专利名称：洗边机及洗边机的固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种洗边机，且特别是涉及一种洗边机的固定装置。
背景技术：
在半导体技术里， 一般会在晶片上形成多层的膜层。以镀层为例，如果 要在晶片上形成铜层，会先以化学电镀(无电电镀)法在晶片上全面形成一层
铜层作为种子层(seed layer),再利用电镀法(有电电镀)，以种子层为基础镀 上铜。此时，因为晶片边缘作为有电电镀的通电路径，例如需连接至电极， 所以边缘的种子层不会往上长，因而在电镀完成时，会在晶片上的边缘留下 一圈较低的种子层。为了去除晶片的边缘部分的膜层，在半导体领域里发展 出了洗边机(Edge bevel Removal machine, EBR machine)。
洗边机的动作一般是由旋转(spin)、冲洗(rinse)和干燥(dry)三种动作组合 而成，所以也称为万走l争冲洗干》喿才几(spin rinse dry machine, SRD machine)。 其动作为在旋转晶片的同时，朝晶片的中心喷纯水，而朝晶片的边缘喷溶 液，这个溶液包含了可以冲蚀边缘膜层的化学物质，由此，晶片中心受到纯 水的保护，只有晶片边缘的膜层被沖蚀掉。
洗边机中的固定装置需要在晶片旋转时固定住晶片，因而与晶片接触的 部分属于易磨损的部分，常有更换的必要。
又，因为常需要更换固定装置中的磨损部分，还需要注意零件在多次的 拆装固定装置之后，仍需符合一定的精度要求。
实用新型内容
有鉴于对上述洗边机的固定装置的要求，本实用新型的目的就是在于提 供一种洗边机的固定装置，适用于与洗边机的旋转臂相连接，固定装置包括 以卡榫连接方式连接至旋转臂的第一固定部，及枢接至旋转臂且具有可上下 回动自由度的第二固定部。第一固定部包括载台部、支撑部以及阻挡部。支 撑部固定于载台部上，阻挡部与载台部相连并高于支撑部。第二固定部，包括第 一 夹持部及第二夹持部，第 一 夹持部与第二夹持部以卡榫连接的方式相 固定，且由第一夹持部枢接至旋转臂。当旋转臂旋转至一预定速度时，第二 固定部的第二夹持部适于向上回动而夹持待洗物体，而当旋转臂未旋转至预 定速度时，第 一 固定部的阻挡部适用于挡止待洗物体。
上述第 一 固定部的支撑部可以点接触的方式接触待洗物体。第 一 固定部 的支撑部的材质可为耐磨耗材质。阻挡部的材质可为耐磨耗材质。上述载台 部、支撑部、阻挡部可为一体成形。
上述第 一 固定部和旋转臂的卡榫连接方式，例如使旋转臂与第 一 固定部 之一具有第 一滑槽，且旋转臂与第 一 固定部之另 一具有与第 一滑槽对应的第
一凸部。也可再包括第一螺栓固定旋转臂与第一固定部。第一滑槽供旋转臂
或第一固定部滑入，并通过锁入第一螺栓固定旋转臂与第一固定部，且第一
滑槽的滑入的方向、锁入第 一螺栓的方向不受到第二固定部的干扰。
上述第二固定部中的第一夹持部、第二夹持部的卡榫连接方式，例如第
一夹持部与第二夹持部之一具有第二滑槽，且使第一夹持部与第二夹持部之 另 一具有与第二滑槽对应的第二凸部。也可再包括第二螺栓固定第 一夹持部
与第二夹持部。第二滑槽供第一夹持部或第二夹持部滑入，并通过锁入第二 螺栓固定第一夹持部与第二夹持部，且第二滑槽的滑入的方向、锁入第二螺 栓的方向不受到第一固定部的干扰。
根据本实用新型的特征，第一固定部是以卡榫方式连接至旋转臂，安装 及拆卸方^f更。
根据本实用新型的特征，第二固定部中负责和旋转臂枢接的部分(第一 夹持部)，以及负责夹持待洗物体的部分(第二夹持部)被分成两个元件再组合 固定，是以，更换第二夹持部时，不需拆卸第一夹持部，不会影响到枢接精 度，也不会因多次拆装抠接的第 一夹持部而无故地磨耗了枢接的元件(例如 销)。又，第一夹持部和第二夹持部是以卡榫连接方式相固定，安装及拆卸 方便。
根据本实用新型的特征，第一部固定部和旋转臂的固定方向、固定方式 不会受到枢接于旋转臂上的第二固定部的干扰。因而损^J贞率不同的第 一 固 定部和第二固定可各自独立拆装，减少维修时间。
根据本实用新型的特征，支撑部是以点接触的式接触到待洗物体，所以 可以减少待洗物体和支撑部的磨擦力根据本实用新型的特征，使支撑部和阻挡部采用耐磨耗材质，可以减少 更换的频率。
