专利名称：电子器件的制作方法
技术领域：
这里描述的实施方式涉及具有其上安装了螺旋电感器和芯片的绝缘 基板的电子器件。
背景技术：
对于诸如移动电话、通信终端以及个人计算机等信息处理装置的提 速、小型化、多功能化以及省电而言，已经进行了诸多的实践。为了实
现这些尝试，要求电子器件具有较高的集成度及较高的性能。通过其中 在单个模块中容纳了诸如半导体芯片和电感器等多个元件的多芯片模块
可以满足这种要求(参见日本特开专利公报第10-294421号(文件1)和 第2000-36657号(文件2))。
在日本特开专利公报第2006-157738号(文件3)和第2007-67236号 汰件4)中描述了一种具有其上形成有螺旋电感器的绝缘基板的电子器件。
优选地，其中集成了半导体芯片和电感器的电子器件具有这样的结 构，即，如文件3和文件4中所描述的那样通过形成在绝缘基板上的互 连层来形成螺旋电感器，从而使电感器小型化并改善其Q值。应该注意 到，通过互连层而形成的螺旋电感器会产生强磁场。半导体芯片使用导 电硅基板。当半导体芯片被放置在由螺旋电感器形成的强磁场中时，在 半导体芯片中产生了涡电流，会造成形成在半导体芯片中的电路的故障。
发明内容
本发明的目的是提供一种电子器件，这种电子器件包括芯片及螺旋 电感器并具有降低了的芯片故障率。
本发明的一个方面提供了一种电子器件，这种电子器件包括绝缘 基板；螺旋电感器，其由设置在绝缘基板的第一表面上的互连层形成；第一芯片，其安装在该绝缘基板的与第一表面相对的第二表面上，并且 电连接到包括该螺旋电感器的无源电路，第一芯片具有导电基板；以及 第一突起，其设置在该绝缘基板的第一表面和第二表面中的一个表面上， 并且从该表面突起，第一突起将该无源电路与第一芯片中的一个电连接 到外部电路。
本发明的目的和优点将通过权利要求中特别指出的元件和组合来实 现和获得。
应当理解，上面的一般描述和下面的详细描述都是示例性的和说明 性的，并不构成对要求保护的发明的限制。
图1是根据本发明一个方面的电子器件的截面图2A到2C示出了第一实施方式；
图3是电感器的立体图4A到4C示出了第二实施方式；
图5A到5C示出了第三实施方式；
图6A到6C示出了第四实施方式；
图7A到7C示出了第五实施方式；
图8A到8C示出了第六实施方式；
图9A到9C示出了第七实施方式；
图10A到10C示出了第八实施方式；
图IIA到IIC示出了第九实施方式；
图12A到12C示出了第十实施方式；
图13A到13C示出了第十一实施方式；
图14A到14C示出了第十二实施方式；
图15A到15C示出了第十三实施方式；
图16A到16C示出了第十四实施方式；
图17A到17C示出了第十五实施方式；
图18A到18C示出了第十六实施方式(第一部分);
5图19A到19C示出了第十六实施方式(第二部分)； 图20A到20D示出了第十七实施方式(第一部分)； 图21A和21B示出了第十七实施方式(第二部分)； 图22A到22D示出了第十七实施方式(第三部分)； 图23A和23B示出了第十七实施方式(第四部分)；而 图24A和24B示出了第十七实施方式(第五部分)。
具体实施方式
首先，将给出本发明的一个方面的说明。图1是根据本发明一个方 面的电子器件的截面图。绝缘基板10的上表面上形成有由诸如铜(Cu) 或金(Au)等金属制成的互连线，绝缘基板10可由HTCC (高温共烧陶 瓷)或LTCC (低温共烧陶瓷)制成。该互连层形成了螺旋电感器40。 螺旋电感器40可直接地或通过绝缘膜间接地形成在绝缘基板10的上表 面上。绝缘基板10的下表面上安装了具有导电基板的第一芯片20。第一 芯片20可以通过倒装式安装或正装式安装而固定到绝缘基板10上。第 一芯片20经由绝缘基板10内的互连线电连接到螺旋电感器40和另一元 件(该元件例如可以是在下文描述的实施方式中釆用的第二芯片、第三 芯片或表面安装部件)。