慢插入(緩揷)，就会使滚筒23介于顶板22a与底板21之间。因此， 滑动构件20通过滚筒23在底板21上旋转，就会在底板21上沿着水
平移动方向往复运动。如上所述，缺口部2b与滑动构件20设置在盒10装载在棂条2上时最初与盒IO接触的部分。若更具体地说明，下述搬出搬入装置3 的第一杠杆30与第二杠杆31在水平移动着的状态下，如图6的箭头 所示，由于盒10的重量，支撑了盒10的叉状本体32在顶端处向下方 弯曲。因此，装载在叉状本体32的盒IO也在顶端处变得倾斜。因而， 这种状态下使盒10向装载部方向下降时，相对棂条2的支撑部2a就会 倾斜地装载盒10。此时，对支撑部2a而言，就在与盒10的顶端部分 最初接触的部分设置缺口部2 b与滑动构件2 0 。还有，配设缺口部2b与滑动构件20的位置，根据盒体尺寸、 第一及第二杠杆30、 31的长度也可适当改变。(机械结构搬出搬入装置3) 如图5所示，搬出搬入装置3由对面平行配置的贮存架1之间形 成的通道6内受到运行轨道6a支撑导向并在运行路径上运行的运行体 (图未示出)、竖立在运行体上的一对支柱3a、被支柱3a支撑导向而 升降的载荷台3b、和设置在上述载荷台3b上而且与单元架la之间转 载盒10的转载装置3c构成。上述转载装置3c旋转第一杠杆30及第二杠杆31，叉状本体32 便在一条直线上移动。而且，本实施方式中虽然没有详细叙述，但是 将第一杠杆30、第二杠杆31与叉状本体32设置在载荷台3a上所设置 的可旋转的旋转盘34上使其旋转，就会面向通道6，对任何一贯单元 架la都能够搬出搬入盒10。如图4(a)所示，叉状本体32支撑在盒10的底面中央处，能够穿 过对向的支撑部2a之间。即，支撑盒10的叉状本体32从棂条2的上 方移动到下方时，叉状本体32穿过一对支撑部2a之间，但盒10的底 面两端部拉扯支撑部2a。因此，盒10就会脱离叉状本体32，同时被装 载到棂条2上。还有，通过第一及第二杠杆30、 31伸縮(旋转)，能 够在退入位置和伸出位置之间以一定速度水平移动叉状本体32。所谓 "退入位置"就是曲折第一及第二杠杆30、 31，意味着叉状本体32位 于单元架la之外，所谓"伸出位置"就是伸长第一及第二杠杆30、 31， 意味着叉状本体32位于单元架la之内。
接下来，说明如上述构成的搬出搬入装置3的盒IO进行贮存时的 动作和对盒10进行装载时的滑动构件20的动作。
(盒10的动作给单元架la搬入盒10) 在叉状本体32上装载盒10的搬出搬入装置3，接受来自未图示 的操纵控制器等的指令信号，在运行轨道上运行，移动到目标贮存架l 前面。之后，升降载荷台3b，移动至目标单元架la处。并且，通过旋 转第一杠杆30及第二杠杆31，叉状本体32从退入位置水平移动到伸 出位置。还有，处于突出位置的盒10及叉状本体32，就会至少位于靠 近目标单元架la的棂条2上方。
接着， 一边保持该状态一边使载荷台3a下降。随着该载荷台3a 的下降，叉状本体32也下降。该叉状本体32就会穿过对向的支撑部 2a之间，在其穿过之际，叉状本体32上的盒IO将底面两端部挂在支 撑部2a上，因此，盒10就装载在棂条2上。
(贮存架的动作滑动构件20)
另外，如上述一样叉状本体32由于盒10的重量，顶端部向重力 方向弯曲，在下降的途中，如图7(a)所示，首先盒10的顶端部与滑 动构件20接触。该接触部分设有滑板22，则盒10由滑动构件20a的 滑板22支撑着。并且，随着盒10的下降，由于滚筒23旋转，滑动构 件20在底板21上开始向图7 (b)的水平移动方向的箭头表示的方向 移动。进而，当盒10进行下降时，盒10的底面也与滑动构件20b接触，滑动构件20b和滑动构件20a同样，也以与盒IO接触状态向箭头 方向开始移动。因而，不会在滑动构件20与底板21之间因磨损而产 生微粒。盒10由于用滑动构件20的滑板22支撑，也不会在盒10与 棂条2之间因磨损而产生微粒。并且，照旧使叉状本体32下降时，如 图7(c)所示，盒10就被装载在棂条2上。