更，本实用新型的目的在提供一种洗边机，包括旋转底座、多个旋转 臂及上述的固定装置。旋转臂的一端是以卡榫连接的方式，等间隔地固定至 旋转底座。其中旋转臂的另一端以卡榫方式连接着第一固定部，且枢接着第 二固定部。
在旋转底座与旋转臂之一还可具有第三滑槽，且旋转座与旋转臂之另一 具有与第三滑槽对应的第三凸部。更可包括第三螺栓固定旋转底座与旋转臂。
根据本实用新型的特征，旋转臂是以卡榫方式连接至旋转旋转底座，安 装及拆卸方便。
本实用新型的优点在于
1 .第一固定部是以卡榫方式连接至旋转臂，安装及拆卸方便。
2. 第二固定部中负责和旋转臂枢接的部分(第 一 夹持部)，以及负责夹持 待洗物体的部分(第二夹持部)被分成两个元件再组合固定，所以，更换第二 夹持部时，不需拆卸第一夹持部，不会影响到枢接精度，也不会因多次拆装 抠接的第一夹持部而无故地磨耗了枢接的元件(例如销)。又，第一夹持部和 第二夹持部是以卡榫连接方式相固定，安装及拆卸方便。
3. 第一部固定部和旋转臂的固定方向、固定方式不会受到枢接于旋转臂 上的第二固定部的干扰。因而损耗频率不同的第一固定部和第二固定可各自 独立拆装，减少维修时间。
4. 支撑部是以点接触的式接触到待洗物体，所以可以减少待洗物体和支 撑部的磨擦力。
5 .使支撑部和阻挡部采用耐磨耗材质，可以减少更换的频率。 6.旋转臂是以卡榫方式连接至旋转旋转底座，安装及拆卸方便。 为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特 举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
图1是依照本实用新型实施例的洗边机的立体图2是依照本实用新型实施例的洗边机的固定装置中的第 一 固定部的立体图3是图2的右侧视图； 图4是图2前3见图5是旋转臂与第一固定部连接的一端的立体图； 图6是依照本实用新型实施例的洗边机的固定装置中的第二固定部的立 体分解图7是依照本实用新型实施例的洗边机的固定装置安装于旋臂上的安装 完成图(从旋转的离心方向往中心看过去)；
图8、图9是洗边机在运作时固定装置的动作示意图，其中图8为旋转 底座处于低速旋转的状态，图9为旋转底座处于高速旋转的状态。
主要元件符号说明
100旋转底座
200旋转臂
300固定装置
310第一固定部
312载台部
314支撑部
316阻挡部
320第二固定部
330第一夹持部
340第二夹持部
200b、 310b、 330b凸部
150螺栓
345、 350螺孔
100s、 200s、 340s滑槽
200h、 330h枢接孔
500待洗物体
具体实施方式
请参照图1,其绘示出依照本实用新型实施例的一种洗边才几(其中各个液 体喷头已省略)的立体图。本实用新型的洗边机包括旋转底座100、多个旋转臂200、多个固定 装置300、中心喷头(未图示)及边缘喷头(未图示)。因为中心喷头及边缘喷头 为本领域人员所现有，在此予以省略。
洗边机的运作方式筒述如下先将待洗物体，例如晶片(未附图)置于固 定装置300之间，接着中心喷头(未图示)喷出纯水，旋转底座100旋转带动 旋转臂200,此时由固定装置300保持着待洗物体不致因离心力而脱出，跟 着由边缘喷头(未附图)喷出溶液，再加快转速，最后甩干待洗物体。
以下详细介绍各元件及其动作。
图1中是以3个旋转臂200为例，旋转臂200的一端是以卡榫连接的方 式，等间隔地固定至旋转底座100。卡榫连接方式，举例而言，是使旋转底 座100与旋转臂200之一具有滑槽，且使旋转座100与旋转臂200之另 一具 有与该滑槽对应的凸部，亦即利用外形的凹凸配合来连接两者，不需限定哪 一方为凸或哪一方为凹。
在图1的例示中，旋转底座IOO具有滑槽100s，例如为楔形，也可为其 他形状，而旋转臂200的一端则具有与滑槽100s形状对应的凸部200b。本 领域人员应知，把滑槽形成在旋转臂上而把凸部形成在旋转底座上亦可。除 了利用形状配合来固定两者之外，更可再利用螺栓150固定旋转底座100与 旋转臂200。
旋转臂200的另一端以卡榫方式连接着第一固定部310,并枢接着第二 固定部320。我们将第一固定部310与第二固定部320合称为固定装置300。 [固定装置300]