第一芯片20可连接到包括螺旋电感器40的无源 电路。该无源电路可以是仅由螺旋电感器40形成的电路，或者是除了螺 旋电感器40以外还包括电容器、电阻器及导线中的至少一个的电路。该 无源电路可包括多个电感器或多个电容器。第一突起60设置在绝缘基板10的下表面上并且从绝缘基板10突 起。第一突起60是将包括螺旋电感器40的无源电路或第一芯片20电连 接到外部安装板等的元件。可以改变图1中所示出的结构，使得第一突 起60固定到绝缘基板10的上表面上。无源电路或第一芯片20可电连接 到另一元件(该元件例如可以是在下文描述的实施方式中采用的第二芯 片、第三芯片或表面安装部件)。根据图1所示的结构，第一芯片20被安装得与螺旋电感器40相交 叠，由此能够使电子器件小型化。螺旋电感器40形成在绝缘基板10的上表面上，而导电的第一芯片20安装在绝缘基板10的下表面上。由此 可以增大螺旋电感器40与第一芯片20之间的距离并减小由第一芯片20 上的螺旋电感器40产生的磁通量密度。由此可以抑制第一芯片20的故 障。还可以减少由于螺旋电感器40而在第一芯片20中流动的涡电流所 造成的损耗。另外，可以高效地安装螺旋电感器40及第一芯片20。 [第一实施方式]图2A是根据第一实施方式的电子器件的平面图，图2B是根据第一 实施方式的电子器件的仰视图，而图2C是沿图2A和2B中所绘的线A-A 截取的截面图。绝缘基板10例如是由三个层10a、 10b和10c组成的陶 瓷多层基板。通过电极12，为绝缘基板10设置了内互连14和焊盘电极 16。螺旋电感器40和MIM (金属-绝缘体-金属)电容器50形成在绝缘 基板10的上表面上。螺旋电感器40和电容器50形成了无源电路。绝缘 基板10的上表面上设置有第二突起80，从而包围螺旋电感器40和电容 器50。第二突起80具有由诸如陶瓷的绝缘元件形成的空腔壁。第二突起 80上安装有第二芯片30。密封元件98覆盖了第二突起80与第二芯片30。 因而，可以将由第二突起80和第二芯片30所限定的空腔卯密封起来。 密封元件98可以是以绝缘树脂或玻璃作为主要成分的绝缘材料或者是包 括导电物质的焊接材料。螺旋电感器40包括第一线圈41、第二线圈42以及用于连接第一线 圈41和第二线圈42的连接部45。电容器50由下电极51、介电层52以 及上电极53构成。螺旋电感器40和电容器50通过互连46与47而连接。 连接部55电连接了第二芯片30与电感器或第一芯片20。图3是螺旋电感器40的立体图。如图所示，螺旋电感器40具有形 成在绝缘基板10上并被成形为螺旋的第一线圈41，以及形成在第一线圈 上方并与其分开的第二线圈42。第一线圈41和第二线圈42通过连接部 45在最内端连接在一起，而通过另一连接部45在最外端连接在一起。第 一线圈41与第二线圈42之间的空间实现了具有紧凑尺寸和高Q值的电 感器。由于螺旋电感器40设置在空腔90中，因此可以在第一线圈41与 第二线圈42之间限定该空间。回到图2A到2C，通过使用由焊料形成的连接部35在绝缘基板10 的上表面上设置有第三芯片32和表面安装部件34。表面安装部件34可 以是芯片式电容器或芯片式电感器。具有导电基板的第一芯片20通过使用由焊料构成的连接部28而安 装在绝缘基板10的下表面上。第一突起60被设置得围绕第一芯片20。 第一凸起60具有例如由陶瓷制成的绝缘空腔壁(绝缘元件)61、内互连 62以及第一电极63。第一电极63设置在空腔壁61的末端，并且将包括 第一芯片20及螺旋电感器40的无源电路电连接到外部电路。除了第一 芯片20或无源电路之外，第二芯片30 (或者稍后将描述的第三芯片)也 可以经由设置在第一突起60的末端的第一电极63电连接到外部电路。第 一芯片20或无源电路可经由其它部件(例如可以是电容器50或表面安装 部件34)电连接到第一电极64。