专利名称：硅芯盛载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅材料加工中使用的盛载装置，尤其涉及一种用于 硅材料清洗设备中的硅芯盛载装置。
背景技术：
现有硅材料清洗设备中，硅芯在腐蚀处理过程中容易接触在一起，导致 腐蚀不完全，影响产品质量。因此，如何在硅芯材料腐蚀处理过程中使硅芯 相互隔开，保证整个腐蚀处理过程中没有死点，是业内亟待解决的一个技术 问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述现有技术中存在的问题，提出一种硅芯盛 载装置，该装置能保证硅芯在腐蚀处理过程进行的更彻底。
本实用新型采用的技术方案是设计一种硅芯盛载装置，该装置包括左 转动轮盘和右转动轮盘，左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手；安装在 左右转动轮中心孔之间的中心轴；至少两个套设在该中心轴上的硅芯圓盘， 所述硅芯圓盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。
在本实用新型的一个实施例中，所述硅芯圆盘上的腔体向外设置有开 口 ，所述的硅芯圆盘上设置有两个可打开/封闭所述腔体开口的转动盖板。
在本实用新型的另一个实施例中，所述硅芯圆盘上的腔体为封闭孔，所 述的左右转动轮盘上设置有与所述腔体上的封闭孔对应的插孔。
与现有技术相比，本实用新型采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将 硅芯放入硅芯盛载蓝中，保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起，使硅芯 在整个腐蚀处理过程中没有死点，腐蚀处理更彻底。
3如图对本实用新型进行详细的说明，其中
图l是本实用新型一实施例的结构示意图2是沿图1中A-A方向的剖视图3是本实用新型另一实施例的结构示意图4是沿图3中A-A方向的剖视图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型设计的硅芯盛载装置包括左转动轮盘1和右 转动轮盘2，左转动轮盘中心向外側伸出一提手11,右转动轮盘中心向外侧 伸出一提手21;安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴3;至少两个套设 在中心轴上的硅芯圆盘4。
硅芯圆盘4的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体41。在该实施例中，腔 体向外设置有开口 ，硅芯5可直接从硅芯圆盘的圆周边放入腔体。为防止硅 芯从腔体滑出，硅芯圓盘上设置有打开/封闭腔体开口的转动盖板42。转动 盖板可以为两个或多个，该实施例中有三个。转动盖板的内侧可以设计成与 硅芯周边配合的曲面，便于硅芯水平放置后装夹。。
图2为本实用新型的另一个实施例。在该实施例中，硅芯圆盘上的腔体 41为封闭孔，左右转动轮盘上设置有与腔体41上的封闭孔对应的插孔。硅 芯5直接从垂直左右转动轮盘的插孔中插入即可。为防止硅芯滑出，可以在 左右转动轮盘上设置防护装置。
本实用新型适用于不同规格的圆形、方形或其它形状的硅芯处理，有效
地保证了硅芯的腐蚀效果。
上述公开的具体实施例仅用于说明本实用新型，在本实用新型的构思下， 还可以有多种变化，这些变化应该涵盖在本实用新型权利要求的保护范围之 内。
权利要求1、一种硅芯盛载装置，其特征在于包括左转动轮盘和右转动轮盘，左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手；安装在左右转动轮中心孔之间的中心轴；至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘，所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。
2、 根据权利要求1所述的硅芯盛载装置，其特征在于所述硅芯圆盘上 的腔体向外设置有开口，所述的硅芯圓盘上设置有至少两个可打开/封闭所 述腔体开口的转动盖板。
3、 根据权利要求2所述的硅芯盛载装置，其特征在于所述的硅芯圓盘 上设置有三个转动盖板。
4、 根据权利要求1所述的硅芯盛载装置，其特征在于所述硅芯圆盘上 的腔体为封闭孔，所述的左右转动轮盘上设置有与所述腔体上的封闭孔对应 的插孔。
专利摘要本实用新型公开了一种硅芯盛载装置，包括左转动轮盘和右转动轮盘，左右转动轮盘中心分别向外侧伸出一提手；安装在所述左右转动轮盘通孔内的中心轴；至少两个套设在中心轴上的硅芯圆盘，所述硅芯圆盘的圆周上均匀设置有放置硅芯的腔体。本实用新型采用直接放入或从侧面垂直插入的方式将硅芯放入硅芯盛载蓝中，保证硅芯在腐蚀处理过程中不接触在一起，使硅芯在整个腐蚀处理过程中没有死点，腐蚀处理更彻底。
文档编号H01L21/687GK201378590SQ20092013523
公开日2010年1月6日 申请日期2009年2月27日 优先权日2009年2月27日
发明者仲 余, 黄进权 申请人:深圳市捷佳创精密设备有限公司