固定装置300包括第一固定部310和第二固定部320。 [第一固定部310]
请参照图2~图4,其中图2为依照本实用新型实施例的洗边机的固定装 置中的第一固定部的立体图，图3为图2的右侧^f见图，图4为图2的前视图。
第一固定部310,具有载台部312、支撑部314以及阻挡部316,大致呈 L字形，其中载台部312属L字形中的略水平部分，而阻挡部316属L字形 中的略直立部分。支撑部314略呈锥状，固定于载台部312上，阻挡部316 与载台部312相连并高于支撑部314。
支撑部314用以接触并支撑待洗物体，虽然上述以锥形为例，但对于形状并没有特别限定，只是考量到减少支撑部314与待洗物体接触的磨擦力， 可使其接触方式为点接触方式。例如使支撑部314具有一弧状表面，用以接
触并支撑待洗物体，其接触方式为点接触方式。且考量到支撑部314会因接 触待洗物体而磨耗，支撑部314的材质可采耐磨耗材质，例如为聚醚醚酮 (PEEK)。
当旋转底座100带动旋转臂200旋转至预定速度以下(例如为1500rpm) 时，第 一 固定部310的阻挡部316适用于挡止待洗物体受离心力引影响而脱 离。同样的考量到阻挡部316会因接触待洗物体而磨耗，阻挡部的材质可采 耐磨耗材质，例如为聚醚醚酮.(PEEK)。
在第一固定部310中，至少在支撑部314及阻挡部316采用耐磨耗材质 即可，也可以将载台部312、支撑部314、阻挡部316—体成形，全采用耐 磨耗材质亦可。此处虽然将第一固定部310例示为略L字形，但本领域人员 应知载台部312的作用在连接支撑部314与阻挡部316，其形状自可作适当 的变化。
再请参照图5,其绘示出旋转臂与第一固定部连接的一端的立体图。
第一固定部310，是以卡榫连接的方式连接至旋转臂200,举例而言， 是使旋转臂200与第一固定部310之一具有滑槽，且使旋转臂200与第一固 定部310之另 一具有与滑槽对应的凸部。亦即利用外形的凹凸配合来连接两 者，不需限定哪一方为凸或哪一方为凹。
在图2及图5的例示中，旋转臂200与第一固定部310连接的一端是呈 被切去一个矩形体的形状，并留下一小段矩形体，在留下的部分里具有滑槽 200s,例如为楔形，亦可为其他形状，而固定部310则具有与滑槽200s形状 对应的凸部310b。本领域人员应知，把滑槽形成在第一固定部310上而把凸 部形成在旋转臂200上亦可。除了利用形状配合来固定两者之外，更可再利 用螺栓来固定第一固定部310与旋转臂200，因而在第一固定部310上具有 螺孔350。螺孔350是供螺栓从第一固定部310与旋转臂200连接的相对侧 锁入的，以固定旋转臂200与第一固定部310。
旋转臂200和第一固定部310的安装方式是具有滑槽的一方供另一方 滑入，再锁入螺栓固定两者。在本例中滑槽200s供第一固定部310的凸部 310b滑入，并通过锁入螺栓(未附图)固定旋转臂200与第一 固定部310。[第二固定部]
再请参照图6,其绘示依照本实用新型实施例的洗边机的固定装置中的 第二固定部的立体分解图。
第二固定部320，略呈双翼状(在此仅为举例，形状并不受限)，包括第 一夹持部330及第二夹持部340。第一夹持部330与第二夹持部340以卡榫 连接的方式相固定，举例而言，是使第一夹持部330与第二夹持部340之一 具有滑槽，且使第一夹持部330与第二夹持部340之另一具有与滑槽对应的 凸部。亦即利用外形的凹凸配合来连接两者，不需限定哪一方为凸或哪一方 为凹。
在图6的例示中，第二夹持部340的一端具有滑槽340s,例如为楔形， 也可为其他形状，而第一夹持部330则具有与滑槽340s形状对应的凸部 330b。本领域人员应知，把滑槽形成在第一夹持部330上而把凸部形成在第 二夹持部340上亦可。除了利用形状配合来固定两者之外，更可再利用螺栓 (未图示)来固定第一夹持部330与第二夹持部340，因而在第二夹持部340 上具有螺孔345,且在第一夹持部上具有与螺孔345对应的螺孔(未图示)。 螺孔345是供螺栓(未附图)从第二夹持部340往第一夹持部330锁入，以固 定第一夹持部330与第二夹持部340。