空腔壁61可与绝缘基板10 —体地形成。为了减小螺旋电感器40所产生的磁场的影响，优选地将基板导电率 相对较高的第一芯片20安装在绝缘基板10的下表面上，而将基板导电 率比第一芯片20的基板要弱的第二芯片30或第三芯片32安装在绝缘基 板10的上表面上。第一芯片20安装在绝缘基板10的与安装有螺旋电感 器40的表面相对的表面上，而第二芯片30或第三芯片32安装在绝缘基 板10的形成有螺旋电感器40的表面上。第二芯片30安装在螺旋电感器40的上方。这使得可以将电子器件 小型化。第二突起80设置在绝缘基板10的上表面上，从而第二芯片30 可以容易地安装在螺旋电感器40的上方。螺旋电感器40被第二突起80和第二芯片30所密封或覆盖。例如， 在设置了 SAW (表面声波)器件、FBAR (薄膜体声波谐振器)器件或 MEMS (微电子机械系统)器件的情况下，同样密封地覆盖这些器件。 应注意的是，需要将这些器件密封起来。之所以需要将螺旋电感器40密 封起来是由于第一线圈41与第二线圈42之间存在着空间。根据第一实 施方式，可以同时地将所有上述器件密封起来。第一突起60高于第一芯片20。因此，即使当外部安装板平坦时，也可 以容易地安装第一实施方式的电子器件。第二突起80高于螺旋电感器40和电容器50。因此可以容易地将平坦的第二芯片30安装在第二突起80上。 [第二实施方式]图4A是根据第二实施方式的电子器件的平面图，图4B是其仰视图， 而图4C是沿图4A和4B中所绘的线A-A截取的截面图。图4B的仰视 图穿透了第一盖板(lid)。参照图4A到4C，第二实施方式的电子器件具 有第一突起60，其与第一实施方式的第一突起的不同之处在于，第二实 施方式的第一突起60具有空腔壁61和第一盖板65。第一盖板65通过焊 接或粘合剂制成的密封环66接合到空腔壁61上。按照以上这种结构， 密封出一个空腔70。第一芯片20和22以及表面安装器件24安装在绝缘 基板10的下表面上。第二实施方式的其它结构都与第一实施方式相同， 因此将省略对这些结构的描述。根据第二实施方式，第一突起60具有借以将第一芯片20和22密封 起来的第一盖板65。可以在绝缘基板10的下表面上安装多个第一芯片 20和22，并且可以在它们上面安装表面安装器件24。[第三实施方式]图5A是根据第三实施方式的电子器件的平面图，图5B是其仰视图， 而图5C是沿图5A和5B中所绘的线A-A截取的截面图。图5B的仰视 图穿透了第一盖板。参照图5A到5C，第三实施方式的电子器件与第二 实施方式的电子器件的不同之处在于，第三实施方式没有第二突起80， 并且螺旋电感器40没有被密封起来。第三实施方式的其它结构都与第二 实施方式相同。[第四实施方式]图6A是根据第四实施方式的电子器件的平面图，图6B是其仰视图， 而图6C是沿图6A和6B中所绘的线A-A截取的截面图。图6B的仰视 图穿透了第一盖板。参照图6A到6C，第四实施方式的电子器件与第三 实施方式的电子器件的不同之处在于，第四实施方式的第一盖板65是具 有内互连69的多层基板。除了设置在空腔壁61的末端的第一电极63以 外，第一盖板65的外表面上还设置有第一电极68。第一电极68用于将 包括第一芯片或螺旋电感器40的无源电路连接到外部电路。第四实施方式的其它结构都与第三实施方式相同。根据第四实施方式，第一电极68设置在第一盖板65的下表面上， 从而可以像球栅阵列那样设置大量的第一电极68。 [第五实施方式]图7A是根据第五实施方式的电子器件的平面图，图7B是其仰视图， 而图7C是沿图7A和7B中所绘的线A-A截取的截面图。图7B的仰视 图穿透了第一盖板。参照图7A到7C，第五实施方式的电子器件与第四 实施方式的电子器件的不同之处在于，由例如陶瓷制成的绝缘空腔壁61 与第一盖板65—体地形成。