专利名称：外延片生产用支撑装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种外延片生产用支撑装置。
背景技术：
外延片的生产方法，是在衬底上生长单晶硅薄膜。生产时，衬底放置在承载盘上， 并且衬底随承载盘一起旋转。承载盘采用支撑架支撑，支撑架一般为圆形。承载盘上设置 与圆形的支撑架相配合的圆孔，圆孔套设在支撑架端部。通过转动支撑架可带动承载盘旋 转。但由于支撑架端部为圆形，承载盘上的凹槽也是圆形，因此，在转动过程中，支撑架和承 载盘容易产生相对运动，也就是打滑，造成承载盘无法按照预定的方向和速度旋转，影响外 延片的质量。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可确保承载盘按照预 定速度和方向旋转的外延片生产用支撑装置。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现外延片生产用支撑装置，包括承载盘，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架端 部安装有衬套，所述衬套为多边形，所述承载盘设置有与衬套相配合的第一凹槽，所述衬套 卡设在第一凹槽内。优选地是，所述的衬套上设置有第一台阶，所述第一凹槽内设置有与第一台阶相 配合的第一肩部，所述第一台阶卡设在第一肩部处。优选地是，所述的衬套为正多边形。优选地是，所述的衬套为正六边形。优选地是，所述的衬套为正方形。优选地是，所述衬套设置有多边形的第二凹槽，支撑架端部形状与第二凹槽形状 相配合，衬套卡设在支撑架端部。优选地是，所述第二凹槽内设置有第二肩部，支撑架端部设置有与第二肩部相配 合的第二台阶优选地是，所述第二凹槽为正多边形。优选地是，所述第二凹槽为正六边形。优选地是，所述第二凹槽为正方形。本实用新型中的外延片生产用支撑装置，由于采用多边形的衬套，衬套与通过支 撑架驱动承载盘转动的过程中，支撑架与承载盘之间不会产生相对运动。可确保承载盘按 照预定的方向和速度转动，运转稳定。进而可以提高外延片的生产质量。
图1为本实用新型的纵向剖视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述如图1所示，图1是以沿支撑架轴向剖切形成的剖视图。外延片生产用支撑装置， 包括承载盘1，承载盘1上设置有第一凹槽11，第一凹槽11为正六边形。还包括支撑架3，支撑架3端部安装有衬套2。衬套2为正六边形，衬套2与第一 凹槽11形状及大小相配合。衬套2沿外壁设置一圈第一台阶21，第一凹槽11内沿内壁设 置有一圈第一肩部12。衬套2嵌入第一凹槽11内，第一台阶21与第一肩部12相配合，将 衬套2卡设在第一凹槽11内。衬套2设置有正六边形的第二凹槽22，第二凹槽22内沿内壁设置有一圈第二肩部 23。支撑架3主体为圆柱形，端部形状与第二凹槽22形状相同，支撑架端部外壁设置 有一圈第二台阶31。支撑架3端部嵌入第二凹槽22内，第二台阶31与第二肩部23相配 合，将衬套2卡设在支撑架3的端部。本实用新型中的第一凹槽11、第二凹槽22还可以设置为其它的正多边形如正方 形代替正六边形形状。本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围 的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围 内。
权利要求外延片生产用支撑装置，包括承载盘，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架端部安装有衬套，所述衬套为多边形，所述承载盘设置有与衬套相配合的第一凹槽，所述衬套卡设在第一凹槽内。
2.根据权利要求1所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述的衬套上设置有 第一台阶，所述第一凹槽内设置有与第一台阶相配合的第一肩部，所述第一台阶卡设在第 一肩部处。
3.根据权利要求1所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述的衬套为正多边形。
4.根据权利要求3所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述的衬套为正六边形。
5.根据权利要求3所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述的衬套为正方形。
6.根据权利要求1所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述衬套设置有多边 形的第二凹槽，支撑架端部形状与第二凹槽形状相配合，衬套卡设在支撑架端部。
7.根据权利要求6所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述第二凹槽内设置 有第二肩部，支撑架端部设置有与第二肩部相配合的第二台阶。
8.根据权利要求6所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述第二凹槽为正多 边形。
9.根据权利要求8所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述第二凹槽为正六 边形。
10.根据权利要求8所述的外延片生产用支撑装置，其特征在于，所述第二凹槽为正方形。
专利摘要本实用新型公开了一种外延片生产用支撑装置，包括承载盘，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架端部安装有衬套，所述衬套为多边形，所述承载盘设置有与衬套相配合的第一凹槽，所述衬套卡设在第一凹槽内。本实用新型中的外延片生产用支撑装置，由于采用多边形的衬套，衬套与通过支撑架驱动承载盘转动的过程中，支撑架与承载盘之间不会产生相对运动。可确保承载盘按照预定的方向和速度转动，运转稳定。进而可以提高外延片的生产质量。
文档编号H01L21/683GK201754401SQ201020246539
公开日2011年3月2日 申请日期2010年7月1日 优先权日2010年7月1日
发明者楼琦江 申请人:上海晶盟硅材料有限公司