第一夹持部330和第二夹持部340的安装方式是具有滑槽的一方供另 一方滑入，再锁入螺栓固定两者。在本例中滑槽340s供第一夹持部330的 凸部330b滑入，并通过锁入螺栓(未附图)固定第一夹持部330与第二夹持部 340。
此外，第一夹持部330还具有一枢接孔330h,旋转臂200具有枢接孔 200h。把两枢接孔330h、 200h对准，再利用销(pin),把第一夹持部330枢 接至旋转臂200。是以第二固定部320通过第 一 夹持部330枢接至旋转臂200 ， 而具有可上下回动的自由度。
当旋转底座100带动旋转臂200旋转达一预定速度时(例如为1500rpm), 因为离心力的关系，第二固定部320会以枢接处(即枢接孔330h)为中心往上 回动，此时第二固定部320的第二夹持部330适于夹持待洗物体。
请再参照图7,其绘示固定装置安装于旋臂上的安装完成图(从旋转的离 心方向往中心看过去)。用于固定第一固定部310和旋转臂200的螺栓为360，而用于固定第二 固定部320中的第一夹持部330和第二夹持部340的螺栓为355。
根据本创造的特征，螺栓360和螺栓355的锁入方向及锁入方式互不干 扰。亦即第一固定部310安装到旋转臂200的方式，或自旋转臂200拆卸下 来的方式，不会受到第二固定部320的干扰。且第二固定部中的第二夹持部 340安装到第一夹持部330的方式，或自第一夹持部330拆卸下来的方式， 不会受到第一固定部310的干扰。
又，第一固定部310安装至旋转臂200或自旋转臂200拆卸的方式，不 会受到第二固定部320与旋转臂200的枢接方式的影响。
是以，根据本实用新型的特征，在安装完成固定装置300之后，可依维 修或其他需要各自拆卸第一固定部、第二固定部。尤其是针对磨损频率较高 的第一固定部、第二固定部中的第二夹持部可以独立地更换。在不动到第二 固定部与旋转臂的枢接的状况下，就可以直接更换第二夹持部。
请再参照图8、图9，其绘示洗边机在运作时固定装置的动作示意图， 其中图8为旋转底座处于低速旋转的状态，图9为旋转底座处于高速旋转的 状态。
如第8图所示，在旋转底座静止时，待洗物体500，例如为晶片，被放 置于多个固定装置310之间，并受到第一固定部310的支撑部314所支撑。 接着旋转底座开始低速旋转，此时第二固定部320因自重而下垂，待洗物体 500受到第一固定部310的阻挡部316的挡止便不会因离心力而脱出。
如第9图所示，当旋转底座加速至一预定速度时，例如为1500rpm，第 二固定部320因受到离心力的影响，往上回动，此时便由第二固定部320的 第二夹持部340扣夹住待洗物体500，防止待洗物体500脱出。
根据本实用新型的特征，至少具有下列优点
1. 第一固定部是以卡榫方式连接至旋转臂，安装及拆卸方便。
2. 第二固定部中负责和旋转臂枢接的部分(第 一 夹持部)，以及负责夹持 待洗物体的部分(第二夹持部)被分成两个元件再组合固定，是以，更换第二 夹持部时，不需拆卸第一夹持部，不会影响到枢接精度，也不会因多次拆装
抠接的第一夹持部而无故地磨耗了枢接的元件(例如销)。又，第一夹持部和 第二夹持部是以卡榫连接方式相固定，安装及拆卸方便。3. 第 一部固定部和旋转臂的固定方向、固定方式不会受到枢接于旋转臂 上的第二固定部的干扰。因而损耗频率不同的第一固定部和第二固定可各自 独立拆装，减少维修时间。
4. 支撑部是以点接触的式接触到待洗物体，所以可以减少待洗物体和支 撑部的磨擦力。
5. 使支撑部和阻挡部采用耐磨耗材质，可以减少更换的频率。
6. 旋转臂是以卡榫方式连接至旋转旋转底座，安装及拆卸方便。
权利要求1. 一种洗边机的固定装置，适用于与洗边机的旋转臂相连接，其特征在于，该固定装置包括第一固定部，以卡榫连接的方式连接至该旋转臂，该第一固定部包括一载台部，一支撑部以及一阻挡部，该支撑部固定于该载台部上，该阻挡部与该载台部相连并高于该支撑部；第二固定部，枢接至该旋转臂，具有可上下回动的自由度，且该第二固定部包括一第一夹持部及第二夹持部，该第一夹持部与该第二夹持部以卡榫连接的方式相固定，且由该第一夹持部枢接至该旋转臂，当该旋转臂旋转至一预定速度时，该第二固定部的该第二夹持部适于向上回动而夹持一待洗物体，而当该旋转臂未旋转至该预定速度时，该第一固定部的阻挡部适用于挡止该待洗物体。