第一突起60与绝缘基板10分隔开，并且通 过由焊料、粘合剂等制成的密封环以及由焊料形成的连接部74而连接到 绝缘基板10，从而将绝缘基板10的内互连14与第一突起60的内互连 62电连接起来。第五实施方式的其它结^都与第四实施方式相同。根据第五实施方式，第一突起60与绝缘基板10分隔开并且通过连 接部74及密封环75连接到绝缘基板10。因此，可以通过印刷方式来形 成绝缘基板10的表面上的焊盘电极16，从而可以简化制造工艺。[第六实施方式]第六实施方式具有这样的结构，其中第一突起60设置在绝缘基板10 的上表面上。图8A是根据第六实施方式的电子器件的平面图，图8B是 其仰视图，而图8C是沿图8A和8B中所绘的线A-A截取的截面图。图 8B的仰视图穿透了第一盖板。参照图8A到8C，第六实施方式的电子器 件是这样构成的，即，第一突起60设置在绝缘基板10的上表面上。第一 突起60密封式地覆盖了第二芯片30、螺旋电感器40、电容器50以及表 面安装部件34。安装在绝缘基板10的下表面上的第一芯片20被暴露出来。[第七实施方式]图9A是根据第七实施方式的电子器件的平面图，图9B是其仰视 图， 而图9C是沿图9A和9B中所绘的线A-A截取的截面图。图9B的仰视 图穿透了第一盖板。参照图9A到9C，第七实施方式的电子器件与第六 实施方式的电子器件的不同之处在于，第一突起60具有与第二实施方式 的第一突起相似的结构，其中空腔壁61与第一盖板65相互分隔开并且通过密封环66相接合。第七实施方式的其它结构都与第六实施方式相同。 [第八实施方式]图IOA是根据第八实施方式的电子器件的平面图，图IOB是其仰视 图，而图IOC是沿图IOA和10B中所绘的线A-A截取的截面图。图10B 的仰视图穿透了第一盖板。参照图IOA到IOC，第八实施方式的电子器 件与第六实施方式的电子器件的不同之处在于，第一突起60的空腔壁61 与第一盖板65—体地形成，并且第一盖板65具有内互连69。另外，第 一电极68形成在第一盖板65的上表面上。第八实施方式的其它结构都 与第六实施方式相同。[第九实施方式]图IIA是根据第九实施方式的电子器件的平面图，图IIB是其仰视 图，而图11C是沿图11A和11B中所绘的线A-A截取的截面图。图11B 的仰视图穿透了第一盖板。参照图IIA到IIC，第九实施方式的电子器 件与第六实施方式的电子器件的不同之处在于第一突起60没有第一盖 板。第九实施方式的其它结构都与第六实施方式相同。[第十实施方式]图12A是根据第十实施方式的电子器件的平面图，图12B是其仰视 图，而图12C是沿图12A和12B中所绘的线A-A截取的截面图。参照图 12A到12C，第十实施方式的电子器件与第九实施方式的电子器件的不 同之处在于，第二芯片30安装在第一突起60上。另外，该电子器件具 有用于覆盖第二芯片30的密封元件98和第二突起80。因此，如同第一 实施方式中那样，螺旋电感器40和电容器50被密封起来。第十实施方 式的其它结构都与第九实施方式相同。[第十一实施方式]图13A是根据第十一实施方式的电子器件的平面图，图13B是其仰 视图，而图13C是沿图13A和13B中所绘的线A-A截取的截面图。参照 图13A到13C，第十一实施方式的电子器件与第七实施方式的电子器件 的不同之处在于，在绝缘的第一盖板65中形成有金属制成的保护电极 (shield electrode) 76。该保护电极防止螺旋电感器40的磁场影响外部电路或元件。
图14A是根据第十二实施方式的电子器件的平面图，图14B是其仰 视图，而图14C是沿图14A和14B中所绘的线A-A截取的截面图。参照 图14A到14C，第十二实施方式的电子器件与第十一实施方式的电子器 件的不同之处在于，第一盖板65由金属制成。第一盖板65起到了保护 电极的作用。因此能够防止螺旋电感器40的磁场影响外部电路或元件。
