专利名称：硅片载体使用的挂具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片技术领域，是指硅片生产中在等离子真空镀膜设备中的硅片载体使用的挂具。
背景技术：
在太阳能电池和半导体的硅片生产中，需要在硅片上沉积氮化硅。沉积氮化硅的工艺是将硅片盛入硅片载体上，再将硅片载体放入等离子真空镀膜设备内，再通入反应气体在真空高温中进行。
各个硅片盛入硅片载体的各个孔位(如36孔，25孔)时，首先需要将挂具安装到硅片载体的框架上以支撑各个硅片。挂具包括挂钩
和挡片两种，挂钩包括钩尖，每个硅片载体孔位通过多个挂钩的钩尖用来支撑硅片，挡片用来定位硅片位置。如图l示出了目前的挂具，包括两个支臂和连接两个支臂的支撑部，支臂与支撑部形成U型的框体，框体下方可具有挂钩部件形成图1 (a)或(b)所示的挂钩，或具有挡片部件形成图l (c)或d所示的档片。
在安装挂具时，将挂具U型开口垂直方向向上放置，套入硅片载体的框架，然后使用尖嘴钳夹紧挂具两个支臂的顶端，使得之支臂向U型开口内弯曲，从而使挂具固定在硅片载体的框架上。
挂具安装的精度影响到硅片能否盛入，是否会掉片，并直接影响氮化硅的镀膜质量。因此，需要挂具安装精确，牢固，尤其挂钩的各个钩尖要在一个平面上。但是，由于夹紧挂具之支臂时，尖嘴钳所施力的挂具支臂的位置是靠手工确认，因此难免出现不同的挂具之支臂所施力位置不同，使得各个挂具安装不正，钩尖不在一个平面上。
另一方面，为了确保安装的精度，对操作人员的要求比较高，使得挂具的安装过程比较耗时、耗力。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种硅片载体上所使用的挂具，以使挂具安装到硅片载体时，安装位置更为精确、更为快捷。
本实用新型提供的硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接
两个支臂的支撑部形成的u型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位
置，设置有朝向u形开口外侧方向的作为紧固头的凸起部。其中，所述支臂远离支撑部的位置为支臂远离支撑部的顶端位置。
较佳的，在所述支臂凸起部与支撑部之间，与凸起部具有一定距离的位置，设置有豁口。
可选的，所述豁口设置在支臂朝向u形开口外侧方向。可选的，所述豁口设置在支臂朝向u形开口内侧方向。所述挂具可以是在背向u型开口方向还连有挂钩部的挂钩或者有
挡片部的挡片。
由上可以看出，本实用新型挂具的支臂具有作为紧固头的凸起部，安装桂具时，由于挂具支臂的凸起部与尖嘴钳接触受力，且所有挂具支臂的凸起部在相同的位置，因此，由于受力位置相同，支臂向
u型开口内侧弯曲的位置也基本相同，这样可以使各个挂具安装，挂
钩的下端的钩子的高度基本相同，使所有钩尖平整位于一个平面上。可见，本实用新型提高了挂具安装的精确性，提高了挂具安装质量。并且，所述凸起部可以设置在支臂顶端位置，从而可以在使用尖嘴钳夹紧凸起部时，可以使用较小的力量施力或使尖嘴钳钳口相对移
动较小的距离，就可以使得u型开口的两个支臂向内弯曲到预定形状。
并且，在挂具支臂上还可以设置豁口，设置豁口后，当两支臂受力向内弯曲时，会首先在该豁口位置进行弯曲，这样可以使各个挂具弯曲的位置更精确，从而使各个挂具的钩尖更精确的基本位于 一个平面上。
由上可以看出，由于安装过程中不用像背景技术那样再靠经验去确认所要夹紧的挂具支臂的施力位置，因此使得安装过程更为方便，更为快捷，大大地缩短了安装时间，经过比较，使用本实用新型时，
安装一个36孔硅片载体只需一个人1小时，而使用背景技术中描述的挂具安装时，不仅需要复杂的安装工具，且安装一个36孔硅片载体要二个人半天时间。
图l为目前挂具的示意图；其中，(a)为双挂钩的挂具，(b)为单挂钩的挂具，(c)为双挡片的挂具，(d)为单挡片的挂具；
图2为支臂顶端设置有作为紧固头的凸起部的挂具示意图，其中，(a)为双挂钩的挂具，(b)为单挂钩的挂具，(c)为双挡片的挂具，(d)为单挡片的挂具；
图3为支臂上设置豁口的挂具示意图；其中，(a)为豁口朝向U型开口外侧的挂具，(b)为豁口朝向U型开口内侧的挂具；
图4为本实用新型挂具安装到硅片载体上的示意图；其中，(a)为挂具安装在硅片载体示意图；(b)为(a)图中的局部放大图的截面示意图。
具体实施方式
如图2示出了本实用新型的挂具。其中，本实用新型挂具包括框体，框体上包括两个支臂1和连接两个支臂的支撑部2,支臂l与支撑部2将框体形成U型。在每个支臂1远离支撑部2的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的凸起部3。
