互连结构及其制造方法与流程

技术总结
本发明提供一种互连结构及其制造方法。所述互连结构的制造方法包括：在基底上形成多孔介质层；对所述多孔介质层进行表面处理，以形成隔离层；在所述隔离层上形成硬掩模。本发明还提供一种如所述的互连结构的制造方法所形成的互连结构。本发明能减少互连结构及其制造方法中的鼓包缺陷。

技术研发人员：周鸣
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201210550003
技术研发日：2012.12.17
技术公布日：2017.08.25