第十三实施方式的电子器件具有这样的结构，其中第一突起60设置 在绝缘基板10的下表面上，而第二突起80设置在绝缘基板10的上表面 上。图15A是根据第十三实施方式的电子器件的平面图，图15B是其仰 视图，而图15C是沿图15A和15B中所绘的线A-A截取的截面图。参照 图15A到15C，第十三实施方式的电子器件与第四实施方式的电子器件 的不同之处在于，第二突起80设置在绝缘基板10上。第二突起80是这 样配置的，即，通过诸如陶瓷的绝缘元件一体地形成了空腔壁81和第二 盖板85。空腔壁81和第二盖板85中分别设置有内互连82和89。第二 盖板85的外表面上设置有第二电极88。第二电极88用于将包括螺旋电感 器40和第一芯片20或第二芯片30的无源电路电连接到外部器件或电路。 第二突起80通过可由焊料或粘合剂制成的密封环95而接合到绝缘基板 10。可由焊料形成的连接部94用于连接绝缘基板10的内互连14和空腔 壁81中的内互连82。第十三实施方式的其它结构都与第四实施方式相同。
根据第十三实施方式，第二突起80设置在绝缘基板10的上表面上 (与其设置有第一突起60的表面相对)。第二突起80具有第二盖板85， 该第二盖板85—般被提供给螺旋电感器40和第二芯片30以便实现密封。
图16A是根据第十四实施方式的电子器件的平面图，图16B是其仰 视图，而图16C是沿图16A和16B中所绘的线A-A截取的截面图。参照 图16A到16C，第十四实施方式的电子器件与第十三实施方式的电子器 件的不同之处在于，第三芯片100经由焊料等制成的凸点102安装在第
12二突起80的第二电极83和88上。第十四实施方式的其它结构都与第十
三实施方式相同。
根据第十四实施方式，第三芯片100安装在第二盖板85的外表面上， 从而可以提高安装密度。 [第十五实施方式]
第十五实施方式的电子器件具有这样的结构，其中第一突起60设置 在绝缘基板10的上表面上，而第二突起80安装在绝缘基板10的下表面 上。图17A是根据第十五实施方式的电子器件的平面图，图17B是其仰 视图，而图17C是沿图17A和17B中所绘的线A-A截取的截面图。参照 图17A到17C,第十五实施方式的电子器件与第八实施方式的电子器件 的不同之处在于，第二突起80设置在绝缘基板10的下表面上。第二突 起80与第四实施方式的第一突起60相同。第三芯片100经由焊料等制
成的凸点102安装在第二电极83和88上。第十五实施方式的其它结构 都与第八实施方式相同。
根据第十五实施方式，第一突起60设置在绝缘基板10的上表面上， 而第二突起80设置在绝缘基板10的下表面上。 [第十六实施方式]
第十六实施方式是制造第一实施方式的电子器件的方法。图18A到 19C分别是示出制造该电子器件的方法的截面图。参照图18A，制造出 具有与第一突起60 —体形成的绝缘基板10的LTCC晶片。参照图18B， 在绝缘基板10上形成螺旋电感器40、电容器50以及连接部55。例如可 以通过在文件3或文件4中描述的方法来制造螺旋电感器40以及电容器 50。例如由焊料制成的连接部35形成在绝缘基板10上，以便安装由陶 瓷制成的第二突起80以及表面安装部件。参照图18C，以倒装法将第二 芯片30 (可以是SAW器件)安装在连接部55和第二突起80上。涂敷 光敏环氧树脂(未示出)，从而覆盖第二突起80和第二芯片30。之后， 在18(TC到20(TC的温度下对光敏环氧树脂进行退火，由此使其固化。
参照图19A，利用连接部35将表面安装部件34安装在绝缘基板10 的上表面上。参照图19B,通过涂敷来提供SOG (玻璃上旋涂)涂覆膜并通过在例如20(TC下退火而使其固化。在图19B中，将光敏环氧树脂 和涂涂覆一体地示为密封元件98。涂覆膜防止水透入光敏环氧树脂。通 过使用充当连接部的焊盘电极16以倒装法将第一芯片20安装在绝缘基 板10的下表面上。
