一种易加工的石墨舟卡点的制作方法

文档序号:7127984阅读:772来源:国知局
专利名称:一种易加工的石墨舟卡点的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种石墨舟卡点,特别涉及一种易加工的石墨舟卡点,可以现有石墨舟卡点加工改造而成。
背景技术
在太阳能电池片的制造过程中,硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上,目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中,采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。如

图1-3所示,现有的石墨舟卡点主要由卡块I和用于安装在石墨舟片安装孔中 的柱体形安装部2组成,卡块I为两个且对称分布在安装部2两端面上,卡块I是自外向内渐缩的圆柱体,其端面与侧面之间采用圆弧过渡面3,卡块I的根部9与安装部2的端面之间分别形成用于卡合硅片12的卡槽4,通常是采用三个石墨舟卡点(包括一个体积较大的卡点和两个体积较小的卡点)安装在石墨舟片上并位于镂空区域的周边,由于卡点会遮挡硅片,因此在镀膜工序中硅片被卡点遮挡的区域会产生工艺点,该工艺点不能与反应气体充分反应形成有效钝化层。因此,现有的石墨舟卡点存在以下缺陷⑴卡块的横截面为圆形,因此工艺点为比较明显的半圆形白点,而且随着不断地磨损,半圆形白点会逐渐增大,仅就外观而言就无法满足客户的要求;⑵工艺点的面积较大,影响镀膜效果,进而影响电池片转换效率;⑶卡块的体积较大,在使用过程中卡块易于磨损,卡点在短期内就会出现不能符合相关标准的现象,因此根据标准卡点需要经常更换,使得现有石墨舟卡点的使用寿命较短,另外,在更换卡点时还存在损坏石墨舟片的潜在风险。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种工艺点较小、镀膜效果较好、使用寿命长、可提高电池片转化效率的易加工的石墨舟卡点,可由现有石墨舟卡点进一步加工而成,能够在稳固定位硅片的前提下,减小遮挡硅片面积,提高客户满意度,实现硅片镀膜均匀、色差少的良好效果。本实用新型的目的通过以下的技术措施来实现一种易加工的石墨舟卡点,主要由一对卡块及用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部组成,所述卡块对称设于所述安装部相对的两端面上且均背向安装部伸出,所述卡块的根部与安装部的端面之间分别构成用于卡合硅片的卡槽,其特征在于所述卡块横截面的外沿轮廓线是具有至少一个尖角部分的几何图形,所述尖角部分中至少一个与安装部端面之间的间隙为所述的卡槽,硅片卡合在其中一个卡槽中而使该卡槽所对应的尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。本实用新型是以尖角部分遮挡硅片而形成尖角形工艺点,与现有半圆形工艺点相t匕,工艺点面积明显缩小,镀膜效果较好,提高客户满意度,同时减少了工艺点对电池片转化效率地不利影响;另外,与现有石墨舟的卡块相比,本实用新型的卡块体积小,不易磨损,使用寿命长,因此卡点无需频繁更换,降低了生产成本,而且也降低了石墨舟片由于更换卡点而致损坏的几率。作为本实用新型一种推荐的实施方式,所述几何图形为菱形,所述尖角部分为四个,即为两个锐角部分和两个钝角部分,所述卡块的两个锐角部分与安装部端面之间的间隙均为所述的卡槽。本实用新型的卡块具有两个锐角部分,当其中一个锐角部分磨损而无法再用时,另一个锐角部分作为备用还可以继续使用。本实用新型所述的几何图形为等边三角形,所述尖角部分为三个,即为三个锐角部分,所述锐角部分与安装部端面之间的间隙均为所述的卡槽。作为本实用新型的一种实施方式,所述安装部为圆柱体,所述卡块位于所述安装部的两个圆形端面上。 本实用新型所述卡块为柱体,所述卡块自外向内呈渐缩状,所述卡块的根部即指卡块横截面的最小部位。与现有技术相比,本实用新型具有如下显著的效果⑴本实用新型是以尖角部分遮挡硅片而形成尖角形工艺点,与现有半圆形工艺点相比,工艺点面积明显缩小,镀膜效果较好,提高客户满意度,同时减少了工艺点对电池片转化效率地不利影响。⑵与现有石墨舟的卡块相比,本实用新型的卡块体积小,不易磨损,使用寿命长,因此卡点无需频繁更换,降低了生产成本,而且也降低了石墨舟片由于更换卡点而致损坏的几率。⑶本实用新型的卡块是由现有石墨舟卡点加工改造而成,简单易行,可进行批量加工生产,实用性强。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。图1是现有石墨舟卡点的侧视图;图2是图1的A向视图;图3是现有石墨舟卡点使用的示意图;图4是本实用新型石墨舟卡点的侧视图;图5是图4的B向视图;图6是本实用新型石墨舟卡点使用的示意图。
具体实施方式