滑动构件20由于配设弹簧24，当从棂条2上去掉盒IO时，借 助于弹簧24的伸縮力而回到到弹簧24自然长度的原来位置。另外， 在图7中，在说明情况方面，省略了支撑盒10的叉状本体32。(盒IO的贮存方法) 接着，就如上述构成的贮存架，说明贮存盒10的贮存方法。 首先，使盒10向棂条方向下降。因此，盒10的顶端部最初与棂 条2接触以后，使盒10的顶端部对棂条2活动，最终整体装载盒IO。 此时，使棂条2上的盒IO顶端部沿最初接触的部位滑动的方向移动。 更具体地说，当盒10的顶端部与棂条2的滑动构件20接触时，顶端 部就沿滑动方向移动滑动构件20。并且，顶端部就一边向滑动方向移 动， 一边最终地将盒10装载在棂条2上。因此，能够以不会产生微小 尘埃地将盒10装载在棂条2上。(本实施方式的概要) 如上所述，本实施方式是在通过备有水平移动盒10的转载装置 3c和升降盒10的载荷台3a的搬出搬入装置3，可搬出搬入地保管盒 IO的单元架la中，构成了具备通过用搬出搬入装置3水平移动到装载 位置的上方后使之下降，将盒10装载在装载位置的棂条2，和设置在 将盒10下降并装载在棂条2上时最初接触部分的、在水平移动方向可 移动自如的滑动构件20的结构。根据这种结构，使装载盒10的搬出搬入装置3的转载装置3c水 平移动时，转载装置由于盒10的重量，朝向水平移动方向的顶端弯曲。在这种状态下降搬出搬入装置3的载荷台3b时，在盒10完全装载在装载位置之前，盒10的水平移动方向顶端与滑动构件20接触。之后， 随着盒10的下降，由于盒10的水平移动方向顶端和在水平移动方向 移动自如的滑动构件20同时向水平移动方向移动，所以在盒10与棂 条2之间不会产生滑动磨损。因此，不会因滑动磨损产生的微粒(微 小尘埃)，就能够将盒10装载在棂条2上贮存盒10。另外，本实施方式是构成棂条2具有对向配置，以盒10的下面两 端部支撑盒10的一对支撑部2a和设置在支撑部2a的大致长方体形状 的缺口部2，滑动构件20具有旋转轴与水平移动方向垂直、配置在缺 口部2b的滚筒23，和旋转自如地保持滚筒23、并支撑盒10的滑板22 的构成。根据这种结构，用搬出搬入装置3将盒10装载在棂条2上时，在 最初与盒10接触的部分，设置了具有在水平移动方向旋转的滚筒23 和支撑盒10的滑板22的滑动构件20。因此，盒10倾斜地与棂条2接 触后，即使在这样装载的情形下，由于用滑板22支撑的盒10与滑动 构件20 —起通过旋转滚筒向水平移动方向移动，所以能够降低盒10 与棂条2之间产生摩擦之类的危险。另外，本实施方式用弹簧24的各自两端来固定与水平移动方向平 行伸縮的弹簧24与棂条2也可以。根据这种结构，将盒10装载在棂条2上，由于盒10而使滑动构 件20向水平移动方向移动的情况下，弹簧24处于滑动构件20的水平 移动方向时只縮小己移动的部分，弹簧24处于和水平移动方向的反方 向时只伸长已移动的部分。之后，当将盒10从棂条2上去掉时，由于 弹簧24的伸縮力而回到将盒10装载在棂条2上之前的位置。因此， 当将盒10装载在棂条2上时，能够省去在盒10最初与棂条2接触的 位置配置滑动构件20的控制。本实施方式技术，通过使盒10向棂条2方向下降，在盒10的水平移动方向顶端最初与棂条2接触以后，盒10的水平移动方向顶端部 对棂条2 —边滑动一边最终整个装载盒10的时候，使棂条2上盒10 的水平移动方向顶端最初接触的滑动构件20向上述滑动的方向移动。根据此方法，由于使盒10的一部分最初接触棂条2的部位向滑动 的方向移动，在从接触位置移动到最终整个装载盒10的位置的期间， 能够避免因盒10的滑动而产生盒IO与棂条2间的摩擦。(本实施方式的变形例) 本发明记载了上述的优选实施方式，但并非本发明只限定于此。 可以理解为，除此之外只要不脱离本发明的构思与范围的各种各样实 施方式都是搞出来的。进而，本实施方式中，虽然陈述了发明结构的 作用与效果，不过这些作用与效果只是一个例子，并非限定本发明。