第十七实施方式是制造第十二实施方式的电子器件的方法。图20A 到21B是示出制造该电子器件的方法的截面图。图22A、 22B以及23B 分别是从绝缘基板10的上表面120观察的该电子器件的立体图，而图 22C、 22D以及23A分别是从下表面122观察的立体图。参照图20A，制 造出由陶瓷多层基板形成的绝缘基板10。参照图20B，通过印刷在绝缘 基板10的上表面120上形成由焊料制成的连接部35。以例如在文件3或 文件4中描述的方法形成螺旋电感器40、电容器50以及连接部55。参 照图20C和22A，以倒装法将第二芯片30安装在连接部55上。参照图 20D和22B，将表面安装部件34安装在连接部35上。
图22C示出了绝缘基板10的下表面122。参照图21A和22D，利用 由焊料等制成的连接部28以倒装法将第一芯片20和表面安装器件24安 装在绝缘基板10的下表面122上。参照图23A，利用由焊料等制成的连 接部74在绝缘基板10的上表面120上形成第一突起60的空腔壁61 。参 照图21B和23B，将类似不锈钢的金属所制成的第一盖板65安装在空腔 壁61上。因此，完成了该电子器件。图24A是从所完成的电子器件的上 面观察的立体图。
根据第十七实施方式，绝缘基板10和第一突起60的空腔壁61是以 单独的陶瓷基板形成的，并通过焊料连接起来。因此可以使用印刷方法 来形成图20B和22A中示出的连接部35。
第一到第十七实施方式采用了陶瓷多层基板作为绝缘基板10。优选 的是，通过形成在晶片中的类似HTCC或LTCC等的陶瓷基板来形成绝 缘基板10。如此形成的绝缘基板IO具有令人满意的机械强度。在与第十 七实施方式相关的图20B中，可以通过半导体工艺来制造螺旋电感器40 和电容器50。绝缘基板10可以是具有贯通电极(through electrod)的玻璃基板或者是具有高阻抗的半导体晶片。绝缘基板io可以是由树脂制成 的基板或者是印制电路板。应注意的是，电容器50的介电层52 (见图 2C)是在高达30(TC或更高的温度下形成的。因此优选地由具有高热阻 的陶瓷、半导体或玻璃等来形成绝缘基板10。
优选地以例如HTCC或LTCC等形成在晶片中的陶瓷基板来形成第 一突起60和第二突起80。可以使用具有内互连的树脂基板。优选地以例 如HTCC或LTCC等形成在晶片中的陶瓷基板来形成第一盖板和第二盖 板。因此，与第四、第八、第十三、第十四或第十五实施方式一样，可 以在第一盖板65和第二盖板85内形成多层内互连。第一电极68和第二 电极88可设置在第一盖板65的外表面上和第二盖板85的外表面上。可 以将第一电极68和第二电极88设置为栅格，从而可以设置多个第一电 极68和多个第二电极88。
第一突起60和第二突起80可将绝缘基板10的上表面和下表面划分 为多个部分。在此情况下，各个部分都具有各自的空腔。
在绝缘基板10或具有多层内互连的第一盖板65和第二盖板85中， 内互联14、 69以及89可用于形成部分或全部的电阻器、电容器、电感 器、分布恒定线(distribution constant line)(微带或耦合器)、分布恒定 谐振器、集总参数滤波器和/或分布恒定滤波器。诸如IC芯片的有源元件 可以内置在绝缘基板IO、第一盖板65和/或第二盖板85中。
除了螺旋电感器40和电容器50，设置在绝缘基板10上的无源元件 可以部分或全部是电阻器、分布恒定线(微带或耦合器)、分布恒定谐振 器、集总参数滤波器和/或分布恒定滤波器。
本文引用的全部示例和条件语言都是出于教导目的以帮助读者理解 本发明的原理和发明人为发展现有技术而贡献的概念，应视为不限于这 些具体引用的示例和条件，并且说明书中这些实施例的组织也不涉及对 本发明的优点和缺点的展示。尽管已经详细描述且示出了本发明的一些 实施方式，但应理解，可以对本发明进行各种改变、替换和更改，而不 会偏离本发明的精神和范围。
权利要求