其中，如图2所示，将凸起部3设置在支臂1远离支撑部的顶端位置，当凸起部3设置在支臂1顶端位置时，在使用尖嘴钳夹紧凸起部3时，可以使用较小的力量施力，使得U型开口的两个支臂1向U型开口内弯曲到预定形状。另外，如图3所示，在所述支臂1的凸起部3与支撑部2之间，与凸起部3具有一定距离的位置还可以设置豁口 6。其中，该豁口 6的作用是用来实现支臂1弯曲时的定位，设置豁口6后，当两支臂l受力向内弯曲时，会首先在豁口 6位置进行弯曲，这样可以使各个挂具更精确的固定在硅片栽体上。需要说明的是，豁口6的位置应当保证挂具安装到硅片载体后该豁口 6与支撑部2的距离与硅片载体框架的厚度一致。
其中，支臂1上所述的豁口可以如图3-a所示设置在支臂1朝向U形开口外侧方向。豁口6可以是线性、三角形。或者，支臂1上所述豁口 6也可以如图3-b所示设置在支臂1的面向U形开口内侧方向，当朝向内侧时，豁口 6的开口角度最好为不小于90度，以使支臂1能够较大角度的弯曲。
另外，上面仅针对挂具框体进行了描述，在U型框体背向U型开口方向还可连接有挂钩部件4,从而使本实用新型挂具形成挂钩作用。如图2-a和图2-b分别示出了具有双挂钩和单挂钩的挂具。或者，在U型框体背向U型开口方向连接有挡片部件5,从而使本实用新型挂具形成挡片作用。如图2-c和图2-d分别示出了具有双挡片和单挡片的挂具。不难理解，根据需要，也可以在U型框体背向U型开口方向连接一挂钩部件4和一挡片部件5,此处不再赘述。
如图4所示挂具安装到硅片载体上的示意图，当进行挂具安装时，将挂具的U型开口朝向硅片载体框体插入，使硅片载体框体位于U型开口内，然后针对挂具的两个支臂，用尖嘴钳夹紧挂具支臂上的凸起部，尖嘴钳通过凸起部向两个支臂施力，使两个支臂向U型开口内弯曲，固定在硅片载体上。
当尖嘴钳进行夹紧时，尖嘴钳仅与所述支臂凸起部相接触，仅会向凸起部施力，由凸起部作为受力点，将挂具两支臂向U型开口内弯曲。由于各个挂具受力点统一，因此安装位置会统一。不仅如此，又由于支臂上设置有豁口 ，因此U型支臂弯曲时会首先从所述豁口位置进行弯曲，从而，使得各个挂具安装的位置准确，更加统一整齐。可见，由于安装过程中尖嘴钳仅与凸起部相接触，因此不用像背 景技术那样再靠经验去确认所要夹紧挂具的位置，使得安装过程更为 方便，更为快捷，大大地缩短了安装时间。
另一方面，由于所有挂具凸起部位置相同、豁口位置相同，因此，
u型开口向内弯曲的位置也相同，这样可以使各个挂具下端的挂钩的
钩子的高度相同，挂具安装端正，使所有钩尖平整位于一个平面上。 可见，本实用新型提高了挂具安装的精确性。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实 用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同 替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1、一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂(1)和连接两个支臂(1)的支撑部(2)形成的具有U型开口的框体，其特征在于，在所述每个支臂(1)远离支撑部(2)的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的凸起部(3)。
2、 根据权利要求1所述的挂具，其特征在于，所述支臂(1 )远 离支撑部(2)的位置为支臂(1 )远离支撑部(2)的顶端位置。
3、 根据权利要求1或2所述的挂具，其特征在于，在凸起部(3) 与支撑(2)部之间的支臂(1)上，距离凸起部(3) —定距离的位 置设置有豁口 (6)。
4、 根据权利要求3所述的挂具，其特征在于，所述豁口 (6)设 置在支臂(1)的朝向U形开口的外侧上。
5、 根据权利要求3所述的挂具，其特征在于，所述豁口 (6)设 置在支臂(1 )的朝向U形开口的内侧上。
6、 根据权利要求1所述的挂具，其特征在于，所述挂具背向U 型开口方向还连接有挂钩部件(4)。
7、 根据权利要求1所述的挂具，其特征在于，所述挂具背向U 型开口方向还连接有挡片部件(5)。
专利摘要本实用新型提供了一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接两个支臂的支撑部形成的U型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的作为紧固头用的凸起部。使用本实用新型，可以使挂具安装到硅片载体时，紧固头受力使支臂弯曲，使得安装会更为精确便捷。
文档编号H01L21/673GK201282133SQ20082013954
公开日2009年7月29日 申请日期2008年10月24日 优先权日2008年10月24日
发明者尤耀明 申请人:尤耀明