实施例1如图4-6所示,是本实用新型一种易加工的石墨舟卡点,主要由一对卡块5及用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部6组成,安装部6为圆柱体,卡块5对称设于安装部6相对的两个圆形端面上,卡块5均背向安装部6伸出成柱体,卡块5的根部与安装部6的端面之间分别构成用于卡合硅片8的卡槽7,卡块5横截面的外沿轮廓线是具有至少一个尖角部分的几何图形,尖角部分中至少一个与安装部端面之间的间隙为卡槽,硅片卡合在其中一个卡槽中而使该卡槽所对应的尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。在本实施例中,几何图形为菱形,尖角部分为四个,即为两个锐角部分51、52和两个钝角部分53、54,卡块5的两个锐角部分51、52与安装部6端面之间的间隙均为卡槽7。卡块5自外向内呈渐缩状,卡块5的根部91即指卡块5横截面的最小部位。娃片8卡合在锐角部分51与安装部6之间的卡槽中,完成镀膜后,在硅片上形成尖角形工艺点,与现有半圆形工艺点相比,工艺点面积明显缩小,镀膜效果较好,提高客户满意度,同时减少了工艺点对电池片转化效率地不利影响。本实用新型的卡块体积小,不易磨损,使用寿命长,因此卡点无需频繁更换,降低了生产成本,而且也降低了石墨舟片由于更换卡点而致损坏的几率。待锐角部分51磨损到一定程度而无法满足标准时,可备用锐角部分52与安装部6端面之间的卡槽来定位娃片。本实用新型优选采用现有石墨舟卡点加工改造而成,具体过程是参见图2,以现有石墨舟卡点卡块的过渡面3的内缘轮廓(小圆)两条互相垂直的直径分别作为平分菱形钝角和锐角的对角线,延长其中一条直径两端直至与过渡面3的外缘轮廓(大圆)11交汇,该 直径作为平分菱形锐角的对角线,连接对角线的端点构成菱形,按照该菱形加工成本实用新型的菱形卡点。因此,本实用新型简单易行,可进行批量加工生产,由洗舟间工作人员自行安装,实用性强。实施例2本实施例(图中未画出)与实施例1的不同之处在于卡块横截面的外沿轮廓线是具有一个尖角部分的几何图形,具体是在现有石墨舟卡点的卡块上加工出一个锐角部分作为尖角部分,该锐角部分与安装部端面之间的间隙即为卡槽,硅片卡合在该卡槽中而使尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。实施例3本实施例(图中未画出)与实施例1的不同之处在于几何图形为等边三角形,尖角部分为三个,即为三个锐角部分,该锐角部分与安装部端面之间的间隙均为卡槽。本实用新型的实施方式不限于此,根据本实用新型的上述内容,按照本领域的普通技术知识和惯用手段,在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下,卡块横截面的外沿轮廓线是具有至少一个尖角部分的几何图形,尖角部分中至少一个与安装部端面之间的间隙为卡槽,硅片卡合在其中一个卡槽中而使该卡槽所对应的尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。因此,本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更,均落在本实用新型权利保护范围之内。
权利要求1.一种易加工的石墨舟卡点,主要由一对卡块及用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部组成,所述卡块对称设于所述安装部相对的两端面上且均背向安装部伸出,所述卡块的根部与安装部的端面之间分别构成用于卡合硅片的卡槽,其特征在于所述卡块横截面的外沿轮廓线是具有至少一个尖角部分的几何图形,所述尖角部分中至少一个与安装部端面之间的间隙为所述的卡槽,硅片卡合在其中一个卡槽中而使该卡槽所对应的尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。
2.根据权利要求1所述的易加工的石墨舟卡点,其特征在于所述几何图形为菱形,所述尖角部分为四个,即为两个锐角部分和两个钝角部分,所述卡块的两个锐角部分与安装部端面之间的间隙均为所述的卡槽。
3.根据权利要求1所述的易加工的石墨舟卡点,其特征在于所述几何图形为等边三角形,所述尖角部分为三个,即为三个锐角部分,所述锐角部分与安装部端面之间的间隙均为所述的卡槽。
4.根据权利要求1 3任一所述的易加工的石墨舟卡点,其特征在于所述安装部为圆柱体,所述卡块位于所述安装部的两个圆形端面上。
5.根据权利要求4所述的易加工的石墨舟卡点,其特征在于所述卡块为柱体,所述卡块自外向内呈渐缩状,所述卡块的根部即指卡块横截面的最小部位。
专利摘要本实用新型公开了一种易加工的石墨舟卡点,主要由一对卡块及用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部组成,所述卡块对称设于所述安装部相对的两端面上且均背向安装部伸出,卡块的根部与安装部的端面之间分别构成用于卡合硅片的卡槽,卡块横截面的外沿轮廓线是具有至少一个尖角部分的几何图形,尖角部分中至少一个与安装部端面之间的间隙为所述的卡槽,硅片卡合在其中一个卡槽中而使该卡槽所对应的尖角部分遮挡硅片以形成尖角形工艺点。本实用新型在硅片上形成尖角形工艺点,工艺点面积小,镀膜效果较好,能够提高客户满意度,同时减少了工艺点对电池片转化效率地不利影响;本实用新型不易磨损,使用寿命长,因此卡点无需频繁更换,降低了生产成本。
文档编号H01L21/687GK202839560SQ20122039771
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月10日 优先权日2012年8月10日
发明者温云佳, 赵英芳, 张进臣, 李朝 申请人:晶澳太阳能有限公司
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