1、一种电子器件，这种电子器件包括绝缘基板；螺旋电感器，其由设置在该绝缘基板的第一表面上的互连层形成；第一芯片，其安装在该绝缘基板的与第一表面相对的第二表面上，并且电连接到包括该螺旋电感器的无源电路，第一芯片具有导电基板；以及第一突起，其设置在该绝缘基板的第一表面和第二表面中的一个表面上并且从该表面突起，第一突起将该无源电路与第一芯片中的一个电连接到外部电路。
2、 根据权利要求l所述的电子器件，这种电子器件还包括设置在所 述绝缘基板的第一表面上的第二芯片。
3、 根据权利要求2所述的电子器件，其中，第二芯片具有导电率比 第一芯片的所述导电基板的导电率低的基板。
4、 根据权利要求2所述的电子器件，其中，第二芯片设置在所述螺 旋电感器的上方。
5、 根据权利要求l所述的电子器件，其中，所述螺旋电感器包括 设置在所述绝缘基板上的螺旋形的第一线圈；以及与第一线圈分隔开并位于其上方的螺旋形的第二线圈。
6、 根据权利要求l所述的电子器件，其中，第一突起包括绝缘元 件；以及设置在所述绝缘元件的末端并电连接到所述无源电路和第一芯 片中的一个的第一电极。
7、 根据权利要求6所述的电子器件，其中，所述绝缘元件与所述绝 缘基板一体地形成。
8、 根据权利要求6所述的电子器件，其中，第一突起与所述绝缘基板分隔开并通过连接部与之相连。
9、 根据权利要求l所述的电子器件，其中，第一突起包括密封地覆 盖了第一芯片和/或所述螺旋电感器的第一盖板。
10、 根据权利要求9所述的电子器件，其中，第一突起包括设置在 第一盖板的外表面上并将所述无源电路和第一芯片中的一个电连接到所 述外部电路的第一电极。
11、 根据权利要求9所述的电子器件，其中，第一盖板包括保护电极。
12、 根据权利要求2所述的电子器件，该电子器件还包括设置在所 述绝缘基板的第一表面上并将第二芯片安装在所述螺旋电感器上方的第 二盖板。
13、 根据权利要求12所述的电子器件，其中，第二突起和第二芯片 密封地覆盖了所述螺旋电感器。
14、 根据权利要求13所述的电子器件，其中，在第二芯片的面对所 述绝缘基板的所述上表面的表面上形成有SAW器件、FBAR器件或者 MEMS器件。
15、 根据权利要求1所述的电子器件，该电子器件还包括设置在所 述绝缘基板的第一表面和第二表面中的另一个表面上并密封地覆盖第一 芯片和/或所述螺旋电感器的第二突起。
16、 根据权利要求15所述的电子器件，该电子器件还包括安装在第 二盖板的外表面上的第三芯片。
17、 根据权利要求15所述的电子器件，其中，第二突起设置在所述 绝缘基板的第一表面上，第二盖板密封地覆盖了所述螺旋电感器和设置 在所述螺旋电感器上方的第二芯片。
18、 根据权利要求17所述的电子器件，其中，第二芯片包括SAW 器件、FBAR器件或者MEMS器件，所述螺旋电感器包括设置在所述绝 缘基板上的螺旋形的第一线圈，以及与第一线圈分隔开并位于其上方的 螺旋形的第二线圈。
19、 根据权利要求1所述的电子器件，其中，所述绝缘基板是陶瓷 基板。
全文摘要
本发明提供了一种电子器件。这种电子器件包括绝缘基板；螺旋电感器，其由设置在绝缘基板的第一表面上的互连层形成；第一芯片，其安装在该绝缘基板的与第一表面相对的第二表面上，并且电连接到包括该螺旋电感器的无源电路，第一芯片具有导电基板；以及第一突起，其设置在该绝缘基板的第一表面和第二表面中的一个表面上，并且从该表面突起，第一突起将该无源电路与第一芯片中的一个电连接到外部电路。
文档编号H01L23/498GK101521198SQ20091011821
公开日2009年9月2日 申请日期2009年2月25日 优先权日2008年2月26日
发明者上田知史, 宓晓宇, 山本真哉, 梯达也, 石黑秀彦, 高桥岳雄 申请人:富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社