2. 如权利要求1所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该第一固定部 的支撑部以点接触的方式接触该待洗物体。
3. 如权利要求2所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该第一固定部 的支撑部具有一弧状表面，用以接触该待洗物体。
4. 如权利要求2所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该笫一固定部 的支撑部的材质为耐磨耗材质。
5. 如权利要求1所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该阻挡部的材 质为耐磨耗材质。
6. 如权利要求4或5所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该耐磨耗 材质包括聚醚醚酮。
7. 如权利要求1所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该载台部、该 支撑部、该阻挡部是一体成形。
8. 如权利要求1所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该旋转臂与该 第 一 固定部之一具有一第 一滑槽，且该旋转臂与该第 一固定部之另 一具有与 该第 一滑槽对应的 一第 一 凸部。
9. 如权利要求8所述的洗边机的固定装置，其特征在于，还包括一第一 螺栓固定该旋转臂与该第 一 固定部。
10. 如权利要求9所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该第一滑槽供该旋转臂或该第 一 固定部滑入，并通过锁入该第 一螺栓固定该旋转臂与该第 一固定部，且该第一滑槽的滑入的方向、锁入该第一螺栓的方向不受到该第二固定部的干"^L。
11. 如权利要求1所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该第一夹持部与该第二夹持部之一具有一第二滑槽，且该第一夹持部与该第二夹持部的另 一具有与该第二滑槽对应的一第二凸部。
12. 如权利要求11所述的洗边机的固定装置，其特征在于，还包括一第 二螺栓固定该第一夹持部与该第二夹持部。
13. 如权利要求12所述的洗边机的固定装置，其特征在于，该第二滑槽 供该第一夹持部或该第二夹持部滑入，并通过锁入该第二螺栓固定该第一夹 持部与该第二夹持部，且该第二滑槽的滑入的方向、锁入该第二螺栓的方向 不受到该第一固定部的干扰。
14. 一种洗边机，包括 旋转底座；多个旋转臂，该些旋转臂的一端是以卡榫连接的方式，等间隔地固定至 该旋转底座；以及其特征在于，该洗边机还包括 多个如权利要求1所述的固定装置，其中该些旋转臂的另 一端以卡榫方式连接着该第 一 固定部，且该另 一端 枢接着该第二固定部。
15. 如权利要求14所述的洗边机，其特征在于，该旋转底座与该旋转臂 之一具有一第三滑槽，且该旋转座与旋转臂之另一具有与该第三滑槽对应的 一第三凸部。
16. 如权利要求15所述的洗边机，其特征在于，还包括一第三螺栓固定 该旋转底座与该旋转臂。
专利摘要本实用新型公开一种洗边机及洗边机的固定装置。洗边机的固定装置适用于与洗边机的旋转臂相连接，固定装置包括以卡榫连接的方式连接至旋转臂的第一固定部及枢接至旋转臂而具有可上下回动自由度的第二固定部。第一固定部包括载台部、支撑部以及阻挡部，支撑部固定于载台部上，阻挡部与载台部相连并高于该支撑部。第二固定部包括以卡榫方式相连接固定的第一夹持部及第二夹持部，且由第一夹持部枢接至旋转臂。当旋转臂旋转至一预定速度时，第二夹持部适于向上回动而夹持待洗物体，而当旋转臂未旋转至预定速度时，阻挡部适用于挡止待洗物体。
文档编号H01L21/67GK201307587SQ20082020828
公开日2009年9月9日 申请日期2008年9月10日 优先权日2008年9月10日
发明者戴志钊, 林政均, 郑锜彪, 陈柏元 申请人:联华电子股份有限公司