专利名称：等离子刻蚀机夹具基座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种夹具基座，特别涉及一种等离子刻蚀机夹具基座，用于晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀エ艺。
背景技术：
在晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀エ艺中，等离子刻蚀机装片用的夹具需要把刻蚀的硅片叠放在一起并压紧，使硅片与硅片之间没有间隙，用以确保等离子刻蚀机的辉光刻蚀只能够去除掉硅片边缘的PN结。因此在夹紧硅片前，需要确保硅片叠放整齐，边缘在同一平面上，如果没有叠放整齐，就会影响硅片的刻蚀效果，致使整批次的硅片 刻蚀量不均匀，刻蚀量多了会影响到硅片的有效面积，刻蚀量少了可能会导致短路，影响硅片的电流电压。因而需要人工对齐，人工对齐硅片不仅效率较低，而且容易造成硅片的损坏。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀机夹具基座，针对现有技术的不足，有效地解决了刻蚀机中硅片的叠放问题，減少了人力，提高了工作效率。本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，它包括底座板和若干弾性挡条，所述若干弾性挡条垂直布设与底座板上，且若干弹性挡条所围成区域与硅片的外轮廓相对应。在本实用新型的一个实施例中，所述若干弾性挡条内侧光滑平整。在本实用新型的一个实施例中，所述若干弾性挡条环绕围成的图形为正方形。本实用新型中的一种等离子刻蚀机夹具基座，在使用时先把夹具底座放置在底座板上，然后将硅片沿着弹性挡条所围成区域放在夹具底座上，再将上夹板装上，拧紧紧固螺栓。由于弹性档条的作用，可以确保硅片是整齐叠放在夹具装置内的，其边缘处于同一平面，并且弹性档条不易造成硅片的破碎。紧固螺栓栓紧后，就能通过提手把夹具装置取出放入刻蚀机内刻蚀了。本实用新型的有益效果是与现有技术相比，本实用新型一种等离子刻蚀机夹具基座有效地解决刻蚀机夹具装置中硅片无法叠放整齐的问题，不仅降低了硅片的损坏率，减少了人工劳动强度，还增加了工作效率。
图I为现有技术中刻蚀机夹具的侧视图；图2为本实用新型的侧视图；图3为本实用新型的俯视图；图4为本实用新型中夹具装置的俯视图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进ー步阐述本实用新型。如图2、图3和图4所示的一种等离子刻蚀机夹具基座，它包括底座板10和若干弹性挡条20，所述若干弾性挡条20垂直布设与底座板上10，且若干弾性挡条20所围成区域与硅片的外轮廓相对应。在本实用新型中，所述若干弾性挡条20内侧光滑平整。在本实用新型中，所述若干弾性挡条20环绕围成的图形为正方形。本实用新型中，所述底座板上10放置有夹具装置30，夹具装置30包括夹具底座31、上夹板32、提手33和若干紧固螺栓34，所述夹具装置30放置在弾性挡条20所围成的 区域中，上夹板32放置在夹具底座31上方，提手33安装在上夹板32上，紧固螺栓34沿着弹性挡条20外侧连接上夹板32和夹板底座31本实用新型中，所述ー种等离子刻蚀机夹具基座在使用时先把夹具底座21放置在底座板10上，然后将硅片沿着弾性挡条30放入夹具装置20内，再将上夹板装22上，拧紧紧固螺栓24。由于弹性档条30的作用，可以确保硅片是整齐叠放在夹具装置20内的，其边缘处于同一平面，并且弹性档条30不易造成硅片的破碎。紧固螺栓24栓紧后，就能通过提手23把夹具装置20取出放入刻蚀机内刻蚀了。本实用新型中，所述ー种等离子刻蚀机夹具基座有效地解决刻蚀机夹具装置中硅片无法叠放整齐的问题，不仅降低了硅片的损坏率，減少了人工劳动强度，还增加了工作效率。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，它包括底座板和若干弾性挡条，所述若干弾性挡条垂直布设与底座板上，且若干弹性挡条所围成区域与硅片的外轮廓相对应。
2.如权利要求I所述的ー种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述若干弾性挡条内侧光滑平整。
3.如权利要求I所述的ー种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述若干弾性挡条环绕围成的图形为正方形。
专利摘要本实用新型的目的在于公开一种等离子刻蚀机夹具基座，其特征在于，它包括底座板和若干弹性挡条，所述若干弹性挡条垂直布设于底座板上，且若干弹性挡条所围成区域与硅片的外轮廓相对应。与现有技术相比，本实用新型一种等离子刻蚀机夹具基座有效地解决刻蚀机夹具装置中硅片无法叠放整齐的问题，不仅降低了硅片的损坏率，减少了人工劳动强度，还增加了工作效率。
文档编号H01L21/687GK202434490SQ20112055311
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者王利 申请人:上海莹利光电科技有限公司