例如,在上述实施方式中，将在装载方向往复移动的移动部制成由 滑板22与滚筒23等构成的滑动构件20，不过并不限定于此。例如， 如图8所示，也可以制成将滚筒51直接安装在支撑部2a上结构(改变 例1)。具体点说，在支撑部2a的盒10所装载的平面上设置开口部。 并且，并列配置了四个滚筒51，就要将各个滚筒51的旋转轴51a可旋 转自如地慢慢插入到支撑部2a的侧面。此时，滚筒51的上面就会从支 撑部2a稍稍伸出一些。还有，也可以制作在滚筒51的下面侧设置支撑 滚筒51的支撑板52。另外，如图9所示，也可以制成滚筒61直接安装在支撑部2a上， 设置滑板62覆盖其上的结构(改变例2)。具体点说，在支撑部2a的 盒IO伸装载的平面上设置开口部。并且，并列配置三个滚筒61，就要 将各个滚筒61的旋转轴61a可旋转自如地慢慢插入到支撑部2a的侧 面。滑板62的剖面设置成大致呈字形状，使之覆盖三个滚筒61。此时，滑板62的上部就从支撑部2a稍稍伸出些。另外，滑板62 的两侧面在支撑部2a和内部用弹簧63连接起来。这时，弹簧63维持 自然长度状态，即使是滑板62向任意方向移动，也能够借助于弹簧63 回到原来的位置。还有，也可以制成在滚筒61的下面侧设置支撑滚筒 61的支撑板64。另外，上述本实施方式中，盒10最初与棂条2接触的位置虽限定 于盒10的顶端，但也可以是盒10被装到棂条2上的整个平面。具体 点说，相对棂条2从斜上方装载盒10这样的情况下，盒10的整个装 载面就相对棂条2滑动。因此，为了使盒10的整个装载面滑动就要设 置滑动构件20等，能够获得与上述实施方式相同的效果。另外，就盒10装到棂条2上的方法来说，也可以从上方夹住盒 10，以悬挂状态装到棂条2上，此时，也可以制作使盒IO的顶端部或 整个装载面滑动这样的结构D进而，上述本实施方式中，被搬运物虽然设定盒IO，装载部为棂 条2,但是并非限定于这些，上述实施方式说明过的结构也可适当改变。
权利要求
1.一种贮存架，该贮存架借助于具备水平移动被搬运物的水平杠杆部和升降该被搬运物的升降部的转载装置，可搬出搬入地保管被搬运物，其特征在于备有通过用所述转载装置水平移动到装载位置的上方以后再下降，将所述被搬运物装载在所述装载位置上的装载部；以及设置在下降到所述装载部装载所述被搬运物之际最初接触的部分的，沿所述水平移动方向移动自如的移动部。
2. 根据权利要求1所记载的贮存架，其特征在于， 所述装载部具有对向配置，并以所述被搬运物的下面两端部支撑所述被搬运物的 一对直线状支撑构件和设置在所述直线状支撑构件上的大致长方体形 状的缺口部，所述移动部具有；旋转轴和所述水平移动方向相垂直配置在所述缺口部的旋转滚筒 和旋转自如地保持所述旋转滚筒并支撑所述被搬运物的移动支撑部。
3. 根据权利要求1或2所记载的贮存架,其特征在于， 和所述水平移动方向平行地伸縮的弹性体,用弹性体的两端分别固定所述移动体与所述装载部。
4. 一种贮存方法，其特征在于，通过被搬运物向装载部方向下降，该被搬运物的一部分最初与所 述装载部接触后，该被搬运物的一部分一边相对所述装载部滑动一边 最终整个地装载该被搬运物的时候，使在所述装载部上的所述被搬运 物的一部分最初接触的部位向所述滑动的方向移动。
全文摘要
提供一种不会产生微粒等，并将被搬运物存入贮存装置的贮存装置。在用具有水平移动盒10的转载装置3c和升降盒10的载荷台3b的搬出搬入装置3，可搬出搬入地保管盒10的单元架1a中，具备有通过用搬出搬入装置3水平移动到装载位置的上方以后再使之下降，在装载位置装载盒10的棂条2和设置在使盒10下降并装载到棂条2上时最初接触的部分的，可沿水平移动方向移动自如的滑块构件20。
文档编号H01L21/67GK101108692SQ200710137778
公开日2008年1月23日 申请日期2007年7月3日 优先权日2006年7月3日
发明者前滝进 申请人:亚仕帝科技股份有限公司